金刚线切割硅片用树脂板及脱胶处理方法技术

本发明专利技术是一种金刚线切割硅片用树脂板，其固定在需要切割的硅锭一侧，树脂板的填充物为玻璃纤维粉，通过加入玻璃纤维粉控制树脂板的厚度为25mm时，其密度为0.6g/cm3；在树脂板的中部沿其长度方向设有至少两个通孔，通孔间隔均匀分布。本发明专利技术可以提高切割效率，提升了硅片切片时间的加工效率，使设备的利用率得到提升；减少脱胶冲洗用水的使用量；降低整体树脂板型重量，解决了树脂板作为废品的处理的轻质化问题，起到了节能环保的作用。

High efficiency, energy saving and environmental protection resin plate and degumming treatment method for diamond wire cutting silicon wafer

The invention is a high-efficiency energy-saving environmental protection resin board for diamond chip cutting silicon chip, which is fixed on one side of the silicon ingot which needs cutting. The filler for the resin plate is fiberglass powder, and the density of the resin plate is 0.6g/cm when the thickness of the resin plate is 25mm.

【技术实现步骤摘要】
金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板及脱胶处理方法
本专利技术属于太阳能光伏发电领域，涉及硅片的金刚线切片，具体的说是一种金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板及脱胶处理方法。
技术介绍
在太阳能光伏发电领域，在加工硅锭形成硅片时，需要通过金刚线切片，需要使用树脂板辅材与硅锭进行粘接，切割完毕后需要对硅片进行脱胶清洁，并将硅片与树脂板进行分离。传统的树脂板设计及切片脱胶冲洗处理方法存在的缺陷是：⑴树脂板材由树脂加入氢氧化铝作为填充物，邵氏硬度A93，厚度薄（15mm左右），为防止金刚线在尾部收刀切割超出树脂板，需要提前降低台速，尾部收刀时间在40分钟左右，严重影响生产效率；⑵传统的树脂板密度在1.5g/cm3左右，在每次切割完毕后，树脂板需要进行报废处理，每块树脂板的重量切割完毕在1.3kg左右，根据不同体量的切片产能，每月产生的树脂板处理重量可达15吨左右，给环保处理带来了较高的处理成本；⑶在每次切割完毕后，需要将硅片3与树脂板1放入脱胶喷淋工装内进行硅片脱胶喷淋清洁处理，如图1所示，由两侧的水管4进行自来水喷淋，由于在喷淋时，水流量无法冲洗到硅片3的中部，同时硅片薄，喷淋水压过高会导致产品报废，同时带来喷淋水资源浪费的问题，喷淋压力小0.1帕，冲洗时间长700秒，每清洗一根晶棒的时间所用水达到600升左右。由此可见，现有树脂板设计及切片脱胶冲洗处理方法在切割时，钢线接近树脂板时，需要进行设备降速，影响了加工时间，造成了设备利用率方面的浪费；树脂板报废处理增加环保处理压力；在硅片清洁过程中需要大量的自来水进行冲洗硅片，造成水资源的浪费。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板及脱胶处理方法，可以提高产品加工效率，降低水资源使用，降低废弃物产生的环境污染。本专利技术解决以上技术问题的技术方案是：一种金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板，其固定在需要切割的硅锭一侧，树脂板的填充物为玻璃纤维粉，通过加入玻璃纤维粉控制树脂板的厚度为25mm±0.5mm时，其密度为0.5-0.7g/cm3；在树脂板的中部沿其厚度方向设有至少两个通孔，通孔间隔均匀分布。金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板的脱胶处理方法，将带有喷淋孔的水管插入树脂板通孔内，连接水源进行对硅片进行喷淋冲洗，水压为0.03帕-0.05帕。本专利技术的树脂板通过现有工艺加工生产，区别在于树脂搅拌后，填充物由原先的氢氧化铝改进成玻璃纤维粉。这样，本专利技术采用轻质的玻璃纤维粉作为填充材料，替代原先的氢氧化铝，可使树脂板密度由1.5g/cm3左右降低到0.6g/cm3左右，硬度由邵氏A93降低到邵氏A50，厚度提升至25mm后，树脂板重量仍可下降40%；这样，一方面使树脂板具备轻质化，低硬度，使加工强度降低；另一方面也能有效降低环保处理压力；由于厚度的增加，提升了整体树脂板的强度，又可使金钢线在切割结束部位实现高速收刀，而不触发金属板，引起断线，尾部加工时间由40分钟，降低至20分钟，提升了设备的单位产出时间，一举多得。另外，在树脂板中部区域设计通孔，可在内部插入喷淋管路，使自来水直接作用到硅片中间，喷淋时间降低至200秒左右，水压由0.1帕降低到0.03帕左右，大大节约了清洗的时间效率，水资源节约80%左右。本专利技术进一步限定的技术方案是：前述金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板，其中玻璃纤维粉的填充量为树脂板重量的50-60%。前述金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板，在树脂板的中部设有3间隔均匀分布、直径为10mm±0.5mm的圆形通孔。前述金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板，树脂板加工时，玻璃纤维粉在树脂搅拌后加入。前述金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板，树脂板的硬度为邵氏A50±3。前述金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板，树脂板的尺寸为156*700*25mm。本专利技术的有益效果是：本专利技术可以提高切割效率，提升了硅片切片时间的加工效率，使设备的利用率得到提升；减少脱胶冲洗用水的使用量；降低整体树脂板型重量，解决了树脂板作为废品的处理的轻质化问题，起到了节能环保的作用。附图说明图1为现有的树脂板脱胶处理示意图。图2是本专利技术树脂板结构示意图。图3是图2的剖面图。图4是本专利技术的树脂板脱胶处理示意图。具体实施方式实施例1本实施例是一种金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板，树脂板固定在需要切割的硅锭一侧，树脂板的填充物为玻璃纤维粉填充比例为树脂重量的50%-60%，树脂板加工时，玻璃纤维粉在树脂搅拌后加入，本实施例将树脂板的填充物由原先的氢氧化铝改成玻璃纤维粉。本实施例树脂板规格尺寸由现有的156*700*15mm调整为156*700*25mm，厚度增加至25mm，通过加入玻璃纤维粉控制树脂板的厚度为25mm时，硬度由邵氏A93降低到邵A50，密度由1.5g/cm3降低到0.6g/cm3。如图2和图3所示，在树脂板1的中部沿其厚度方向设有3个圆形通孔2，圆形通孔2间隔均匀分布，直径为10mm。本实施例树脂板规格尺寸由156*700*15mm调整为156*700*25mm，通过厚度的整加，提升整体树脂板的强度，使钢线在切割结束部位实现高速收刀，而不触发金属板，引起断线；树脂板由树脂搅拌后，填充物由原先的氢氧化铝成分，改进成玻璃纤维粉，硬度由邵A93，降低到邵A50，密度由1.5g/cm3降低到0.6g/cm3；使树脂板具备轻质化，低硬度，时加工强度降低。本实施例的金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板的脱胶处理方法，如图4所示，将直径为8mm带有喷淋孔的塑料软管插入树脂板1的圆形通孔2内，接入自来水，水压0.03帕，实现水流直接从树脂板中部喷淋硅片3，提升水资源的利用率。本实施例采用轻质的玻璃纤维粉作为填充材料，时树脂板密度降低到0.6g/cm3，尺寸厚度提升至25mm，树脂板重量下降40%，有效降低环保处理压力；材料硬度降低至邵氏A50，厚度提升至25mm，在尾部收刀形成快速收刀，尾部加工时间由40分钟，降低至20分钟，提升工作效率；树脂板的中部开有通孔，在内部插入喷淋管路，使自来水直接作用到硅片中间，喷淋时间降低至200秒，水压由0.1帕降低到0.03帕，大大节约了清洗的时间效率，水资源节约80%。除上述实施例外，本专利技术还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本专利技术要求的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板，其固定在需要切割的硅锭一侧，其特征在于：所述树脂板的填充物为玻璃纤维粉，通过加入所述玻璃纤维粉控制所述树脂板的厚度为25mm±0.5时，其密度为0.5‑0.7g/cm

【技术特征摘要】
1.金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板，其固定在需要切割的硅锭一侧，其特征在于：所述树脂板的填充物为玻璃纤维粉，通过加入所述玻璃纤维粉控制所述树脂板的厚度为25mm±0.5时，其密度为0.5-0.7g/cm3；在所述树脂板的中部沿其厚度方向设有至少两个通孔，所述通孔间隔均匀分布。2.如权利要求1所述金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板，其特征在于：所述玻璃纤维粉的填充量为树脂板重量的50-60%。3.如权利要求1所述金刚线切割硅片用高效节能环保树脂板，其特征在于：在树脂板的中部设有3间隔均匀分布、直径为10mm±0.5mm...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆继波，王海庆，徐建华，
申请(专利权)人：江苏高照新能源发展有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32