可韧化层系统及其生产方法技术方案

本发明专利技术涉及一种可韧化层系统，它具有透明基层、优选地为玻璃基层（１），和直接地应用到基层或者应用到沉积在基层上的一个或多个底层的第一层序列。该层序列包括邻近基层的阻挡层（３）、选择性层（５），和远离基层的阻挡层（６）。本发明专利技术还涉及一种用于生产可韧化层系统的方法。本发明专利技术的目的在于提供一种方法，即使在严峻气候条件和／或玻璃基层中的不确定状态的情形中，它可确保层系统具有足够的质量并且允许利用一种可被热处理的层系统涂覆基层。在所述热处理（韧化、弯曲）期间，能够基本稳定地保持层系统的颜色位置并且在层系统的低发射率的情形中，能够较大地改变颜色位置。为此目的，第一介电中间层（４）被设置在邻近基层的阻挡层（３）和选择性层（５）之间并且被构造成亚化学计量的梯度层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种可韧化层系统，它具有透明基层、优选地为玻璃基层，和直接地应用到基层或者应用到沉积在基层上的多个底层中的一个的第一层序列。所述层序列包括邻近基层的阻挡层、选择性层，和远离基层的阻挡层。本专利技术还涉及一种用于生产可韧化层系统的方法，在所述方法中，第一层序列被应用到透明基层，优选地玻璃基层，或者直接到基层或者到沉积在基层上的多个底层中的一个。其中的层序列包括邻近基层的阻挡层、选择性层，和远离基层的阻挡层。
技术介绍
包括银层(一个或多个)(例如，NiCr或NiCrOx层，比较专利DE 03543178和EP 1174379)或者至少在一侧上提供保护的常用阻挡层，导致银层(一个或多个)的传导率降低。如果具有大约5ohm/sq.的传导率的银层被沉积并且这被嵌入两个NiCrOx层中，则这种嵌入能够导致传导率升高大约1.5ohm/sq.到6.5ohm/sq.。在EP 0999192 B1中，描述了一种层系统，它包括作为选择性层的银层，该层被设置在两侧上，具有镍或镍铬阻挡层。这些阻挡层保护敏感银层不受邻近层的影响。与之一起，通过将NiCrOx层插入带有单独低E涂层的功能性银层中，在热处理期间所述层系统得以稳定。缺点在于如此事实，即在这种层系统中，每个单独的银部分层应该为大约7到8nm厚从而避免形成银部分层的孤岛。这导致所述层系统具有低的透射性。而且，在EP 0999192 B1中，描述了亚化学计量TiOx层在阻挡层和银层之间的使用，这是旨在降低霾的形成。这种吸收TiOx层在热处理期间氧化，其中产生透射率的显著变化和预设颜色位置的移位。在这种实现方式中，还提供具有底层的并且每一个均具有围绕各个银层的两个阻挡层的敏感银层的多个层序列。在实践中，经常需要可韧化层系统，即这样的层，它们在施加之后再次经受热处理，例如以便硬化或者弯曲它们。在EP 099192 B1中示出的层没有呈现出可被韧化的这种能力，因为如在其中示出的阻挡层，不能充分地经受扩散过程从而在韧化期间，来自邻近层的材料能够扩散进入银层中，这导致不理想的颜色改变从而不能保持层系统的颜色位置稳定。在EP 1238950 A2中，描述了一种可韧化层系统，它在作为敏感层的银层的两侧上提供NiCrOx层作为阻挡层。而且，在这种层系统中，提供介电中间层，它们位于阻挡层的上方和下方。在韧化过程期间，这种类型的层也用作扩散障碍。而且，在EP 1238950中，描述了使用梯度层以稳定经热处理的层系统。其中的缺点在于如此事实，即SiNx层位于阻挡层的下面，由此，层系统的阻抗性并且因此发射率不被降低。已经显示出这种类型的层构造对于气候条件敏感从而在严峻气候条件下不能以足够的质量或产量生产这些层系统。而且在具有不确定初始特性的粗糙玻璃的情形中，这种层系统在制造中呈现出质量问题。
技术实现思路
因此本专利技术的目的在于确定一种层系统及其生产方法，在严峻气候条件和/或玻璃基层中的不确定状态的情形中，它可确保足够的质量。本专利技术的进一步目的在于使得能够利用一种可被热处理的层系统涂覆基层，其中在热处理(韧化、弯曲)期间，能够基本稳定地保持层系统的颜色位置并且在层系统的低发射率的情形中，能够较大地改变颜色位置。本专利技术通过一种具有权利要求1特征的层系统而得以实现。从属权利要求2到15示出这种层系统的特别有利的进展。特别是通过介电中间层的梯度结构，能够显著地提高层序列的粘结强度从而在严峻气候条件的情形中或者在优选地为具有已经在层中造成粘结问题的不确定初始条件的玻璃的基层的情形中，能够更好地控制生产方法。以这种方式，也能够防止银层在热处理期间的退化。该目的还通过根据本专利技术并且根据权利要求17特征部分的一种方法而得以实现。与此相关，从属权利要求17到25确定了特别有利的进展。附图简要说明在下面借助三个实施例解释本专利技术。在相应的附图中附图说明图1示出具有作为选择性层的银(Ag)层和介电中间层的可韧化层系统；图2示出具有两个Ag层和用于每一个的介电中间层的可韧化层系统；图3示出具有两个Ag层和用于每一个的两个介电中间层的可韧化层系统；和图4示意出用于实现根据本专利技术的层系统的涂覆系统的一部分。具体实施例方式如图1所示，玻璃基层1设有TiO2底层2。在其上沉积的是NiCrOx第一阻挡层3。因为底层2已经具有阻挡层的特性，第一阻挡层3也可在给定情形中被省略，这通过使用插入语示意。随之为第一介电中间层4。该第一介电中间层4被沉积成梯度层，即，它在一个化学计量层ZnAlO的厚度之上通入亚化学计量层ZnAlOx中。这样，从ZnAlO到ZnAZlOx的梯度总是指向作为第一选择性层5的下面的Ag层。这意味着介电中间层4的亚化学计量部分处于第一选择性层5的附近中。第一选择性层5随后设有第二阻挡层6。随之为SnO2第一封闭层7和Si3N4第二封闭层8。梯度层的生产以如此方式进行，即在一个涂覆腔室或在一个容器中，基层通过其任一个沿着一个运动方向进给，每一个均具有相同目标材料ZnAl的两个磁电管被设置在该运动方向中。首先，经由位于输送方向中的第一磁电管沉积第一介电部分层4的化学计量部分。此后，基层1行进通过在第二磁电管下面的区域，在其中由在高功率下操作的第二磁电管沉积第一介电中间层的亚化学计量部分，同时相同的反应气体压力在泵室中处于主导地位，由此在第一介电中间层4的部分中形成亚化学计量比。因为更高的溅射率也与之相关，第二磁电管可以在目标和基层之间设有滤网，所述滤网具有比在第一磁电管的目标和基层之间的滤网更小的开口。因此，可以设定化学计量和亚化学计量部分层的厚度比，尽管磁电管的功率不同，并且因此溅射率不同。用于生产的另一可能性在于第一磁电管被设于单独的容器中或者该腔室被划分成两个分离的部分腔室并且对于每一个磁电管提供单独的反应气体环境。因此，对于第一介电中间层4的亚化学计量部分，能够以更低的反应性进给进行加工。在图2中，示出一种可韧化的层系统，其中，在第一层序列9(包括第一阻挡层3、第一介电中间层4、第一选择性层5、第二阻挡层6，和第一封闭层7)上，设置具有第二选择性层14、第三阻挡层12，和第三介电层11的第二层序列10。在图3中示出一种类似于图2中的层系统的可韧化层系统，但是差别在于在第一选择性层5和第二阻挡层之间设置第二介电中间层13并且在第二选择性层14和第四阻挡层15之间设置第四介电层16。在图4中，以概略的形式给出涂覆系统的一部分，所述涂覆系统用于构造根据本专利技术的层系统。在该涂覆系统中，在输送装置17中基层1可被移动通过各个涂覆站，其中各个站的分离通过阻流器18或者具有阻流器18的气门19实现。在阻流器18之后，双级离子束站20之后为TiOx涂覆站21。此后，在阻流器18之后，是第一NiCrOx涂覆站22。在另外的阻流器18之后是第一涂覆腔室23，它具有在不同功率下操作的两个磁电管24，左侧的磁电管24比右侧的功率更低。这样，介电中间层4或11被沉积，其中第一介电中间层4或11的亚化学计量部分邻靠Ag层5或14，所述Ag层在随阻流器18之后的Ag涂覆站25中沉积。为了产生另外的介电中间层13或16，随后为第二涂覆腔室26，其中左侧磁电管27比右侧的在更高功率下操作，否则，然而，第二涂覆腔室26具有与第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可韧化层系统，具有透明基层，优选为玻璃基层，和直接地应用到基层或者在基层上沉积的多个底层中的一个的第一层序列，其中该层序列包括邻近基层的阻挡层、选择性层，和远离基层的阻挡层，其特征在于如此事实，即在邻近基层的阻挡层（３）和第一选择性层（５）之间设置第一介电中间层（４）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：约尔格菲乌科夫斯基，马蒂亚斯利斯特，汉斯克里斯蒂安黑希特，法尔克米尔德，
申请(专利权)人：冯阿德纳设备有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]