一种新型正硅酸乙酯气体供应装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种新型正硅酸乙酯气体供应装置，包括保温箱，加热防护底座结构，气体收纳罐，智能控制装置，加水管，导气加热管结构和水管控制阀，所述的加热防护底座结构安装在保温箱的下部；所述的气体收纳罐安装在加热防护底座结构的上部；所述的智能控制装置安装在保温箱的左上部。本实用新型专利技术橡胶垫圈的设置，有利于提高对气体收纳罐在收纳罐放置槽内的防护效果；提手的设置，有利于方便搬运气体收纳罐，使得更加方便；备用导气管的设置，有利于在主导气管堵塞时能够及时的给气体收纳罐内供应正硅酸乙酯气体；定量泵和流量传感器的设置，有利于能够定量给气体收纳罐内传送正硅酸乙酯气体。

A new type of gas supply device for ethyl orthosilicate

The utility model provides a TEOS gas supply device comprises a heat insulation box, heating protection base structure, gas storage tank, intelligent control device, water pipes, gas pipes and heating tube heating control valve door base structure which is installed on the lower box; the gas storage tank installed in the upper part of the heating door base structure; the intelligent control device is installed at the upper left of the insulation box. The utility model has the advantages of rubber gasket are arranged, the increase of the gas storage tank is placed inside the tank in a storage tank protection effect; handle settings, which facilitates the handling of gas storage tank, it is more convenient; spare windpipe set, in favor of leading tracheal blockage can be timely to the gas storage tank supply TEOS gas; quantitative pump and flow sensor set, is conducive to the gas storage tank can quantitatively transfer TEOS gas.

【技术实现步骤摘要】
一种新型正硅酸乙酯气体供应装置
本技术属于气体供应装置
，尤其涉及一种新型正硅酸乙酯气体供应装置。
技术介绍
在半导体硅抛光片加工制造过程中，有一道工序是需要在硅抛光片晶圆背面催生长成一层二氧化硅膜。这种二氧化硅膜的催生方法有二种，一种是硅烷氧化催生方法，另一种是大部分生产制造单位都采用的正硅酸乙酯加热氧化分解法，通过加热，将正硅酸乙酯气体输送到背封炉内，以达到使硅抛光片晶圆背面生长一层二氧化硅膜的目的。而目前为生长二氧化硅膜用背封炉设备提供正硅酸乙酯气体的装置是一种专用不锈钢加热槽，盛装正硅酸乙酯的罐是生产厂家提供的专用罐，不具备通用性，因背封炉设备型号不同，而不利于更换，且价格较贵。但是现有的正硅酸乙酯气体供应装置还存在着使用不方便，导气管堵塞时不能及时给盛装气体收纳管罐内供给正硅酸乙酯气和智能化程度低的问题。因此，专利技术一种新型正硅酸乙酯气体供应装置显得非常必要。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供一种新型正硅酸乙酯气体供应装置，以解决现有的正硅酸乙酯气体供应装置还存在着使用不方便，导气管堵塞时不能及时给盛装气体收纳管罐内供给正硅酸乙酯气和智能化程度低的问题。一种新型正硅酸乙酯气体供应装置，包括保温箱，加热防护底座结构，气体收纳罐，智能控制装置，加水管，导气加热管结构和水管控制阀，所述的加热防护底座结构安装在保温箱的下部；所述的气体收纳罐安装在加热防护底座结构的上部；所述的智能控制装置安装在保温箱的左上部；所述的加水管安装在气体收纳罐的上部右侧；所述的水管控制阀安装在加水管上；所述的导气加热管结构安装在气体收纳罐的上部左侧；所述的导气加热管结构包括导气管接头，主导气管，备用导气管，定量泵，主控制阀和备用控制阀，所述的导气管接头安装在主导气管的左右两端；所述的定量泵安装在主导气管的左侧；所述的备用导气管一端与定量泵的出口处连接，另一端与主导气管与导气管接头的连接处连接；所述的主控制阀和备用控制阀分别安装在主导气管和备用导气管上。优选的，所述的加热防护底座结构包括底座本体，金属座，收纳罐放置槽，橡胶垫圈和加热板，所述的金属座安装在底座本体的下部中间位置；所述的收纳罐放置槽开设在底座本体的上部；所述的橡胶垫圈安装在收纳罐放置槽的内侧；所述的加热板安装在收纳罐放置槽的中间位置。优选的，所述的气体收纳罐的上部左右两侧还设置有提手。优选的，所述的主导气管和备用导气管的外侧分别设置有加热丝。优选的，所述的主导气管内还设置有流量传感器。优选的，所述的收纳罐放置槽设置有多个。优选的，所述的橡胶垫圈截面设置为L型。优选的，所述的智能控制装置包括控制装置外壳，触摸屏，控制器，声光报警灯和电源开关，所述的触摸屏，声光报警灯和电源开关分别镶嵌在控制装置外壳的前表面；所述的控制器安装在控制装置外壳的内部。优选的，所述的控制器采用三菱FX2N-48系列的PLC，所述的流量传感器和触摸屏分别与控制器的输出端电性连接；所述的定量泵，加热板和声光报警灯分别与控制器的输出端电性连接。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：由于本技术的一种新型正硅酸乙酯气体供应装置广泛应用于气体供应装置
同时，本技术的有益效果为：1.本技术中，所述的收纳罐放置槽设置有多个，有利于方便同时放置多个气体收纳罐。2.本技术中，所述的橡胶垫圈的设置，有利于提高对气体收纳罐在收纳罐放置槽内的防护效果。3.本技术中，所述的提手的设置，有利于方便搬运气体收纳罐，使得更加方便。4.本技术中，所述的备用导气管的设置，有利于在主导气管堵塞时能够及时的给气体收纳罐内供应正硅酸乙酯气体。5.本技术中，所述的定量泵和流量传感器的设置，有利于能够定量给气体收纳罐内传送正硅酸乙酯气体。6.本技术中，所述的智能控制装置的设置，有利于提高该设备的智能化程度。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术的加热防护底座结构的结构示意图。图3是本技术的智能控制装置的结构示意图。图4是本技术的导气加热管结构的结构示意图。图中：1、保温箱；2、加热防护底座结构；21、底座本体；22、金属座；23、收纳罐放置槽；24、橡胶垫圈；25、加热板；3、气体收纳罐；31、提手；4、智能控制装置；41、控制装置外壳；42、触摸屏；43、控制器；44、声光报警灯；45、电源开关；5、加水管；6、导气加热管结构；61、导气管接头；62、主导气管；621、流量传感器；63、备用导气管；64、定量泵；65、主控制阀；66、备用控制阀；7、水管控制阀。具体实施方式以下结合附图对本技术做进一步描述：实施例：如附图1至附图4所示本技术提供一种新型正硅酸乙酯气体供应装置，包括保温箱1，加热防护底座结构2，气体收纳罐3，智能控制装置4，加水管5，导气加热管结构6和水管控制阀7，所述的加热防护底座结构2安装在保温箱1的下部；所述的气体收纳罐3安装在加热防护底座结构2的上部；所述的智能控制装置4安装在保温箱1的左上部；所述的加水管5安装在气体收纳罐3的上部右侧；所述的水管控制阀7安装在加水管5上；所述的导气加热管结构6安装在气体收纳罐3的上部左侧；所述的导气加热管结构6包括导气管接头61，主导气管62，备用导气管63，定量泵64，主控制阀65和备用控制阀66，所述的导气管接头61安装在主导气管62的左右两端；所述的定量泵64安装在主导气管62的左侧；所述的备用导气管63一端与定量泵64的出口处连接，另一端与主导气管62与导气管接头61的连接处连接；所述的主控制阀65和备用控制阀66分别安装在主导气管62和备用导气管63上。上述实施例中，具体的，所述的加热防护底座结构2包括底座本体21，金属座22，收纳罐放置槽23，橡胶垫圈24和加热板25，所述的金属座22安装在底座本体21的下部中间位置；所述的收纳罐放置槽23开设在底座本体21的上部；所述的橡胶垫圈24安装在收纳罐放置槽23的内侧；所述的加热板25安装在收纳罐放置槽23的中间位置。上述实施例中，具体的，所述的气体收纳罐3的上部左右两侧还设置有提手31。上述实施例中，具体的，所述的主导气管62和备用导气管63的外侧分别设置有加热丝。上述实施例中，具体的，所述的主导气管62内还设置有流量传感器621。上述实施例中，具体的，所述的收纳罐放置槽23设置有多个。上述实施例中，具体的，所述的橡胶垫圈24截面设置为L型。上述实施例中，具体的，所述的智能控制装置4包括控制装置外壳41，触摸屏42，控制器43，声光报警灯44和电源开关45，所述的触摸屏42，声光报警灯44和电源开关45分别镶嵌在控制装置外壳41的前表面；所述的控制器43安装在控制装置外壳41的内部。上述实施例中，具体的，所述的控制器43采用三菱FX2N-48系列的PLC，所述的流量传感器621和触摸屏42分别与控制器43的输出端电性连接；所述的定量泵64，加热板25和声光报警灯44分别与控制器43的输出端电性连接。工作原理本技术在工作过程中，可根据使用需求调整气体收纳罐3在收纳罐放置槽23内的数量，然后利用主导气管62对气体收纳罐3内提供正硅酸乙酯气体，并利用流量传感器621检测气体在主导气管62内的流速，当主导气管本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型正硅酸乙酯气体供应装置，其特征在于，该新型正硅酸乙酯气体供应装置，包括保温箱(1)，加热防护底座结构(2)，气体收纳罐(3)，智能控制装置(4)，加水管(5)，导气加热管结构(6)和水管控制阀(7)，所述的加热防护底座结构(2)安装在保温箱(1)的下部；所述的气体收纳罐(3)安装在加热防护底座结构(2)的上部；所述的智能控制装置(4)安装在保温箱(1)的左上部；所述的加水管(5)安装在气体收纳罐(3)的上部右侧；所述的水管控制阀(7)安装在加水管(5)上；所述的导气加热管结构(6)安装在气体收纳罐(3)的上部左侧；所述的导气加热管结构(6)包括导气管接头(61)，主导气管(62)，备用导气管(63)，定量泵(64)，主控制阀(65)和备用控制阀(66)，所述的导气管接头(61)安装在主导气管(62)的左右两端；所述的定量泵(64)安装在主导气管(62)的左侧；所述的备用导气管(63)一端与定量泵(64)的出口处连接，另一端与主导气管(62)与导气管接头(61)的连接处连接；所述的主控制阀(65)和备用控制阀(66)分别安装在主导气管(62)和备用导气管(63)上。

【技术特征摘要】
1.一种新型正硅酸乙酯气体供应装置，其特征在于，该新型正硅酸乙酯气体供应装置，包括保温箱(1)，加热防护底座结构(2)，气体收纳罐(3)，智能控制装置(4)，加水管(5)，导气加热管结构(6)和水管控制阀(7)，所述的加热防护底座结构(2)安装在保温箱(1)的下部；所述的气体收纳罐(3)安装在加热防护底座结构(2)的上部；所述的智能控制装置(4)安装在保温箱(1)的左上部；所述的加水管(5)安装在气体收纳罐(3)的上部右侧；所述的水管控制阀(7)安装在加水管(5)上；所述的导气加热管结构(6)安装在气体收纳罐(3)的上部左侧；所述的导气加热管结构(6)包括导气管接头(61)，主导气管(62)，备用导气管(63)，定量泵(64)，主控制阀(65)和备用控制阀(66)，所述的导气管接头(61)安装在主导气管(62)的左右两端；所述的定量泵(64)安装在主导气管(62)的左侧；所述的备用导气管(63)一端与定量泵(64)的出口处连接，另一端与主导气管(62)与导气管接头(61)的连接处连接；所述的主控制阀(65)和备用控制阀(66)分别安装在主导气管(62)和备用导气管(63)上。2.如权利要求1所述的新型正硅酸乙酯气体供应装置，其特征在于，所述的加热防护底座结构(2)包括底座本体(21)，金属座(22)，收纳罐放置槽(23)，橡胶垫圈(24)和加热板(25)，所述的金属座(22)安装在底座本体...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑云峰，陈道伟，汪玉林，王中，蒋连群，叶土洪，
申请(专利权)人：浙江开化合成材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33