适用于晶圆方片的预对准装置制造方法及图纸

本技术公开了一种适用于晶圆方片的预对准装置，它用于对晶圆方片进行预对准，它包括底座、固定块、活动块、托片装置和驱动机构；所述晶圆方片上具有至少两个相对设置的转角部，所述底座上具有定位中心，所述固定块连接在所述底座上，所述活动块滑动连接在所述底座上，所述定位中心位于所述固定块和所述活动块之间，所述托片装置中包括以所述定位中心为中心由内向外依次设置的至少两个托片机构，所述托片机构连接在所述底座上并用于托住晶圆方片，并且越靠近所述定位中心的所述托片机构用于托住规格越小的晶圆方片，越外侧的所述托片机构用于托住规格越大的晶圆方片。本技术能够对晶圆方片进行预对准。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种适用于晶圆方片的预对准装置。

技术介绍

1、目前，大多数的晶圆都是圆形的，晶圆在搬运及制造过程中需要进行预对准，晶圆预对准的目的是补偿晶圆的位置偏心并将晶圆上的缺口转至一定方向，为下一步晶圆的识别和处理做好准备。随着技术的发展，目前市场上逐渐出现了方形的晶圆，称为晶圆方片。晶圆方片在搬运及制造过程中同样需要预对准以便消除晶圆方片的角度偏差和位置偏差，使晶圆方片调整到指定的位置和角度，实现晶圆方片的精准定位以及保证定位的一致性。然而，现有的预对准装置都只能对圆形的晶圆进行预对准而无法对晶圆方片进行预对准，譬如公开号为cn220041791u的中国专利中公开了一种晶圆预对准装置，其就无法对晶圆方片进行预对准。

技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种适用于晶圆方片的预对准装置，它能够对晶圆方片进行预对准。

2、为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种适用于晶圆方片的预对准装置，它用于对晶圆方片进行预对准，它包括底座、固定块、活动块、托片装置和驱动机构本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种适用于晶圆方片的预对准装置，其特征在于，它用于对晶圆方片(1)进行预对准，它包括底座(2)、固定块(3)、活动块(4)、托片装置和驱动机构(5)；

2.根据权利要求1所述的适用于晶圆方片的预对准装置，其特征在于，越靠近所述定位中心(7)的所述托片机构(8)的高度越低。

3.根据权利要求2所述的适用于晶圆方片的预对准装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的适用于晶圆方片的预对准装置，其特征在于，对应的所述固定导正部(9)与对应的所述托片机构(8)上的晶圆方片(1)位于同一高度位置，对应的所述活动导正部(10)与对应的所述托片机构(8)上的晶圆...

【技术特征摘要】

1.一种适用于晶圆方片的预对准装置，其特征在于，它用于对晶圆方片(1)进行预对准，它包括底座(2)、固定块(3)、活动块(4)、托片装置和驱动机构(5)；

2.根据权利要求1所述的适用于晶圆方片的预对准装置，其特征在于，越靠近所述定位中心(7)的所述托片机构(8)的高度越低。

3.根据权利要求2所述的适用于晶圆方片的预对准装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的适用于晶圆方片的预对准装置，其特征在于，对应的所述固定导正部(9)与对应的所述托片机构(8)上的晶圆方片(1)位于同一高度位置，对应的所述活动导正部(10)与对应的所述托片机构(8)上的晶圆方片(1)位于同一高度位置。

5.根据权利要求4所述的适用于晶圆方片的预对准装置，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的适用于晶圆方片的预对准装置，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：刘军，张端彬，张彦鹏，
申请(专利权)人：江苏维普光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：

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