树脂组合物、感光性树脂组合物、树脂膜和电子装置制造方法及图纸

本发明专利技术的树脂组合物包含酚醛树脂和含有以下式(1)所示的重复单元的聚合物。式(1)中，RX、RY分别独立地为氢或碳原子数1～3的有机基团。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】树脂组合物、感光性树脂组合物、树脂膜和电子装置
本专利技术涉及树脂组合物、感光性树脂组合物、树脂膜和电子装置。
技术介绍
酚醛树脂由于分辨率优异、且具有高耐热性和机械强度，因此研究着在构成各种电子装置的树脂膜中的应用。例如，在专利文献1中公开了能够用作IC、LSI等元件的制造中使用的超微细加工用抗蚀剂的正型光致抗蚀剂。进一步具体而言，公开了包含由间甲酚酚醛清漆树脂与邻甲酚酚醛清漆树脂构成的树脂混合物、和1,2-醌二叠氮化合物的组合物。并且，根据该文献，通过采用这样的构成，能够提供一种感光度、膜残留率和与支撑体的密合性优异的正型光致抗蚀剂。并且，近年来，提出了含有使具有特定结构的酚化合物与脂肪族醛化合物缩合而得到的酚醛清漆型酚醛树脂作为必需成分的正型光致抗蚀剂组合物(例如，参考专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平2-55359号公报专利文献2：日本特开2013-174702号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题然而，作为构成电子装置的树脂膜所需求的耐热性需要更高的水准，目前存在的包含酚醛树脂的树脂组合物无法满足该需求。并且，还存在这种背景，存在对于包含酚醛树脂的感光性树脂组合物的研发滞后的实际情况。鉴于这种情况，本专利技术提供一种耐热性优异、例如在制成感光性树脂组合物时能够平衡性良好地表现优异的感光度和高耐热性的树脂组合物。用于解决技术课题的手段根据本专利技术，提供一种树脂组合物，其包含酚醛树脂和含有以下式(1)所示的重复单元的聚合物。(式(1)中，RX、RY分别独立地为氢或碳原子数1～3的有机基团。)并且，根据本专利技术，提供一种包含含有下述式(1)所示的重复单元的聚合物的酸酐部位与酚醛树脂所具备的酚性羟基构成酯键的酯化合物的树脂组合物。(式(1)中，RX、RY分别独立地表示氢或碳原子数1～3的有机基团。)并且，根据本专利技术，提供一种包含上述树脂组合物和感光剂的感光性树脂组合物。并且，根据本专利技术，提供一种包括上述树脂组合物的树脂膜。并且，根据本专利技术，提供一种包括上述感光性树脂组合物的树脂膜。并且，根据本专利技术，提供一种具备上述树脂膜的电子装置。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种耐热性优异、例如在制成感光性树脂组合物时能够平衡性良好地表现优异的感光度和耐热性的树脂组合物，以及使用了该树脂组合物的树脂膜和电子装置。附图说明上述目的、及其他目的、特征和优点通过以下阐述的优选实施方式、及其附带的以下附图进一步明确。图1是表示本实施方式的电子装置的一例的剖面图。图2是实施例所使用的聚合物2和使其改质而得到的组合物的红外吸收光谱图。具体实施方式以下，适当使用附图对实施方式进行说明。其中，在所有附图中，对同样的构成要件标注相同的符号，适当省略说明。并且，若无特别说明，“～”表示以上至以下。[树脂组合物]首先，对本实施方式的树脂组合物进行说明。本实施方式的树脂组合物如下所示。一种树脂组合物，其包含酚醛树脂和含有以下式(1)所示的重复单元的聚合物。(式(1)中，RX、RY分别独立地为氢或碳原子数1～3的有机基团。)本实施方式的树脂组合物与目前存在的包含酚醛树脂的树脂组合物相比，能够表现出更高的耐热性。虽然详细的机理尚不明确，但例如可以认为如下：虽然包含酚醛树脂和含有上述式(1)所示的重复单元的聚合物，但酚醛树脂所具备的酚性羟基与式(1)所示的结构单元相作用，结果，聚合物与酚醛树脂形成紧密的连结结构。这种本实施方式的树脂组合物适合用于感光性树脂组合物。该感光性树脂组合物可以包含树脂组合物和感光剂。以下，对构成本实施方式的树脂组合物的各成分进行说明。(酚醛树脂)首先，对本实施方式的树脂组合物所包含的酚醛树脂进行说明。本实施方式的酚醛树脂能够使用现有公知的酚醛树脂。作为上述酚醛树脂，并无特别限定，例如可列举酚醛清漆型酚醛树脂、甲阶型酚醛树脂、芳基亚烷基型酚醛树脂等。作为酚醛树脂，可以单独使用它们中的1种，也可以将具有不同重均分子量的2种以上并用，还可以将1种或2种以上与它们的预聚物并用。其中，优选使用酚醛清漆型酚醛树脂。酚醛清漆型酚醛树脂只要是使酚类与醛类在无催化剂或酸性催化剂的存在下进行反应而获得的树脂即可，能够根据用途适当选择。例如，还能够使用无规酚醛清漆型或高邻位酚醛清漆型的酚醛树脂。其中，该酚醛清漆型酚醛树脂通常通过在醛类相对于酚类的摩尔比(醛类/酚类)控制在0.5～1.0的基础上进行反应而获得。作为制备该酚醛清漆型酚醛树脂时所使用的酚类的具体例，例如可列举苯酚、邻甲酚、间甲酚、对甲酚、二甲苯酚、烷基酚类、邻苯二酚、间苯二酚等。并且，该些酚类可单独使用或将2种以上混合使用。另外，作为制备酚醛清漆型酚醛树脂时所使用的醛类，例如能够使用：甲醛、多聚甲醛、苯甲醛等醛化合物；作为这些醛化合物的产生源的物质；或这些醛化合物的溶液等。其中，这些醛类可单独使用或将2种以上混合使用。作为本实施方式的酚醛树脂的分子量，例如以重均分子量(Mw)计优选为300以上，更优选为1000以上，进一步优选为2000以上，特别优选为3000以上。通过重均分子量(Mw)为上述下限值以上，能够使树脂组合物和由树脂组合物得到的树脂膜的机械强度和耐热性提高。作为该酚醛树脂的分子量，例如以重均分子量(Mw)计优选为20000以下，更优选为18000以下，进一步优选为15000以下。通过重均分子量(Mw)为上述上限值以下，能够实现制造树脂组合物时的操作性的提高、由树脂组合物得到树脂膜时的成型性的提高。并且，能够实现树脂组合物和由树脂组合物得到的树脂膜的感光度的提高以及不溶解成分的析出量减少。并且，该重均分子量能够与下述聚合物同样地通过凝胶渗透色谱仪(GPC)基于使用聚苯乙烯标准物质作成的校准曲线而算出。(聚合物)本实施方式的聚合物含有上述式(1)所示的重复单元。即，本实施方式的聚合物是含有源自分子内具有环状结构的不饱和羧酸酐的单元的聚合物，例如为不饱和羧酸酐与其他单体的共聚物。在本实施方式中，分子内具有环状结构的不饱和羧酸酐可选自马来酸酐、柠康酸酐、二甲基马来酸酐或它们的衍生物，还可以选自马来酸酐、柠康酸酐、二甲基马来酸酐。它们可以单独使用，也可以将2种以上组合使用。作为本实施方式的聚合物所具有的源自分子内具有环状结构的不饱和羧酸酐的单元，例如能够使用下述式(1)所示的源自分子内具有环状结构的不饱和羧酸酐的单元，还能够使用下述式(6)所示的源自马来酸酐的单元。(式(1)中，RX、RY分别独立地为氢或碳原子数1～3的有机基团)在本实施方式中，上述式(1)中，RX和RY例如优选分别独立地为氢或碳原子数1～3的有机基团，更优选分别独立地为氢或碳原子数1的有机基团，进一步优选RX为氢、且RY为氢或碳原子数1的有机基团，更进一步优选RX和RY为氢。在本实施方式中，上述式(1)中，作为构成RX和RY的有机基团，例如可列举烷基、烯基、炔基、次烷基、环烷基和杂环基。作为烷基，例如可列举甲基、乙基、正丙基。作为烯基，例如可列举烯丙基和乙烯基。作为炔基，可列举乙炔基。作为次烷基，例如可列举次甲基和次乙基。作为环烷基，例如可列举环丙基。作为杂环基，例如可列举环氧基和氧杂环丁基。与该分子内具有环状结构的不饱和羧酸酐共聚的其他单体能够根据应用树脂组合物的用途而适当选择。作为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种树脂组合物，其特征在于：包含酚醛树脂和含有以下式(1)所示的重复单元的聚合物，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.21 JP 2015-1634381.一种树脂组合物，其特征在于：包含酚醛树脂和含有以下式(1)所示的重复单元的聚合物，式(1)中，RX、RY分别独立地表示氢或碳原子数1～3的有机基团。2.根据权利要求1所述的树脂组合物，其特征在于：所述酚醛树脂的重均分子量为300以上20000以下。3.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其特征在于：包含具备所述式(1)所示的重复单元的酸酐部位与所述酚醛树脂所具备的酚性羟基经由酯键键合而成的化合物。4.根据权利要求1至3中任一项所述的树脂组合物，其特征在于：所述聚合物还含有选自以下式(2)所示的源自降冰片烯型单体的单元、式(3)所示的源自苯乙烯类单体的单元、式(7)所示的源自茚类单体的单元和式(8)所示的源自马来酰亚胺类单体的单元中的至少一个单元，式(2)中，R1、R2、R3和R4分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：穴田亘平，大西治，
申请(专利权)人：住友电木株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP