用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的测试反应装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的测试反应装置，所述测试反应装置包括温度补偿感应棒(8)、参比电极(9)、工作电极(10)和pH补偿电极(11)。本实用新型专利技术利用化学镀液发生氧化还原化学反应的特点，且利用参比电极和工作电极适时监控镀液在工作或待工过程中电位差的变化，将此电位差转换成稳定性变化；本实用新型专利技术驱繁就简，用化学镀液的综合电位差的适时变化来指示并量化现场大槽化学镀液稳定性的变化。

A test reaction device for on-line monitoring the stability of electroless plating solution by a potential analyzer

The utility model provides a test response device for potential monitoring analyzer for on-line monitoring the stability of electroless plating bath. The test reaction device comprises a temperature compensation induction rod (8), a reference electrode (9), a working electrode (10) and a pH compensation electrode (11). The utility model has the advantages of using chemical plating liquid redox reaction characteristics, and the use of reference electrode and the working electrode to timely monitor the changes in bath at work or work in the process of potential difference, the potential difference is converted into the change of stability; the utility model drive simplify, using the chemical bath comprehensive potential difference the timely changes to indicate and quantify the variation of field trough chemical plating solution stability.

【技术实现步骤摘要】
用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的测试反应装置
本技术涉及一种测试反应装置，具体地说，涉及一种用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的测试反应装置。
技术介绍
众所周知，化学镀液远远不如电镀液稳定可控，电镀液可以用一年左右，而化学镀液易于老化分解的特点使其寿命很短，如化学镍正常寿命只有6MTOs(约连续使用2周)，化学铜也只能连续使用一个月，频繁的排旧换新加重了废水处理和排放的成本与压力。电镀液的人工取样测试是每天一次，而化学镀液的人工取样分析测试是每小时一次。即使这样，仍有管理的不及时和不到位(如只能分析pH、主盐、还原剂，其它如络合剂、稳定剂、副产物等，在短短1小时内根本分析不完)，导致异常频发，伴随的是大量工件的报废，更是给环境治理和成本控制雪上加霜。镀液的稳定性是镀液pH、主盐、络合剂、稳定剂、还原剂、镀速、副产物浓度等综合作用的结果，在线24小时不间断的稳定性测试填补了化学镀精密管理的空白。
技术实现思路
为了克服现有技术中的上述缺陷，本技术提供了一种用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的测试反应装置。为了实现本技术的目的，本技术的技术方案如下：本技术提供了一种用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的测试反应装置，该测试反应装置包括温度补偿感应棒(8)、参比电极(9)、工作电极(10)和pH补偿电极(11)，上述温度补偿感应棒和电极均通过固定结构(15)被设置在自动监测电控头(12)上，且自动监测电控头(12)通过导线被连接到远程监控主机(13)上。在本技术的一优选实施方案中，温度补偿感应棒(8)和参比电极(9)通过固定结构(15)相邻地被设置在自动监测电控头(12)上，工作电极(10)和pH补偿电极(11)通过固定结构(15)相邻地被设置在自动监测电控头(12)上。在本技术的一更优选实施方案中，参比电极(9)和工作电极(10)相对地被设置在温度补偿感应棒(8)和pH补偿电极(11)内侧。在本技术的一更优选实施方案中，测试反应装置还包括相对地设置在温度补偿感应棒(8)和pH补偿电极(11)外侧的脚(16)。在本技术的一更优选实施方案中，脚(16)是由耐腐蚀性材料制成。本技术的测试反应装置具有以下优点：目前广泛使用的电位滴定仪多用于无指示剂的单一氧化还原反应，且只能用于实验室，而本技术将其升级到复杂的氧化还原反应(除主反应外，副反应就有多种)。另外，在混合液中逐一研究每一个氧化还原反应的电位差变化，不仅很难实行，而且功用也不大。本技术利用化学镀液发生氧化还原化学反应的特点，且利用参比电极和工作电极适时监控镀液在工作或待工过程中电位差的变化，将此电位差转换成稳定性变化；本技术驱繁就简，用化学镀液的综合电位差的适时变化来指示并量化现场大槽化学镀液稳定性的变化。另外，由于采用了温度补偿感应棒和pH补偿电极，本专利技术可以实时准确地测量溶液的电位差，从而测量溶液的稳定性。包括本技术的测试反应装置的电位分析仪在线监控化学镀液稳定性变化，如化学镀铜、银、镍等。包括本技术的测试反应装置的电位分析仪不用人工操作，安全可行，时效性高，无时无刻随时随地掌控化学镀液稳定性的变化，为化学镀量产维护、节能减排、高端电子元件(如芯片、模塑互连精密线路)的精密线路等，提供可靠的量测及监控。包括本技术的测试反应装置的电位分析仪可以应用于塑料、金属、半导体(硅)上的化学镀铜、镍等的工作液稳定性管理，从而减少镀液非正常报废，延长镀液使用寿命，减少高精密昂贵电子产品残次品(如半导体)，节省人工和工时，稳定品质、提高生产效率。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中主机与液位计、进液泵和控制阀的配合示意图。具体实施方式用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪(如图1)，包括测试反应装置、自动添加装置和远程监控主机。测试反应装置包括温度补偿感应棒(8)、参比电极(甘汞电极)(9)、工作电极(铂电极)(10)和pH补偿电极(11)，其中温度补偿感应棒(8)和参比电极(9)通过固定结构(软木件)(15)相邻地被设置在自动监测电控头(12)上，工作电极(10)和pH补偿电极(11)通过固定结构(15)相邻地被设置在自动监测电控头(12)上，且参比电极(9)和工作电极(10)相对地被设置在温度补偿感应棒(8)和pH补偿电极(11)内侧。自动监测电控头(12)通过导线被连接到远程监控主机(13)的相应位置。测试反应装置还包括相对地设置在温度补偿感应棒(8)和pH补偿电极(11)外侧的脚(16)，用来将测试反应装置稳固地固定在现场工作液辅槽(7)中，现场工作液辅槽(7)中装有镀液，脚(16)是由耐腐蚀性材料制成。自动添加装置(3组)包括化学镀补充液储存桶(1)、定量加药器(4)、用于在化学镀补充液储存桶(1)和定量加药器(4)之间流体连通的进液管(3)以及补充液回流及排气管(6)，其中定量加药器(4)通过导线被连接到主机(13)的相应位置并且进液管(3)上连有用来将化学镀补充液(2)从化学镀补充液储存桶(1)输入到定量加药器(4)中的进液泵(17)，补充液回流及排气管(6)是用来将定量加药器(4)中未添加完的补充液回流到化学镀补充液储存桶(1)中且在将化学镀补充液储存桶(1)中的化学镀补充液(2)输入到定量加药器(4)过程中排气，其上连有第一控制阀(18)。自动添加装置还包括用于在定量加药器(4)和现场工作液辅槽(7)之间流体连通的定量加药管(5)，且其上连有第二控制阀(19)。第一控制阀(18)、第二控制阀(19)和进液泵(17)可通过其它控制部件进行控制。远程监控主机(13)包括输入操作及输出显示触屏(14)，可设定或显示：待测液温度、pH、电位变化曲线及稳定性测试曲线；化学镀补充液的添加速度、添加量及频率；可针对不同的化学镀液编不同程序和添加补充计算公式，并可依需要编辑及调用；可设定并记录电极保养更换频率。用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪还包括被放置在现场工作液辅槽(7)正上方的清洗液储存瓶(23)，清洗液储存瓶(23)中装有清洗液，用来待化学镀完毕后，将清洗液通过输液管(20)输入到现场工作液辅槽(7)中以清洗现场工作液辅槽(7)。清洗液储存瓶(23)通过到导线被连接到远程监控主机(13)并且通过输液管(20)与现场工作液辅槽(7)流体连通，输液管(20)上连有第三控制阀(21)。用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的操作步骤如下：(1)校正pH补偿电极(11)和工作电极(10)，保养参比电极(9)和温度补偿感应棒(8)，电位测试装测就续；(2)确认化学镀补充液储存桶(1)液位正常，自动添加装置就续；(3)开启主机，编辑或选定监控程序，确定温度、pH稳定性补偿值、设定好各补充液的添加量和添加比例；(4)启动自动监测及自动添加装置；(5)待化学镀完毕后，将清洗液储存瓶(23)中的清洗液通过输液管(20)输入到现场工作液辅槽(7)中以清洗现场工作液辅槽(7)。其中自动添加装置的操作步骤如下：当需要向现场工作液辅槽(7)中添加补充液时，启动进液泵(17)，将化学镀补充液储存桶(1)中的化学镀补充液(2)输入到定量加药器(4)中且通过补充液回流本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的测试反应装置，其特征在于，所述测试反应装置包括温度补偿感应棒(8)、参比电极(9)、工作电极(10)和pH补偿电极(11)，上述温度补偿感应棒和电极均通过固定结构(15)被设置在自动监测电控头(12)上，且自动监测电控头(12)通过导线被连接到远程监控主机(13)上。

【技术特征摘要】
1.用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的测试反应装置，其特征在于，所述测试反应装置包括温度补偿感应棒(8)、参比电极(9)、工作电极(10)和pH补偿电极(11)，上述温度补偿感应棒和电极均通过固定结构(15)被设置在自动监测电控头(12)上，且自动监测电控头(12)通过导线被连接到远程监控主机(13)上。2.根据权利要求1所述的用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的测试反应装置，其特征在于，温度补偿感应棒(8)和参比电极(9)通过固定结构(15)相邻地被设置在自动监测电控头(12)上，工作电极(10)和pH补偿电极(11)通过固定结构(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王兴平，张代琼，邢洪滨，
申请(专利权)人：确信乐思化学上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31