【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种非金属材料的提纯生产方法,尤其涉及一种半导体基础材料超高纯α型砷的生产方法。
技术介绍
高纯α型砷是制备光电子、微电子砷化镓;红外光纤、红外透镜As2Se3、As2Te3等红外透视玻璃;感光鼓膜As-Se合金的必备材料,材料纯度越高越能显示出材料的本征特性,越能发挥材料的应用价值,以高纯α型砷为基础材料的砷化镓、红外透视玻璃和电子工业用含砷合金的民用普及使高纯砷的需求以每年25%-30%的速度递增。目前,全世界高纯α型砷的生产方法主要以氯化精馏法为主,其次有铅熔池升华法、砷化氢裂解法进行小批量生产,各有其优缺点。氯化精馏还原法是生产高纯砷通用经典的方法。其优点①从原料进料到产品出料都在管道里完成工艺,对生产车间的洁净条件要求不严,只需保证出产品的局部区域空气环境达到超净;②6N产品质量比较稳定。其缺点①三氯化砷是强腐蚀强氧化剂,制作三氯化砷精馏塔的材料只有石英玻璃能抗三氯化砷的腐蚀,国际上建立一套年产20吨的精馏塔投资不少于2500万美元(仅有德国能加工这样的石英塔,日本古河年产20吨的精馏塔德国制造,投资2500万美元),国内由于石英加工水 ...
【技术保护点】
一种高纯砷的生产方法,其特征在于,采用以下步骤:1)、按照1比1.5~4的重量比例将原料砷和原料铅在坩埚中加热,加热温度为330~550℃,至充分合成,冷却后制得铅砷合金;2)、在上述装有合金的坩埚口部连接一锥形筒,将其置入 真空罐,调整罐内压力至5~500Pa,对真空罐加热,真空罐对应坩埚部位加热温度为320~500℃,真空罐对应锥形筒部位加热温度为250~350℃,持续约7.5~10小时,砷凝结在筒上部的侧壁上,制得纯度为99.999%的砷,在坩埚内制得铅砷合金;3)、将上述的砷取出,置入一容器,该容器设进、出气口,往进气口输入氩气,排除容 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张世才,杨华民,
申请(专利权)人:扬州高能新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:32[中国|江苏]
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