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本技术公开了一种适用于晶圆方片的预对准装置，它用于对晶圆方片进行预对准，它包括底座、固定块、活动块、托片装置和驱动机构；所述晶圆方片上具有至少两个相对设置的转角部，所述底座上具有定位中心，所述固定块连接在所述底座上，所述活动块滑动连接在所述...
该专利属于江苏维普光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏维普光电科技有限公司授权不得商用。

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