The utility model discloses a high purity eight Fluoro - cyclic butane preparation device, including a raw material storage tank, a dryer, a pre cooling condenser, a distillation column, a main condenser, a reboiler, a product storage tank, an on-line analysis equipment and an electronic control system. The material storage tank is connected with a dryer, and the dryer is connected with a pre cooling condenser, and the dryer is connected with a pre cooling condenser. The cold condenser is connected with the rectifying tower body. The rectifying tower is connected with the main condenser and the reboiler respectively. The main condenser is connected with the liquid reflux port of the distillation column through the first valve. The main condenser is connected with the product storage tank through the second valve, and the gas phase exit of the reboiler is connected with the gas reflux port of the distillation column. In the production of electronic grade eight fluoro butane at the same time, you recover light reorganization points.
【技术实现步骤摘要】
高纯八氟环丁烷的制备装置
本技术涉及八氟环丁烷提纯领域,具体涉及一种高纯八氟环丁烷的制备装置。
技术介绍
电子级八氟环丁烷用作半导体等生产工艺中的蚀刻或清洁气体,以便由CVD方法、溅射方法或气相淀积方法得到的薄膜或厚膜形成电路图案,还可以替代CFC-12的混合制冷剂、稳定无毒的药品气雾喷射剂、食品气雾喷射剂、介质气体。随着电子或电气设备的性能更高、尺寸更小、缠绕密度更高的趋势、电路图案变的更细,和获得高精度的电路图案,对八氟环丁烷的纯度要求也越来越高。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种制备电子级八氟环丁烷的高纯八氟环丁烷的制备装置。为达到上述目的,本技术采用的技术方案是:一种高纯八氟环丁烷的制备装置,包括原料储存罐、干燥器、预冷冷凝器、精馏塔体、主冷凝器、再沸器、产品储存罐、在线分析设备以及电控系统,所述原料储存罐与所述干燥器的气相入口连通;所述干燥器的气相出口与所述预冷冷凝器的气相入口连通;所述预冷冷凝器的液相出口与所述精馏塔体的液相入口连通;所述精馏塔体的气相出口和液相出口分别与所述主冷凝器的气相入口和所述再沸器的液相出口连通;所述主冷凝器的液相出口经第一阀门与所述精馏塔体的液相回流口连通,所述主冷凝器的液相出口还经第二阀门与所述产品储存罐连通;所述再沸器的气相出口与所述精馏塔体的气相回流口连通;所述在线分析设备设于所述主冷凝器的液相出口输出侧且设于所述第一,二阀门的输入侧;所述电控系统的输入端与所述在线分析设备通讯,所述电控系统的输出端与所述第一,二阀门通讯。上述技术方案中,所述主冷凝器设于所述精馏塔体顶部,所述再沸器设于所述精馏塔体底部。上述技术方 ...
【技术保护点】
一种高纯八氟环丁烷的制备装置,其特征在于,包括原料储存罐(1)、干燥器(2)、预冷冷凝器(3)、精馏塔体(4)、主冷凝器(5)、再沸器(6)、产品储存罐(7)、在线分析设备(10)以及电控系统(11),所述原料储存罐(1)与所述干燥器(2)的气相入口连通;所述干燥器(2)的气相出口与所述预冷冷凝器(3)的气相入口连通;所述预冷冷凝器(3)的液相出口与所述精馏塔体(4)的液相入口连通;所述精馏塔体(4)的气相出口和液相出口分别与所述主冷凝器(5)的气相入口和所述再沸器(6)的液相出口连通;所述主冷凝器(5)的液相出口经第一阀门(12)与所述精馏塔体(4)的液相回流口连通,所述主冷凝器(5)的液相出口还经第二阀门(13)与所述产品储存罐(7)连通;所述再沸器(6)的气相出口与所述精馏塔体(4)的气相回流口连通;所述在线分析设备(10)设于所述主冷凝器(5)的液相出口输出侧且设于所述第一,二阀门(12,13)的输入侧;所述电控系统(11)的输入端与所述在线分析设备(10)通讯,所述电控系统(11)的输出端与所述第一,二阀门(12,13)通讯。
【技术特征摘要】
1.一种高纯八氟环丁烷的制备装置,其特征在于,包括原料储存罐(1)、干燥器(2)、预冷冷凝器(3)、精馏塔体(4)、主冷凝器(5)、再沸器(6)、产品储存罐(7)、在线分析设备(10)以及电控系统(11),所述原料储存罐(1)与所述干燥器(2)的气相入口连通;所述干燥器(2)的气相出口与所述预冷冷凝器(3)的气相入口连通;所述预冷冷凝器(3)的液相出口与所述精馏塔体(4)的液相入口连通;所述精馏塔体(4)的气相出口和液相出口分别与所述主冷凝器(5)的气相入口和所述再沸器(6)的液相出口连通;所述主冷凝器(5)的液相出口经第一阀门(12)与所述精馏塔体(4)的液相回流口连通,所述主冷凝器(5)的液相出口还经第二阀门(13)与所述产品储存罐(7)连通;所述再沸器(6)的气相出口与所述精馏塔体(4)的气相回流口连通;所述在线分析设备(10)设于所述主冷凝器(5)的液相出口输出侧且设于所述第一,二阀门(12,13)的输入侧;所述电控系统(11)的输入端与所述在线分析设备(10)通讯,所述电控系统(11)的输出端与所述第一,二阀门(12,13)通讯。2.根据权利要求1所述的高纯八氟环丁烷的制备装置,其特征在于,所述主冷凝器(5)设于所述精馏塔体(4)顶部,所述再沸器(6)设于所述精馏塔体(4)底部。3.根据权利要求1所述的高纯八氟环丁烷的制备装置,其特征在于,所述精馏塔体(4)的气相出口和液相回流口为同一端口,...
【专利技术属性】
技术研发人员:金向华,孙猛,夏致远,金小贤,唐璐,周珽,
申请(专利权)人:苏州金宏气体股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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