用于MEMS开关器件的保护方案制造技术

本公开涉及用于MEMS开关器件的保护方案。微机电开关(MEMS)器件可使用集成电路制造技术和材料制造。这种开关器件可以提供适用于广泛应用的循环寿命和插入损耗性能，包括例如，自动化测试设备(ATE)、切换测量仪器(如频谱分析仪、网络分析仪或通讯测试系统)，并用于通信系统，如信号处理。MEMS器件可容易受到电气过压，例如与静电放电(ESD)瞬变事件相关联。固态箝位电路可以并入MEMS器件封装中，以保护一个或多个MEMS器件免受损坏的过压条件。箝位电路可包括具有互补电流‑电压关系的单个或多个阻断结结构，例如帮助钳位电路呈现的电容电压关系线性化。

Protection scheme for MEMS switch device

The present disclosure relates to a protection scheme for MEMS switching devices. Microelectromechanical switch (MEMS) devices can use integrated circuit manufacturing technology and material manufacturing. The cycle life of switching devices can provide for wide application and insertion loss performance, including for example, automated test equipment (ATE), switching instruments (such as spectrum analyzer, network analyzer or communication test system), and for a communication system, such as signal processing. MEMS devices can be easily overvoltage, for example, associated with electrostatic discharge (ESD) transient events. The solid-state clamping circuit can be incorporated into the MEMS device package to protect one or more MEMS devices from the overvoltage conditions. The clamping circuit may include a single complementary current voltage relationship or a plurality of block structure, such as helping the capacitor voltage clamp circuit shows a linear relationship between the.

【技术实现步骤摘要】
用于MEMS开关器件的保护方案
本专利技术通常涉及但不限于集成微机电开关器件和其耦合的保护电路。
技术介绍
电气瞬变可能会损坏电子电路。可以相对于静电放电(ESD)事件诱发这种瞬变，其中结合的电荷可以产生相对于参考电位的显着电位，例如超过1千伏特(kV)。存储的电荷可以通过例如摩擦电效应(例如接触电气化)相对于未接地的人员或设备而累积，或者甚至通过接近其他充电的目标而引起。如果出现放电路径，例如通过人员或设备与敏感设备之间的接触，存储的电荷可以耦合到敏感器件并通过敏感器件放电，例如引起有害的瞬态过电压状态。某些电子器件，例如端子之间展现相对高电阻的器件(例如，电容器件、场效应晶体管中的栅极结构或其他器件)可特别容易受到ESD瞬变或其他电气过压条件的影响。即使静电瞬变事件中的总存储能量一般不足以对人员造成危害，这样的过电压仍然足以引起诸如氧化物层的内部结构的介电击穿(例如“穿通”)，或者这种过电压甚至可能对电子器件内的其他结构造成电弧引起的损坏。在某些情况下，由于环境条件如电源连接(例如AC-充电)设备输入端的电压瞬变，电子电路也可发生损坏。电源电压瞬变可能是由于大负载切换或各种与公用本文档来自技高网...

【技术保护点】
具有微机电开关器件和固态箝位电路的电子电路，所述电子电路被构造为接收逻辑电平信号，并提供控制信号以响应于接收的逻辑电平信号来静电启动所述微机电开关，所述电子电路包括：集成电路器件封装，包括：第一基板；位于所述第一基板之上或之内的集成微机电开关器件；附件，限定使周围环境和所述集成微机电开关器件绝缘的区域；和固态箝位电路，电连接所述微机电开关，并且被构造为抑制或压制由于瞬态过电压状态而引起的微机电开关的损坏。

【技术特征摘要】
2016.09.19 US 15/269,0861.具有微机电开关器件和固态箝位电路的电子电路，所述电子电路被构造为接收逻辑电平信号，并提供控制信号以响应于接收的逻辑电平信号来静电启动所述微机电开关，所述电子电路包括：集成电路器件封装，包括：第一基板；位于所述第一基板之上或之内的集成微机电开关器件；附件，限定使周围环境和所述集成微机电开关器件绝缘的区域；和固态箝位电路，电连接所述微机电开关，并且被构造为抑制或压制由于瞬态过电压状态而引起的微机电开关的损坏。2.权利要求1所述的电子电路，其中所述固态箝位电路包括具有互补电容电压关系的集成二极管器件，被布置以提供用于所述箝位电路的线性或大约线性整体电压关系。3.权利要求2所述的电子电路，其中所述固态箝位电路包括集成电路，所述集成电路包括具有互补器件架构的集成二极管器件。4.权利要求3所述的电子电路，其中所述集成二极管包括由半导体器件内的正极和负极导电类型的区域的第一布置限定的第一类型的二极管；和其中所述集成二极管包括由半导体器件内的正极和负极导电类型的第二布置限定的第二类型的二极管，所述第二布置包括和限定所述第一类型的二极管的相应区域相比具有互补导电类型的导电区域。5.权利要求1至4中任一项所述的电子电路，其中所述固态箝位电路使用绝缘体上硅基板构造单片集成。6.权利要求1至4中任一项所述的电子电路，其中所述固态箝位电路使用第二基板异构集成。7.权利要求6所述的电子电路，其中所述第二基板包括限定参考节点的金属化层；和其中所述参考节点和至少部分由包括为密封附件的一部分的电绝...

【专利技术属性】
技术研发人员：P·L·菲茨格罗德，S·帕萨萨拉希，J·A·萨塞多，
申请(专利权)人：亚德诺半导体集团，
类型：发明
国别省市：百慕大群岛,BM