一种运用螺线管式硅通孔电感的新型低通滤波器制造技术

本发明专利技术公开一种运用螺线管式硅通孔电感的新型低通滤波器。本发明专利技术信号由输入端口输入，电流一部分流入同轴硅通孔进入电流返回路径，另一部分流入环形硅通孔阵列，再流入电流返回路径，最后经输出端口流出。本发明专利技术利用同轴硅通孔电容器和螺线管式硅通孔电感器构成的低通滤波器元件，减小元件物理尺寸。运用同轴硅通孔充当电容器，相较于传统二维的电容器拥有较短的互连长度，使得延迟时间、导体损耗减少。此外螺线管式硅通孔电感器的使用更是大大减少了谐振器的物理尺寸，而且大大提高了低通滤波器的各项性能。

A new low pass filter using solenoid silicon via inductor

The invention discloses a new low-pass filter using a solenoid type silicon through hole inductor. The signal is input from the input port. A part of the current flows into the coaxial silicon through hole to enter the current return path. The other part flows into the annular silicon through hole array, then flows into the current return path, and then flows out through the output port. The invention uses a coaxial silicon through-hole capacitor and a low-pass filter element composed of a solenoid type silicon through hole inductor to reduce the physical dimension of the element. Using coaxial silicon via capacitor, it has shorter interconnect length than traditional two dimensional capacitor, making delay time and conductor loss reduced. In addition, the use of solenoid silicon via inductor greatly reduces the physical size of the resonator, and greatly improves the performance of the low-pass filter.

【技术实现步骤摘要】
一种运用螺线管式硅通孔电感的新型低通滤波器
本专利技术属于无源电子器件
，涉及一种微波滤波器元件，尤其涉及一种运用硅通孔的无源低通滤波器结构。
技术介绍
随着现代通信技术的迅速发展，通讯设备使用要求的特殊性使得人们对通信设备的重量和尺寸要求越来越高，特别是移动通信系统中滤波器的小型化、轻便化、低功耗方面的要求越来越加强。随着集成器件的不断缩小，其中传统的滤波器在占用面积和封装成本上已无法满足需求。近年来，随着三维集成电路的飞速发展，一种新兴的集成电路制作工艺硅通孔工艺受到广泛的关注。它能够在三维集成电路的不同堆栈层之间提供垂直互联。并且硅通孔技术可提供更大的设计自由度和更好的电学性能来设计不同的元器件。将硅通孔技术引入低通滤波器的设计之中，低通滤波器的尺寸可以得到进一步的缩小。
技术实现思路
本专利技术针对目前的技术不足，提供了一种由同轴硅通孔电容器和螺线管式硅通孔电感器构成的超紧凑低通滤波器设计方案。本专利技术具体为三阶的巴特沃兹低通滤波器，使用同轴硅通孔做电容器，螺线管式硅通孔做电感器来设计低通滤波器。本专利技术低通滤波器由多个元件单元构成，输入和输出端口位于基底顶部的重新布局本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种运用螺线管式硅通孔电感的新型低通滤波器，由多个元件单元构成，输入和输出端口位于基底顶部的重新布局层，其特征在于所述元件单元包括位于基底顶部的重新布局层、位于基底中间的环形硅通孔阵列与两个同轴硅通孔、位于基底底部的重新构建层；环形硅通孔阵列由两列平行设置的硅通孔阵列构成，每列阵列包括三个硅通孔；第一列硅通孔阵列从上至下定义为第一至第三硅通孔，第二列硅通孔阵列从上至下定义为第四至第六硅通孔；第一硅通孔的重新布局层端与第一同轴硅通孔的重新布局层端通过金属线连接，第二硅通孔的重新布局层端与第四硅通孔的重新布局层端通过金属线连接，第三硅通孔的重新布局层端与第五硅通孔的重新布局层端通过金属线连接，第六...

【技术特征摘要】
1.一种运用螺线管式硅通孔电感的新型低通滤波器，由多个元件单元构成，输入和输出端口位于基底顶部的重新布局层，其特征在于所述元件单元包括位于基底顶部的重新布局层、位于基底中间的环形硅通孔阵列与两个同轴硅通孔、位于基底底部的重新构建层；环形硅通孔阵列由两列平行设置的硅通孔阵列构成，每列阵列包括三个硅通孔；第一列硅通孔阵列从上至下定义为第一至第三硅通孔，第二列硅通孔阵列从上至下定义为第四至第六硅通孔；第一硅通孔的重新布局层端与第一同轴硅通孔的重新布局层端通过金属线连接，第二硅通孔的重新布局层端与第四硅通孔的重新布局层端通过金属线连接，第三硅通孔的重新布局层端与第五硅通孔的重新布局层端通过金属线连接，第六硅通孔的重新布局层端与第二同轴硅通孔的重新布局层端通过金属线连接，第一同轴硅通孔的重新布局层端与第二同轴硅通孔的重新布局层端通过金属线连接，第一硅通孔的重新构建层端与第四硅通孔的重新构建层端通过金属线连接，第二硅通孔的重新布构建层端与第五硅通孔的重新构建层端通过金属线连接，第三硅通孔的重新构建层端与第六硅通孔的重新构建层端通过金属线连接；将第一同轴硅通孔的重新布局层端作为整个低通滤波器的信号输入端...

【专利技术属性】
技术研发人员：王高峰，苏开心，泮金炜，赵文生，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33