具有稳定工作状态的离子束抛光机制造技术

本实用新型专利技术公开了具有稳定工作状态的离子束抛光机，包括放电腔、位于放电腔内的阳极板、以及设置在放电腔出口端的若干层格栅板，最外层格栅板上设置安装块，所述安装块上设置钨丝，所述钨丝的一端伸出至安装块外侧，所述安装块的侧面设置若干方槽，所述方槽的开口方向朝向钨丝伸出至安装块外侧的方向。本实用新型专利技术的目的在于提供具有稳定工作状态的离子束抛光机，以解决现有技术中离子束抛光机无法长时间正常工作的问题，实现提高离子束抛光机的正常工作时长、降低清理频率的目的。

Ion beam polishing machine with stable working condition

【技术实现步骤摘要】
具有稳定工作状态的离子束抛光机
本技术涉及离子束抛光机领域，具体涉及具有稳定工作状态的离子束抛光机。
技术介绍
所谓离子束抛光，就是把惰性气体，如氩、氮等放在密闭空间中，用高频电磁振荡或放电等方法对阴极电流加热，使之电离成为正离子，再用5千至10万伏高电压对这些正离子加速，使它们具有一定的能量。利用电子透镜聚焦，将它们聚焦成一细束,形成高能量密度离子流，在计算机的控制下轰击放在真空室经过精磨的工件表面，从其表面把工件物质一个原子一个原子地溅射掉。用这种方法实现对工件表面进行深度从100埃到10微米左右的精密加工。现有的小型离子束抛光机，大都在放电腔的出口端设置格栅板，格栅板外设置钨丝作为阴极，阳极设置在放电腔内，实现透过格栅板的电离，通过格栅板实现离子束的生成。然而，现有技术中，由于钨丝无法单独设置，都需要在格栅板外设置安装块来固定钨丝，钨丝的一端悬空在安装块外，在工作过程中，由于钨丝温度极高，钨丝会逐渐处于熔融状态，甚至会端部下坠搭靠在格栅板上，同时钨丝电离过程中会产生大量正离子，这些离子会附着在格栅板、安装块表面，时间稍长就会铺满格栅板和安装块表面，形成导体，并与搭靠在格栅板上的钨丝构成一个完整的回路，导致钨丝被短路，无法正常电离出阳离子，导致离子束抛光机无法在较长时间内保持正常工作，需要间隔工作时间进行清理。
技术实现思路
本技术的目的在于提供具有稳定工作状态的离子束抛光机，以解决现有技术中离子束抛光机无法长时间正常工作的问题，实现提高离子束抛光机的正常工作时长、降低清理频率的目的。本技术通过下述技术方案实现：具有稳定工作状态的离子束抛光机，包括放电腔、位于放电腔内的阳极板、以及设置在放电腔出口端的若干层格栅板，最外层格栅板上设置安装块，所述安装块上设置钨丝，所述钨丝的一端伸出至安装块外侧，所述安装块的侧面设置若干方槽，所述方槽的开口方向朝向钨丝伸出至安装块外侧的方向。针对现有技术中离子束抛光机无法长时间正常工作的问题，本技术提出一种具有稳定工作状态的离子束抛光机，放电腔内设置阳极板，钨丝作为阴极设置在安装块上，阴极与阳极之间的连接方式不属于本技术的保护范围，任何现有的电连接方式即可。放电腔的出口端设置若干层格栅板，便于离子穿过，安装块设置在最外层的格栅板上。本技术在安装块的侧面设置若干向内凹陷的方槽，并且使得方槽的开口方向朝着钨丝伸出方向，因此钨丝电离而成的阳离子附着在格栅板和安装块表面后，由于方槽的存在，阳离子非常不便进入凹槽中，非常不便铺满整个凹槽的各表面，因此使得成片连通的阳离子在凹槽处被切断，即使钨丝的自由端下坠搭靠在格栅板表面，也无法在短时间内构成对钨丝的短路现象，因此极大的提高了离子束抛光机的正常工作时长，极大的降低了清理频率，使得离子束抛光机的使用效率得到了显著提升。进一步的，相邻两块格栅板之间固定连接陶瓷球。相较于传统技术中仅使用螺栓等进行连接的方式，本技术还通过固定的陶瓷球对相邻两块格栅板进行连接，极大的提高了格栅板之间的连接稳定性，同时还提高了承载与受力性能，因此提高了离子束抛光机的整体强度。优选的，所述格栅板呈圆形，格栅板上的通孔分布在格栅板中心位置。格栅板上的通孔用于让离子通过，因此将其集中在圆形的格栅板的中心位置，会提高离子束的集中率，提高离子束轰击抛光的效果。优选的，所述阳极板通过导线电连接至放电腔外部。优选的，所述放电腔上设置输气口。通过输气口便于连续不断的向放电腔内供入惰性气体，从而配合本技术较长的连续工作时长，进行连续不间断的抛光作业。优选的，所述钨丝还固定连接在放电腔外壁上。即是还将钨丝固定资放电腔的外壁上，进一步提高钨丝的结构稳定性。本技术与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：本技术具有稳定工作状态的离子束抛光机，由于方槽的存在，阳离子非常不便进入凹槽中，非常不便铺满整个凹槽的各表面，因此使得成片连通的阳离子在凹槽处被切断，即使钨丝的自由端下坠搭靠在格栅板表面，也无法在短时间内构成对钨丝的短路现象，因此极大的提高了离子束抛光机的正常工作时长，极大的降低了清理频率，使得离子束抛光机的使用效率得到了显著提升。附图说明此处所说明的附图用来提供对本技术实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本技术实施例的限定。在附图中：图1为本技术具体实施例的结构示意图；图2为本技术具体实施例中格栅板的结构示意图。附图中标记及对应的零部件名称：1-放电腔，2-阳极板，3-格栅板，31-通孔，4-安装块，5-钨丝，6-方槽，7-陶瓷球，8-输气口。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本技术作进一步的详细说明，本技术的示意性实施方式及其说明仅用于解释本技术，并不作为对本技术的限定。实施例1：如图1与图2所示的具有稳定工作状态的离子束抛光机，包括放电腔1、位于放电腔1内的阳极板2、以及设置在放电腔1出口端的若干层格栅板3，最外层格栅板3上设置安装块4，所述安装块4上设置钨丝5，所述钨丝5的一端伸出至安装块4外侧，所述安装块4的侧面设置若干方槽6，所述方槽6的开口方向朝向钨丝5伸出至安装块4外侧的方向。相邻两块格栅板3之间固定连接陶瓷球7。所述格栅板3呈圆形，格栅板3上的通孔31分布在格栅板3中心位置。所述阳极板2通过导线电连接至放电腔1外部。所述放电腔1上设置输气口8。所述钨丝5还固定连接在放电腔1外壁上。本实施例在安装块4的侧面设置若干向内凹陷的方槽6，并且使得方槽6的开口方向朝着钨丝5伸出方向，因此钨丝5电离而成的阳离子附着在格栅板3和安装块4表面后，由于方槽6的存在，阳离子非常不便进入凹槽中，非常不便铺满整个凹槽的各表面，因此使得成片连通的阳离子在凹槽处被切断，即使钨丝5的自由端下坠搭靠在格栅板3表面，也无法在短时间内构成对钨丝5的短路现象，因此极大的提高了离子束抛光机的正常工作时长，极大的降低了清理频率，使得离子束抛光机的使用效率得到了显著提升。经实验，本实施例中在连续工作五小时以内都不会出现钨丝5短路现象，相较于传统技术在连续工作两小时后就需要进行一次清理的方式，具有显著提升。以上所述的具体实施方式，对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术的具体实施方式而已，并不用于限定本技术的保护范围，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
具有稳定工作状态的离子束抛光机，包括放电腔(1)、位于放电腔(1)内的阳极板(2)、以及设置在放电腔(1)出口端的若干层格栅板(3)，最外层格栅板(3)上设置安装块(4)，所述安装块(4)上设置钨丝(5)，所述钨丝(5)的一端伸出至安装块(4)外侧，其特征在于，所述安装块(4)的侧面设置若干方槽(6)，所述方槽(6)的开口方向朝向钨丝(5)伸出至安装块(4)外侧的方向。

【技术特征摘要】
1.具有稳定工作状态的离子束抛光机，包括放电腔(1)、位于放电腔(1)内的阳极板(2)、以及设置在放电腔(1)出口端的若干层格栅板(3)，最外层格栅板(3)上设置安装块(4)，所述安装块(4)上设置钨丝(5)，所述钨丝(5)的一端伸出至安装块(4)外侧，其特征在于，所述安装块(4)的侧面设置若干方槽(6)，所述方槽(6)的开口方向朝向钨丝(5)伸出至安装块(4)外侧的方向。2.根据权利要求1所述的具有稳定工作状态的离子束抛光机，其特征在于，相邻两块格栅板(3)之间固定连接陶瓷球(7...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪磊，倪晋，
申请(专利权)人：成都睿坤科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51