基于双光路的快速扫描装置及应用其的扫描方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于双光路的快速扫描装置及应用其的扫描方法，基于双光路的快速扫描装置用于检测被测物体，基于双光路的快速扫描装置包括物镜、数据采集成像单元、辅成像单元、第一分光镜、第二分光镜、第三分光镜、反射光源和透射光源；其中，当打开透射光源时，所述透射光源发出的光线透过被测物体并照射进物镜后，再经过第一分光镜的透射和第二分光镜的透射后进入数据采集成像单元；当打开反射光源时，反射光源发出的光线经过第一分光镜的反射进入物镜后照射至被测物体表面上再反射至物镜中，然后经过第一分光镜的透射后进入所述第二分光镜。本发明专利技术能够同时解决快速数据采集和对准的问题，特别适用于晶圆检测或掩膜版检测。

Fast scanning device based on double optical path and its application

The invention discloses a fast scanning device based on double light paths and the application of the scanning method, based on the rapid scanning device of double optical path for the detection of the measured object, fast scanning device of double light path includes a lens, an imaging unit, data acquisition unit, the first auxiliary imaging spectroscope, second beam splitter, third beam splitter, reflection light and transmission light source based on the open source; when the transmission is sent out by the transmission light source through the object to be measured and light into the lens, and then through the transmission and transmission in the first second spectroscope spectroscope into data acquisition and imaging unit; when open the reflection light, reflected light from light source is reflected by the first spectroscope enter the lens after irradiation to the object surface to be reflected in the measured object, and then after the first transmission after entering the spectroscope Two spectroscope. The invention can solve the problem of fast data acquisition and alignment at the same time, and is especially suitable for wafer detection or mask detection.

【技术实现步骤摘要】
基于双光路的快速扫描装置及应用其的扫描方法
本专利技术涉及一种基于双光路的快速扫描装置及应用其的扫描方法，属于半导体光学检测

技术介绍
目前，基于光学的半导体缺陷检测，基本都会用到高倍物镜和工业相机，工业相机一般分为面阵和线阵相机，如果采用线阵相机进行数据采集，的确能有效利用镜头视场大小，但是对晶圆或者掩膜版来说，往往需要做对准操作，如果采用线阵处理对准操作，难度太高；如果采用面阵相机进行数据采集，的确可以解决对准问题，但是数据采集时，不能充分利用镜头视场，因为面阵相机只能发挥镜头视场的内接矩形大小，而线阵相机可以发挥到镜头视场的外接矩形大小，而且线阵相机还有一个特点就是曝光时间可以做的比较短，更适合快速扫描。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种基于双光路的快速扫描装置，它能够同时解决快速数据采集和对准的问题，特别适用于晶圆检测或掩膜版检测。为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：一种基于双光路的快速扫描装置，用于检测被测物体，它包括物镜、数据采集成像单元、辅成像单元、第一分光镜、第二分光镜、第三分光镜、反射光源和透射光源；其中，当打本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于双光路的快速扫描装置，用于检测被测物体(10)，其特征在于，它包括物镜(1)、数据采集成像单元、辅成像单元、第一分光镜(2)、第二分光镜(3)、第三分光镜(4)、反射光源(5)和透射光源(6)；其中，当打开透射光源(6)时，所述透射光源(6)发出的光线透过被测物体(10)并照射进物镜(1)后，再经过第一分光镜(2)的透射和第二分光镜(3)的透射后进入数据采集成像单元；当打开反射光源(5)时，反射光源(5)发出的光线经过第一分光镜(2)的反射进入物镜(1)后照射至被测物体(10)表面上再反射至物镜(1)中，然后经过第一分光镜(2)的透射后进入所述第二分光镜(3)，进入第二分光镜(3)的光...

【技术特征摘要】
1.一种基于双光路的快速扫描装置，用于检测被测物体(10)，其特征在于，它包括物镜(1)、数据采集成像单元、辅成像单元、第一分光镜(2)、第二分光镜(3)、第三分光镜(4)、反射光源(5)和透射光源(6)；其中，当打开透射光源(6)时，所述透射光源(6)发出的光线透过被测物体(10)并照射进物镜(1)后，再经过第一分光镜(2)的透射和第二分光镜(3)的透射后进入数据采集成像单元；当打开反射光源(5)时，反射光源(5)发出的光线经过第一分光镜(2)的反射进入物镜(1)后照射至被测物体(10)表面上再反射至物镜(1)中，然后经过第一分光镜(2)的透射后进入所述第二分光镜(3)，进入第二分光镜(3)的光经其反射后再经过第三分光镜(4)的反射进入辅成像单元；进入第二分光镜(3)的光还经其透射后进入数据成像成像单元。2.根据权利要求1所述的基于双光路的快速扫描装置，其特征在于：所述数据采集成像单元包括数据采集相机(71)和数据采集筒镜(72)，所述数据采集筒镜(72)和所述数据采集相机(71)沿着光路方向依次设置。3.根据权利要求2所述的基于双光路的快速扫描装置，其特征在于：所述数据采集相机(71)为线阵相机。4.根据权利要求1所述的基于双光路的快速扫描装置，其特征在于：所述辅成像单元包括辅成像相机(81)和辅筒镜(82)，所述辅筒镜(82)和所述辅成像相机(81)沿着光路方向依次设置。5.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘建明，刘庄，张彦鹏，
申请(专利权)人：江苏维普光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32