银/氯化银参比电极及其制作方法技术
【技术实现步骤摘要】
银/氯化银参比电极及其制作方法
本专利技术涉及一种Ag/AgCl参比电极及其制作方法，属传感器
技术介绍
参比电极（ReferenceElectrode，简称RE），是测量各种电极电势时作为参照比较的电极，将被测定的电极与精确已知电极电势数值的参比电极构成电池，测定电池电动势数值，就可计算出被测定电极的电极电势。通常多用微溶盐电极作为参比电极，常用的参比电极有甘汞电极和银-氯化银电极，此外还有铜-硫酸铜电极、醌氢醌电极、固体参比电极等。参比电极电位恒定，其主要作用是测量电池电动势，计算电极电位的基准。常用的玻璃管Ag/AgCl参比电极具有制备简单，使用方便，在电化学检测领域广泛使用。但在传感器领域，只能与其他电极联合使用，而不能与其他电极集成制备在一个传感器芯片上，限制了其在传感器方面的应用。有多家研究机构基于微纳制造技术发展了微型Ag/AgCl全固态参比电极，但由于电极所需的氯化钾饱和溶液在电极表面的保存时间很短，所以电极的使用寿命不长，不能满足传感器长时间连续工作的要求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种Ag/AgCl参比电极及其制作...
【技术保护点】
一种银/氯化银参比电极，包括可与硅片键合的Pyrex 7740玻璃基片(5)，其特征在于，所述玻璃基片(5)上表面设置有铂电极引线(4)，在铂电极引线(4)末端段的上表面设置有银/氯化银电极层(2)；玻璃基片(5)上面以与其键合的方式覆盖有表面为（100）晶面、双面抛光并氧化的硅基片(1)，二者键合形成一体；所述硅基片(1)设置有向下开口至少包容所述银/氯化银电极层(2)的空腔，与所述玻璃基片(5)形成用于储存氯化钾饱和溶液的储液腔(7)，储液腔(7)顶壁设置采用湿法腐蚀刻蚀出的多个外壁孔径大内壁孔径小的纳米级锥形微孔(3)，形成锥形微孔(3)阵列，每个锥形微孔(3)作为与...
【技术特征摘要】
1.一种银/氯化银参比电极，包括可与硅片键合的Pyrex7740玻璃基片(5)，其特征在于，所述玻璃基片(5)上表面设置有铂电极引线(4)，在铂电极引线(4)末端段的上表面设置有银/氯化银电极层(2)；玻璃基片(5)上面以与其键合的方式覆盖有表面为（100）晶面、双面抛光并氧化的硅基片(1)，二者键合形成一体；所述硅基片(1)设置有向下开口至少包容所述银/氯化银电极层(2)的空腔，与所述玻璃基片(5)形成用于储存氯化钾饱和溶液的储液腔(7)，储液腔(7)顶壁设置采用湿法腐蚀刻蚀出的多个外壁孔径大内壁孔径小的纳米级锥形微孔(3)，形成锥形微孔(3)阵列，每个锥形微孔(3)作为与外界待测物相接触进行双方离子交换的纳米通道；所述玻璃基片(5)设置有与所述储液腔(7)相通的用于向所述储液腔(7)注入氯化钾饱和溶液的注液孔(12)，并配置有用于封装所述注液孔(12)的密封胶(8)。2.如权利要求1所述的参比电极，其特征在于，所述银/氯化银电极层(2)从底部至表面依次包括钛-铂电极基底导电层、金属银层、以及金属银层采用盐酸处理后形成的Ag/AgCl层。3.如权利要求1所述的参比电极，其特征在于，所述玻璃基片(5)超出所述硅基片(1)，所述玻璃基片(5)上的铂电极引线(4)包括露出在所述硅基片(1)外面的引线外露段。4.如权利要求1所述的参比电极，其特征在于，所述玻璃基片(5)的注液孔(12)为圆孔，所述密封胶(8)(9)呈铆钉状与所述玻璃基片(5)的注液孔(12)相配。5.如权利要求1所述的参比电极，其特征在于，所述玻璃基片(5)的背面涂有一层环氧避光层(6)。6.如权利要求1所述的参比电极，其特征在于，所述储液腔(7)具有经注液孔(12)注入的氯化钾饱和溶液，所述注液孔(12)塞入密封胶(8)封装。7.如权利要求1所述的参比电极的制作方法，分别包括所述硅基片(1)的制作与所述玻璃基片(5)的制作及其二者的键合，其特征在于，所述硅基片(...
【专利技术属性】
技术研发人员：金庆辉，张赞，尹加文，简家文，
申请(专利权)人：宁波大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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