从合成石英玻璃产生光学坯件的方法技术

本发明专利技术涉及从合成石英玻璃产生光学坯件的方法，其通过在包括具有底部板的熔融模具的加热区中使多孔、圆柱形SiO2烟灰体玻璃化并成型来实施，所述方法包括：(a)使所述SiO2烟灰体在所述加热区中玻璃化，以形成完全圆柱形石英玻璃体；(b)通过在所述熔融模具中软化使所述玻璃化石英玻璃体成型，以形成粘性石英玻璃团块；(c)冷却所述石英玻璃团块且从所述熔融模具取出以形成所述光学坯件。本发明专利技术提出，根据方法步骤(b)于所述熔融模具中成型期间，通过受控供应的方式使所述完全圆柱形石英玻璃体与所述底部板)的定心构件接触。

Method for producing optical blanks from synthetic quartz glass

The invention relates to a method for producing an optical blank from synthetic quartz glass, the heating area including melting mould with bottom plate in the cylindrical porous glass soot body, SiO2 and molding to implement, the method includes: (a) the SiO2 soot body in the glass with heat. In order to form a complete cylindrical quartz vitreous body; (b) the melt mold softening the glass molding to form a viscous vitreous body of quartz, quartz glass mass; (c) cooling the quartz glass and the molten mass from the mold out to form the optical blank. According to the method step (b), during the molding process of the molten mold, the centering member of the fully cylindrical quartz glass body and the bottom plate is contacted by a controlled supply.

【技术实现步骤摘要】
从合成石英玻璃产生光学坯件的方法
本专利技术涉及通过在包括具有底部板的熔融模具的加热区中使具有纵向轴的多孔、圆柱形SiO2烟灰体玻璃化且成型自合成石英玻璃产生光学坯件的方法，所述方法包括下列步骤：(a)使所述SiO2烟灰体在所述加热区中于玻璃化温度下玻璃化以形成完全圆柱形、完全玻璃化、透明石英玻璃体，且随后直接(b)通过在所述熔融模具中软化来使所述玻璃化石英玻璃体成型以形成完全或部分地填充所述熔融模具的体积的粘性石英玻璃团块，和(c)冷却所述石英玻璃块且从所述熔融模具取出以形成所述光学坯件。举例来说，从合成石英玻璃的坯件产生用于半导体制造中的组件、光学组件(例如微光刻中的透镜或镜子)或用于通信工程用光学纤维的预形成物。通常通过火焰水解或使用沉淀燃烧器氧化含硅起始化合物的方式来产生合成石英玻璃。用于制造合成石英玻璃的充分确定的起始化合物为四氯化硅(SiCl4)。然而，已知许多其它可通过水解或通过氧化自其形成SiO2的有机硅化合物。举例来说，本文提及含氯或无氯硅烷、硅氮烷或聚硅氧烷。在这些物质中，无氯聚硅氧烷八甲基-环四硅氧烷(OMCTS)变得尤其有用。已知产生方法为VAD方法(气相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种从合成石英玻璃产生光学坯件的方法，其通过在包括具有底部板(24)的熔融模具(23)的加热区(21)中使具有纵向轴(L)的多孔、圆柱形SiO2烟灰体(1)玻璃化并成型来实施，所述方法包括下列方法步骤：(a)使所述SiO2烟灰体(1)在所述加热区(21)中于玻璃化温度下玻璃化，以形成完全圆柱形、完全玻璃化、透明石英玻璃体(6)，且随后(b)通过在所述熔融模具(23)中于软化温度下软化来使所述玻璃化石英玻璃体(6)成型，以形成完全或部分地填充所述熔融模具(23)的体积的粘性石英玻璃团块(7)，和(c)冷却所述石英玻璃团块(7)且从所述熔融模具(23)取出以形成所述光学坯件，其特征在于，根据方法步...

【技术特征摘要】
2016.09.22 EP 1619005681.一种从合成石英玻璃产生光学坯件的方法，其通过在包括具有底部板(24)的熔融模具(23)的加热区(21)中使具有纵向轴(L)的多孔、圆柱形SiO2烟灰体(1)玻璃化并成型来实施，所述方法包括下列方法步骤：(a)使所述SiO2烟灰体(1)在所述加热区(21)中于玻璃化温度下玻璃化，以形成完全圆柱形、完全玻璃化、透明石英玻璃体(6)，且随后(b)通过在所述熔融模具(23)中于软化温度下软化来使所述玻璃化石英玻璃体(6)成型，以形成完全或部分地填充所述熔融模具(23)的体积的粘性石英玻璃团块(7)，和(c)冷却所述石英玻璃团块(7)且从所述熔融模具(23)取出以形成所述光学坯件，其特征在于，根据方法步骤(b)在所述熔融模具(23)中成型期间，通过受控供应的方式使所述完全圆柱形石英玻璃体(6)与所述底部板(24)的定心构件接触。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述底部板的所述定心构件配置为旋转对称槽(24a)。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于通过作用于所述玻璃化石英玻璃体(6)的上端的固持装置(3；4)与移动单元(5)的组合来实施到所述熔融模具(23)中的所述受控供应。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于使所述玻璃化石英玻璃体(6)在所述熔融模具(23)中从其下端开始从底部到顶部进行成型，其中控制所述供应，使得每时间单位所...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·卡斯克，K·贝克尔，S·奥克斯，
申请(专利权)人：贺利氏石英玻璃有限两合公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE