一种超薄ITO玻璃生产线及生产方法技术

本发明专利技术公开了一种超薄ITO玻璃生产线，包括依次设置的清洗机、涂胶机、预烤机、曝光机、显影机、烘烤机、蚀刻机、脱膜机和收料机，各机台之间通过搬运架进行传送玻璃基板，其特征在于：搬运传输设备的传送机构包括相互配合的推杆装置和承托装置，承托装置的支板与推杆装置的支架一一对应，通过控制承托装置的支板上升或下降来实现与实现对玻璃的夹紧或松开动作，进而通过传送机构的水平往复运动来实现对超薄玻璃的输送动作。本发明专利技术对设备运输结构进行改进，有效保障了超薄玻璃运输的平稳性，通过加装二次烘烤过程，保证光刻胶的完全固化，避免蚀刻后出现的毛刺现象，从而可提高产品的生产速率，实现大规模的量产，提高产品的良率。

A super thin ITO glass production line and production method

The invention discloses a super thin ITO glass production line, including a cleaning machine, a coating machine, a pre grill machine, an exposure machine, a developing machine, a baking machine, an etcher, a film stripping machine, and a feeder. A push rod device and a supporting device are matched with each other. The supporting plate of the supporting device corresponds to the support of the push rod device, and realizes and realizes the clamping or loosening of the glass by controlling the supporting plate of the supporting device to realize and loosens the glass. Then the transmission action of the ultra thin glass is realized by the horizontal reciprocating movement of the transmission mechanism. The invention improves the transport structure of the equipment, effectively guarantees the smoothness of the transport of ultra thin glass. By adding two baking processes, the complete curing of the photoresist is guaranteed and the burr is avoided after the etching, thus the production rate of the product can be improved, the mass production and the yield of the product are improved.

【技术实现步骤摘要】
一种超薄ITO玻璃生产线及生产方法
本专利技术涉及超薄玻璃生产技术，尤其是一种超薄ITO玻璃生产线及生产方法。
技术介绍
触摸屏的基本生产流程为：已镀ITO导电膜的玻璃由清洗机进入，经各机台完成相应的工艺后完成导电膜图形制作，最终进入收料机内的篮具内完成生产，但对超薄型的ITO玻璃而言，现有的生产工艺存在有如下问题：1、由于是超薄玻璃，其自身变形量较普通玻璃相应增加，在现有生产线的个别设备上无法完成玻璃的正常传输，自然也无法完成正常生产。因此，使玻璃能在生产线平稳的传输成为了超薄玻璃生产的最基本要求；2、单面ITO结构产品是整个TP行业内结构较为简单、生产流程少的产品，但是图形结构复杂，线条密集，在正常的固烤之后部分光阻无法完全固化，导致蚀刻后出现毛刺。线边毛刺的问题会导致线条粗细不均匀，从而ITO线路阻值不均匀，造成产品功能测试出现NG的现象。同时由于线边毛刺的问题，使得良率普遍性较低，生产速率缓慢，大规模量产难度大。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术提供一种超薄ITO玻璃生产线，具有运行稳定、生产高效和产品良率高的特点。为实现上述目的，本专利技术的技术方案为：一种超薄ITO玻本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超薄ITO 玻璃生产线，包括按传送顺序依次设置的清洗机、涂胶机、预烤机、曝光机、显影机、烘烤机、蚀刻机、脱膜机和收料机，所述预烤机和烘烤机为搬运传输设备，所述清洗机、显影机、蚀刻机和脱膜机为滚轮传输设备，所述收料机为存储设备，各机台之间通过搬运架进行传送玻璃基板，其特征在于：搬运传输设备的传送机构包括相互配合的推杆装置和承托装置，在玻璃传送方向的两侧均设一个推杆装置和一个承托装置，所述推杆装置包括推杆电机和推杆，由推杆电机通过对应的转动装置实现推杆和设置与推杆上的支架进行水平往复运动，所述承托装置包括设置在底部的若干承托柱和对应设置在承托柱的支板，所述承托装置由升降电机和平移电机通过对应的...

【技术特征摘要】
1.一种超薄ITO玻璃生产线，包括按传送顺序依次设置的清洗机、涂胶机、预烤机、曝光机、显影机、烘烤机、蚀刻机、脱膜机和收料机，所述预烤机和烘烤机为搬运传输设备，所述清洗机、显影机、蚀刻机和脱膜机为滚轮传输设备，所述收料机为存储设备，各机台之间通过搬运架进行传送玻璃基板，其特征在于：搬运传输设备的传送机构包括相互配合的推杆装置和承托装置，在玻璃传送方向的两侧均设一个推杆装置和一个承托装置，所述推杆装置包括推杆电机和推杆，由推杆电机通过对应的转动装置实现推杆和设置与推杆上的支架进行水平往复运动，所述承托装置包括设置在底部的若干承托柱和对应设置在承托柱的支板，所述承托装置由升降电机和平移电机通过对应的传动装置分别实现上下往复运动和水平往复运动，承托装置的支板与推杆装置的支架一一对应，通过控制承托装置的支板上升或下降来实现与实现对玻璃的夹紧或松开动作，进而通过传送机构的水平往复运动来实现对超薄玻璃的输送动作。2.根据权利要求1所述的超薄ITO玻璃生产线，其特征在于：所述滚轮传输设备的传送机构为滚轮传输机构，所述滚轮传输机构包括传动轴和设置在传动轴上的传输轮，所述传输轮在传动轴两侧各设一个，各传动轴上的中间区为规则分布的无动力的平板自由轮。3.根据权利要求1所述的超薄ITO玻璃生产线，其特征在于：所述存储设备采用篮具结构，所述篮具的顶板和底板之间平行设置有两排支撑杆，两排支撑杆分设左右两侧，支撑杆自上而下均匀设置有多个隔条，两排支撑杆对应的隔条配合使用以承载上方的超薄玻璃。4.根据权利要求1所述的超薄ITO玻璃生产线，其特征在于：所述搬运架顶部两侧设置有垫片，从而使得所承托超薄玻璃中部的最低变形位置高于上游机台出料平台或者下游机台进料平台的水平面。5.根据权利要求1所述的超薄ITO玻璃生产线，其特征在于：所述预烤机和...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵永刚，刘敬超，
申请(专利权)人：河源市力友显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44