适用于离子泵的智能清洗设备制造技术

本实用新型专利技术提供的一种适用于离子泵的智能清洗设备，包括以2自由度的PLC控制移动模组形成的移动平台：所述移动平台先后对离子泵泵体经钝化池、漂洗池、中和池、第一清洗池、第二清洗池、第三清洗池和烘箱进行相应工艺处理；所述钝化池与第一机械泵链接；所述漂洗池和中和池与第二机械泵连接；所述第一清洗池、第二清洗池和第三清洗池与第三机械泵连接；所述离子泵泵体经第三清洗池后通过烘箱烘干。该设备可以提高离子泵的真空度。

【技术实现步骤摘要】
适用于离子泵的智能清洗设备
本技术涉及一种适用于离子泵的智能清洗设备。
技术介绍
随着现代科技的发展，各类装置对真空系统要求已从超高真空向极高真空发展。以重离子加速器储存环为例，为了获得较重离子的储存寿命，真空度设计指标已达到10-9Pa-10-10Pa量级，进入极高真空范围。作为真空系统主抽泵之一的溅射离子泵，其自身的极限真空度通常要求比装置设计真空度高半个数量级到一个数量级，因此研发极限真空10-10Pa的溅射离子泵已迫在眉睫。但高性能离子泵的抽气速度和极限真空对系统的本底放气有较高的要求。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种适用于离子泵的智能清洗设备，该设备可以提高离子泵的真空度。本技术提供的一种适用于离子泵的智能清洗设备，包括以2自由度的PLC控制移动模组形成的移动平台：所述移动平台先后对离子泵泵体经钝化池、漂洗池、中和池、第一清洗池、第二清洗池、第三清洗池和烘箱进行相应工艺处理；所述钝化池与第一机械泵链接；所述漂洗池和中和池与第二机械泵连接；所述第一清洗池、第二清洗池和第三清洗池与第三机械泵连接；所述离子泵泵体经第三清洗池后通过烘箱烘干。作为本技术进一步的改进：所述钝化池、漂洗池、中和池、第一清洗池、第二清洗池、第三清洗池的构造相同。作为本技术进一步的改进：所述第一机械泵、第二机械泵和第三机械泵型号相同。与现有技术相比，本技术提供的一种适用于离子泵的智能清洗设备，具有以下专利法意义的有益效果：1、清洗钝化过程中，设备自动运行，避免人员对酸碱的接触，提高效率。2、通过伺服电机移动系统，使离子泵在各工艺流程中精确定位。3、可根据需要，实时调整各工艺流程的步骤和处理时间，并用于不同工件的清洗。4、智能清洗设备对离子泵泵体的内表面进行钝化处理，降低本底放气率，作为高性能离子泵的研发辅助工艺，同时设备采用智能化控制，仅需1人即可完成对设备的操作，尽量减少人员操作并提高工件处理的效率。附图说明图1是：本技术提供的一种适用于离子泵的智能清洗设备。图2是：本技术提供的一种适用于离子泵的智能清洗设备的清洗操作具体控制流程图。图中：1、2自由度的PLC控制移动模组形成的移动平台；2、漂洗池；3、中和池；4、第一清洗池；5、第二清洗池；6、第三清洗池；7、收集池；8、第三机械泵；9、第二机械泵；10、第一机械泵；11、钝化池。具体实施方式以下通过具体实施例对本技术提供的一种适用于离子泵的智能清洗设备做进一步更详细的说明：实施例1本实施例的适用于离子泵的智能清洗设备，请参看图1所示，包括以2自由度的PLC控制移动模组形成的移动平台1：移动平台先后对离子泵泵体经钝化池11、漂洗池2、中和池3、第一清洗池4、第二清洗池5、第三清洗池6和烘箱进行相应工艺处理；钝化池11与第一机械泵10链接；漂洗池2和中和池3与第二机械泵9连接；第一清洗池4、第二清洗池5和第三清洗池6与第三机械泵8连接；离子泵泵体经第三清洗池8后通过烘箱烘干。钝化池11、漂洗池2、中和池3、第一清洗池4、第二清洗池5、第三清洗池6的构造相同。第一机械泵10、第二机械泵9和第三机械泵8型号相同。本实施例中化学工艺处理内容包括下述步骤：1）钝化（在钝化池11中进行）：在泵腔内放入钝化剂并浸泡约半小时；需要将离子泵放入钝化池中，钝化剂主要成分为HNO3；2）漂洗（在漂洗池2中进行）:用清水漂洗洗净工件表面钝化液；3）中和（在中和池3中进行）：用碱水或石灰水中和酸性；4）漂洗（在漂洗池2中进行）:进一步稀释泵腔酸碱度，使泵腔pH值接近75）清洗（第一清洗池4中进行）：用氯离子含量小于25ppm的纯净水浸泡约5分钟；6）超声波清洗（第二清洗池5中进行）：将泵体放入超声波清洗池中进行超声波处理；7）超声波清洗（第三清洗池6中进行）：将泵体放入下一个超声波清洗池中再次进行处理；8）放入烘箱中进行烘干处理。以2自由度的PLC控制移动模组形成的移动平台及钝化剂均为市售产品。移动平台采用2自由度进口铝合金材质移动模组，使清洗系统可以在无油环境中进行工作；保证清洗设备的达到较好的效果；同时采用伺服电机以保证在各个工作流程中精确定位移动，及升降。具体操作过程：移动平台将工件从准备区吊起后，移动放入钝化池中，并向泵内充入钝化液浸泡一定时间；然后再吊起，移动至漂洗池并将工件放入漂洗池中浸泡一定时间；再将工件移动至中和池浸泡一定时间；再将工件移动至漂洗池中浸泡一定时间；再将工件移动至第一清洗池4中浸泡一定时间；再将工件移动至第二清洗池5中进行超声波处理；再将工件移动至第三清洗池6中进行超声波处理；最后将工件移动至烘箱中。采用PLC对系统进行自动控制，在整个工艺流程中设备可以按照预定流程自动运行，使设备的工作效率最大化。清洗操作具体控制流程如下，结合图2所示：1、将已除油的离子泵放入准备区；2、钝化池为空，PLC控制移动模组运动，将离子泵放入钝化池，开启电磁阀A1，A3，A4，A6（对应图2中的阀A1，阀A3，阀A4，阀A6），接通气动球阀X1，X2，X4，及耐酸泵A；然后用耐酸泵将钝化液抽至离子泵，当液位传感器1检测到液面达到设定值时，关闭电磁阀A1，A3，A4，A6（对应图2中的阀A1，阀A3，阀A4，阀A6），断开气动球阀X1，X2，X4及耐酸泵A；耐酸泵A停止工作，离子泵浸泡一定时间；浸泡时间到后，PLC控制移动模组吊起一段距离，开启电磁阀A1，A2，A5，A6（对应图2中的阀A1，阀A2，阀A5，阀A6），接通气动球阀X3，X4，X5及耐酸泵A；耐酸泵A将钝化液从离子泵抽回至钝化液存放区；当液位传感器1检测到液位下降到一定高度时，关闭电磁阀A1，A2，A5，A6（对应图2中的阀A1，阀A2，阀A5，阀A6），断开气动球阀X3，X4，X5及耐酸泵A；3、PLC控制移动模组将离子泵放入漂洗池，浸没泵腔稀释钝化液，浸泡一定时间；浸泡时间到后，PLC控制移动模组吊起一段距离，开启电磁阀B1，B3，B4（对应图2中的阀B1，阀B3，阀B4），接通气动球阀Y1，Y3及中和泵B；中和泵B将液体吸回到漂洗池；当液位传感器1检测到液位下降到一定高度时，关闭电磁阀B1，B3，B4（对应图2中的阀B1，阀B3，阀B4），断开气动球阀Y1，Y3及中和泵B；4、PLC控制移动模组将离子泵放入中和池，浸没泵腔中和酸性，浸泡一定时间；浸泡时间到后，PLC控制移动模组吊起一段距离，开启电磁阀B1，B2，B3（对应图2中的阀B1，阀B2，阀B3），接通气动球阀Y1，Y2及中和泵B；用中和泵B将液体吸回到中和池；当液位传感器1检测到液位下降到一定高度时，关闭电磁阀B1，B2，B3（对应图2中的阀B1，阀B2，阀B3），断开气动球阀Y1，Y2，及中和泵B；5、PLC控制移动模组将离子泵放入漂洗池浸没泵腔，浸泡一定时间；浸泡时间到后，PLC控制移动模组吊起一段距离，开启电磁阀B1，B3，B4（对应图2中的阀B1，阀B3，阀B4），接通气动球阀Y1，Y3，及中和泵B；中和泵B将液体吸回到漂洗池；当液位传感器1检测到液位下降到一定高度时，关闭电磁阀B1，B3，B4（对应图2中的阀B1，阀B3，阀B4），断开气动球阀Y1，Y3，及中和泵B；6、PLC控制移动模本文档来自技高网...

【技术保护点】
适用于离子泵的智能清洗设备，包括以2自由度的PLC控制移动模组形成的移动平台；其特征在于：所述移动平台先后对离子泵泵体经钝化池、漂洗池、中和池、第一清洗池、第二清洗池、第三清洗池和烘箱进行相应工艺处理；所述钝化池与第一机械泵链接；所述漂洗池和中和池与第二机械泵连接；所述第一清洗池、第二清洗池和第三清洗池与第三机械泵连接；所述离子泵泵体经第三清洗池后通过烘箱烘干。

【技术特征摘要】
1.适用于离子泵的智能清洗设备，包括以2自由度的PLC控制移动模组形成的移动平台；其特征在于：所述移动平台先后对离子泵泵体经钝化池、漂洗池、中和池、第一清洗池、第二清洗池、第三清洗池和烘箱进行相应工艺处理；所述钝化池与第一机械泵链接；所述漂洗池和中和池与第二机械泵连接；所述第一清洗池、第二清洗池和第三清洗池...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈小龙，
申请(专利权)人：上海三井真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31