一种测量QC片膜厚的辅助工具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种测量QC片膜厚的辅助工具，包括限位件、载板、抵顶杆，限位件包括底板和凸设于底板四周的挡板，底板和挡板之间的容腔形成收容槽，载板可活动地收容于收容槽，底板和载板均对应开设有多个测量孔，抵顶杆穿设所述底板，且抵顶杆的一端连接于载板上。使用时，本实用新型专利技术的辅助工具能够有效确保前后测量的是QC片相同地方的膜厚，减少了测量前后膜值的误差，使测量的膜值变化更加精确，并且操作方便，适合普遍推广。

【技术实现步骤摘要】
一种测量QC片膜厚的辅助工具
本技术涉及一种测量辅助工具，特别地，涉及一种测量QC片膜厚的辅助工具。
技术介绍
QC片是裸硅片上长出不同类型的薄膜的硅片，在半导体集成电路加工制作中，经常需要对集成电路板进行日常监控和优化，而日常的监控和优化都是通过测量QC片的前后膜厚差异来体现的，所以要保证前后测量的是相同地方的膜厚。实际操作时，通常凭肉眼判断前后测量的位置，肯定存在一定的误差，导致前后测量的膜厚肯定是不精确的，从而影响集成电路板的品质。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是：为了克服上述现有技术中存在的不足，现提供一种测量QC片膜厚的辅助工具，能够有效确保前后测量的是QC片相同地方的膜厚，减少了测量前后膜值的误差，使测量的膜值变化更加精确，并且操作方便，适合普遍推广。本技术解决其技术问题所要采用的技术方案是：一种测量QC片膜厚的辅助工具，包括限位件、载板、抵顶杆，所述限位件包括底板和凸设于所述底板四周的挡板，所述底板和所述挡板之间的容腔形成收容槽，所述载板可活动地收容于所述收容槽，所述底板和所述载板均对应开设有多个测量孔，所述抵顶杆穿设所述底板，且所述抵顶杆的一端连接于所述载板上。进一步地，所述挡板侧壁设有至少一个凸槽，所述底板和所述载板均对应所述凸槽向外凸设至少一个凸角。进一步地，所述载板的形状和大小均与所述底板的形状和大小匹配。进一步地，还包括弹性件，所述弹性件套设在抵顶杆上。进一步地，所述抵顶杆的另一端设有凸缘，所述弹性件一端抵持所述底板，所述弹性件的另一端抵持所述凸缘。进一步地，所述弹性件一端抵持所述底板上，所述弹性件的另一端抵持所述载板上。进一步地，所述弹性件为弹簧。本技术的有益效果是：本技术的一种测量QC片膜厚的辅助工具，能够有效确保前后测量的是QC片相同地方的膜厚，减少了测量前后膜值的误差，使测量的膜值变化更加精确，并且操作方便，适合普遍推广。附图说明为了使本技术的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明，其中图1为本技术的一种测量QC片膜厚的辅助工具的立体结构示意图；图2为图1所示辅助工具中的载板或底板的示意图；图3为图1所示辅助工具中的载板、抵顶杆以及弹性件自由状态下的示意图；图4为图1所示辅助工具中的载板、抵顶杆以及弹性件抵顶状态下的示意图；图5为图1所示辅助工具中的弹性件的一端弹性抵持载板，另一端弹性抵持底板的示意图。图中：1、限位件，2、载板，3、抵顶杆，4、弹性件，11、底板，12、挡板，13、收容槽，111、凸角，112、测量孔，121、凸槽，31、凸缘。具体实施方式现在结合附图对本技术作详细的说明。此图为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。请参照图1-图5所示，本技术提供了一种测量QC片膜厚的辅助工具，包括限位件1、用于承载QC片的载板2和连接在载板2上的抵顶杆3。限位件1包括底板11和凸设于底板11四周的挡板12，底板11和挡板12之间的容腔形成收容槽13，载板2可活动地收容于收容槽13，并且载板2的形状和大小以及底板11的形状和大小均与QC片的形状和大小相匹配，使得载板2承载QC片于收容槽13内移动时，QC片能够相对固定于载板2上。请参阅图2所示，为了测量仪器能够透过底板11和载板2测量到QC片的膜厚，底板11和载板2上均对应开设有多个测量孔112，并且，载板2上的测量孔112的直径大于底板11上的测量孔112的直径，使得载板2移动时发生误差范围内的倾斜时，测量仪器仍然能够透过载板2测量到QC片的膜厚。为了使得载板2移动时不发生或者尽可能少地发生倾斜，挡板12侧壁设有至少一个凸槽121，底板11和载板2均对应凸槽121向外凸设至少一个凸角111，载板2上的凸角111能够沿凸槽121移动。结合图3、图4所示，抵顶杆3穿设底板11，且抵顶杆3的一端连接于载板2上，抵顶杆3的另一端设有凸缘31。本辅助工具还包括套设在抵顶杆3上的弹性件4，弹性件4的一端弹性抵持底板11，弹性件4的另一端弹性抵持凸缘31。弹性件4处于自由状态时，载板2贴近底板11；压缩弹性件4，载板2逐渐远离底板11。可以理解地，参照图5所示，弹性件4的一端还可以弹性抵持底板11，弹性件4的另一端弹性抵持载板2，弹性件4处于自由状态时，载板2贴近底板11；拉伸弹性件4，载板2逐渐远离底板11，从而也能实现弹性件4带动载板2在收容槽13内自动压缩的功能。本实施方式中，弹性件4为弹簧，可以理解地，在其他未示出的实施方式中，弹性件4还可以由橡塑、不锈钢弹片等弹性材料制成，同样能够实现伸缩的功能。下面结合图1-图5说明本技术的一种测量QC片膜厚的辅助工具的工作过程：本技术的一种测量QC片膜厚的辅助工具，使用时，手动压缩弹性件4，载板2在收容槽13内向远离底板11的方向移动，移动至收容槽13槽口，将QC片放置于载板2上，放开压缩弹性件4的手，弹性件4自动复位，载板2自动贴合底板11，用测量仪器通过测量孔112测量QC片膜厚，测量完后，手动压缩弹性件4，载板2在收容槽13内向远离底板11的方向移动，移动至收容槽13槽口，取下QC片，再次测量QC片膜厚时，重复上述操作，能够有效确保前后测量的是QC片相同地方的膜厚。本技术的一种测量QC片膜厚的辅助工具，能够有效确保前后测量的是QC片相同地方的膜厚，减少了测量前后膜值的误差，使测量的膜值变化更加精确，并且操作方便，适合普遍推广。以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关的工作人员完全可以在不偏离本技术的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量QC片膜厚的辅助工具，其特征在于：包括限位件(1)、载板(2)、抵顶杆(3)，所述限位件(1)包括底板(11)和凸设于所述底板(11)四周的挡板(12)，所述底板(11)和所述挡板(12)之间的容腔形成收容槽(13)，所述载板(2)可活动地收容于所述收容槽(13)，所述底板(11)和所述载板(2)均对应开设有多个测量孔(112)，所述抵顶杆(3)穿设所述底板(11)，且所述抵顶杆(3)的一端连接于所述载板(2)上。

【技术特征摘要】
1.一种测量QC片膜厚的辅助工具，其特征在于：包括限位件(1)、载板(2)、抵顶杆(3)，所述限位件(1)包括底板(11)和凸设于所述底板(11)四周的挡板(12)，所述底板(11)和所述挡板(12)之间的容腔形成收容槽(13)，所述载板(2)可活动地收容于所述收容槽(13)，所述底板(11)和所述载板(2)均对应开设有多个测量孔(112)，所述抵顶杆(3)穿设所述底板(11)，且所述抵顶杆(3)的一端连接于所述载板(2)上。2.如权利要求1所述的一种测量QC片膜厚的辅助工具，其特征在于：所述挡板(12)侧壁设有至少一个凸槽(121)，所述底板(11)和所述载板(2)均对应所述凸槽(121)向外凸设至少一个凸角(111)。3.如权利要求1所述的一种测量Q...

【专利技术属性】
技术研发人员：付国振，武艺宁，
申请(专利权)人：苏州同冠微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32