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本公开涉及用于MEMS开关器件的保护方案。微机电开关(MEMS)器件可使用集成电路制造技术和材料制造。这种开关器件可以提供适用于广泛应用的循环寿命和插入损耗性能，包括例如，自动化测试设备(ATE)、切换测量仪器(如频谱分析仪、网络分析仪或通...
该专利属于亚德诺半导体集团所有，仅供学习研究参考，未经过亚德诺半导体集团授权不得商用。

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