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基于双光路的快速扫描装置及应用其的扫描方法制造方法及图纸
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下载基于双光路的快速扫描装置及应用其的扫描方法的技术资料
文档序号:17614617
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本发明公开了一种基于双光路的快速扫描装置及应用其的扫描方法,基于双光路的快速扫描装置用于检测被测物体,基于双光路的快速扫描装置包括物镜、数据采集成像单元、辅成像单元、第一分光镜、第二分光镜、第三分光镜、反射光源和透射光源;其中,当打开透射光...
该专利属于江苏维普光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏维普光电科技有限公司授权不得商用。
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