一种电子工业用真空镀膜机制造技术

本发明专利技术涉及真空镀膜机领域，尤其为一种电子工业用真空镀膜机，包括固定平台，所述固定平台的上端外表面活动安装有一号驱动箱，所述固定平台的上端外表面位于一号驱动箱的外表面一侧活动安装有二号驱动箱，所述二号驱动箱的外表面一侧活动安装有装载架，所述装载架的外表面活动安装有装载平台，所述固定平台的一端外表面固定安装有真空室，所述真空室的外表面一侧固定安装有观察窗，本发明专利技术所述的一种电子工业用真空镀膜机，设有摄像头、温度监测仪和装载架，能够近距离观察被镀膜物品的情况，可以实时监测真空室内的温度，防止温度过高镀膜失败，能够放置更多的物品，提高效率，带来更好的使用前景。

A vacuum coating machine for electronic industry

【技术实现步骤摘要】
一种电子工业用真空镀膜机
本专利技术涉及真空镀膜机
，具体为一种电子工业用真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，现在市面上的真空镀膜机主要是分成蒸发和溅射两种，现如今，越来越多的行业以及越来越多的产品，需要通过将物品的表面通过镀膜的方式来提高产品的质量，因此，对真空镀膜机的需求日益增长。现有的真空镀膜机在使用时存在一定的弊端，首先，在镀膜机工作时，不能对被镀膜的物体近距离的观察，出现的残次品概率大，其次，不能准确的控制真空室内的温度，在即将结束镀膜时，导致镀膜失败，最后，狭小的装载平台，一次只能进行少量的物体镀膜，浪费资源，效率低，影响了真空镀膜机的使用效果，因此，针对上述问题提出一种电子工业用真空镀膜机。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种电子工业用真空镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种电子工业用真空镀膜机，包括固定平台、阀门与转盘，所述固定平台的上端外表面活动安装有一号驱动箱，所述一号驱动箱本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子工业用真空镀膜机，包括固定平台(1)、阀门(13)与转盘(15)，其特征在于：所述固定平台(1)的上端外表面活动安装有一号驱动箱(2)，所述一号驱动箱(2)的外表面一侧活动安装有二号驱动箱(3)，所述二号驱动箱(3)的外表面一侧活动安装有装载架(4)，所述装载架(4)的外表面活动安装有装载平台(5)，所述固定平台(1)的一端外表面固定安装有真空室(6)，所述真空室(6)的外表面一侧固定安装有观察窗(7)，所述真空室(6)的外表面与观察窗(7)的下方固定安装有工作台(8)，所述真空室(6)的外表面一侧固定安装有管道(9)，所述管道(9)的一端固定安装有三号驱动箱(10)，所述装载架(4)...

【技术特征摘要】
1.一种电子工业用真空镀膜机，包括固定平台(1)、阀门(13)与转盘(15)，其特征在于：所述固定平台(1)的上端外表面活动安装有一号驱动箱(2)，所述一号驱动箱(2)的外表面一侧活动安装有二号驱动箱(3)，所述二号驱动箱(3)的外表面一侧活动安装有装载架(4)，所述装载架(4)的外表面活动安装有装载平台(5)，所述固定平台(1)的一端外表面固定安装有真空室(6)，所述真空室(6)的外表面一侧固定安装有观察窗(7)，所述真空室(6)的外表面与观察窗(7)的下方固定安装有工作台(8)，所述真空室(6)的外表面一侧固定安装有管道(9)，所述管道(9)的一端固定安装有三号驱动箱(10)，所述装载架(4)的外表面一侧固定安装有摄像头(11)，所述真空室(6)的上端内表面固定安装有温度监测仪(12)，所述真空室(6)通过阀门(13)与管道(9)固定连接，所述三号驱动箱(10)的内部固定安装有真空泵(14)，所述二号驱动箱(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘炫烨，
申请(专利权)人：无锡源代码科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32