化学气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种化学气相沉积炉，其包括自下而上组装的用于盛放原料的一坩埚、配合坩埚使用的一坩埚盖、一沉积室、一收料盒、一导气管；所述坩埚盖上开设了连通坩埚和沉积室的若干第一通孔，所述收料盒上开设有连通沉积室和收料盒的一第二通孔，所述化学气相沉积炉还包括给坩埚加热的一第一加热器，所述收料盒内置一集尘室和盖设在集尘室上方的一集尘室盖板，所述集尘室盖板上开设连通集尘室和收料盒的一第三通孔。本实用新型专利技术化学气相沉积炉，结构合理，多级收集硫化锌产品，所制得的硫化锌不产生雾斑、雾层、花纹等缺陷，且硫化锌产品的整体厚度偏差小，产品转化率高。

Chemical vapor deposition furnace

The utility model relates to a chemical vapor deposition furnace, which comprises a crucible for holding raw materials from bottom to top, a crucible cover used in a matching crucible, a deposition chamber, a collecting box, and a guide pipe. The crucible is provided with a number of first through holes of a connecting crucible and a deposition chamber. A second - through hole of a connecting chamber and a collecting box is also included. The chemical vapor deposition furnace also includes a first heater that is heated to the crucible. The collecting box is built with a dust collection chamber and a dust chamber cover plate above the dust collecting chamber. The dust chamber cover plate is provided with a third through hole connected to the dust collecting chamber and the collecting box. The chemical vapor deposition furnace of the utility model has reasonable structure and multistage collection of zinc sulfide products. The obtained zinc sulfide does not produce foggy spots, fog layers, pattern and other defects, and the overall thickness deviation of the zinc sulfide product is small, and the conversion rate of the product is high.

【技术实现步骤摘要】
化学气相沉积炉
本技术涉及粉末或晶体的制备装置领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉。
技术介绍
硫化锌属于红外材料，其生产方法一般采用化学气相沉积法。硫化锌的生产装置一般包括以下几个部分：电气控制系统、供气系统、冷却循环水系统、化学气相沉积炉、收尘系统、真空系统以及尾气处理系统，其中，电气控制系统主要用于对生产过程中各个工艺参数以及设备进行控制，供气系统主要用于供应生产过程中所需要的工艺气体；冷却循环水系统主要用于给生产设备降温；化学气相沉积炉是整个生产装置的主体设备，用来沉积硫化锌产品，收尘系统主要用于对生产过程中产生的粉尘进行收集，保证气流通道的畅通，同时保护真空系统；真空系统主要用于保证整个生产过程中真空度，尾气处理系统用于处理未反应完的工艺气体，将其处理达标后再进行排放。上述几个部分相辅相成、缺一不可。其中，作为主体设备的化学气相沉积炉的设计是否合理对最终产品的性能影响极大。采用化学气相沉积法生产硫化锌一般采用的原料为锌和硫化氢，锌与硫化氢反应生成的硫化锌大部分会沉积在沉积室内，但是仍然会有部分进入到沉积室外，如果化学气相沉积炉设计不合理，会影响系统的压力，影响生产的进行。在硫化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学气相沉积炉，其包括自下而上组装的用于盛放原料的一坩埚、配合坩埚使用的一坩埚盖、一沉积室、一收料盒、一导气管；其特征在于：所述坩埚盖上开设了连通坩埚和沉积室的若干第一通孔，所述收料盒上开设有连通沉积室和收料盒的一第二通孔，所述化学气相沉积炉还包括给坩埚加热的一第一加热器，所述收料盒内置一集尘室和盖设在集尘室上方的一集尘室盖板，所述集尘室盖板上开设连通集尘室和收料盒的一第三通孔。

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉，其包括自下而上组装的用于盛放原料的一坩埚、配合坩埚使用的一坩埚盖、一沉积室、一收料盒、一导气管；其特征在于：所述坩埚盖上开设了连通坩埚和沉积室的若干第一通孔，所述收料盒上开设有连通沉积室和收料盒的一第二通孔，所述化学气相沉积炉还包括给坩埚加热的一第一加热器，所述收料盒内置一集尘室和盖设在集尘室上方的一集尘室盖板，所述集尘室盖板上开设连通集尘室和收料盒的一第三通孔。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述化学气相沉积炉还包括包覆于沉积室和收料盒以及部分导气管外的一第二加热器。3.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述化学气相沉积炉还包括包覆于第一加热器和第二加热器外的一保温层。4.根据权利要求3所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述化学气相沉积炉还包括包覆于保温层外的一水冷夹套。5.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：于金凤，朱刘，
申请(专利权)人：清远先导材料有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44