用于离子束抛光机的多层式格栅板结构制造技术

本实用新型专利技术公开了用于离子束抛光机的多层式格栅板结构，包括若干层上下排布的板体，所述板体上设置若干上下连通的通孔，板体顶面固定连接若干陶瓷球，所述板体底面设置若干凹槽，所述凹槽的表面为与所述陶瓷球半径相等的球面、且所述凹槽的纵截面呈劣弧状；所述板体顶面的陶瓷球、和板体底面的凹槽一一正对；相邻两块板体之间，下层板体的陶瓷球均放置在上层板体的凹槽内。本实用新型专利技术的目的在于提供用于离子束抛光机的多层式格栅板结构，以解决现有技术中格栅板会影响钨丝正常电离的问题，实现杜绝格栅板内部导电、同时确保多层格栅板稳固的目的。

Multilayer grid plate structure for ion beam polishing machine

The utility model discloses a multilayer grating structure of ion beam polishing machine, including the body under the arrangement in several layers, set the plate number on the through hole communicated with the top surface of the plate body is fixedly connected with a plurality of ceramic balls, the plate body is arranged on the bottom surface of the surface of the groove. The groove and the ceramic ball is equal to the radius of the sphere, and the longitudinal section of the arc groove is inferior; the plate surface of the ceramic ball, and the bottom of the top plate groove on one by one; between two adjacent plate body, the lower plate body of ceramic balls are placed in the grooves of the upper plate body in. The purpose of the utility model is to provide a multi-layer grid plate structure for the ion beam polishing machine, so as to solve the problem of the normal ionization of tungsten wire in the existing technology, so as to eliminate the internal conduction of the grille plate and ensure the stability of the multi-layer grid plate.

【技术实现步骤摘要】
用于离子束抛光机的多层式格栅板结构
本技术涉及离子束抛光机领域，具体涉及用于离子束抛光机的多层式格栅板结构。
技术介绍
所谓离子束抛光，就是把惰性气体，如氩、氮等放在密闭空间中，用高频电磁振荡或放电等方法对阴极电流加热，使之电离成为正离子，再用5千至10万伏高电压对这些正离子加速，使它们具有一定的能量。利用电子透镜聚焦，将它们聚焦成一细束,形成高能量密度离子流，在计算机的控制下轰击放在真空室经过精磨的工件表面，从其表面把工件物质一个原子一个原子地溅射掉。用这种方法实现对工件表面进行深度从100埃到10微米左右的精密加工。现有的小型离子束抛光机，大都在放电腔的出口端设置格栅板，格栅板外设置钨丝作为阴极，阳极设置在放电腔内，实现透过格栅板的电离，通过格栅板实现离子束的生成。现有技术中，格栅板若实现单层的，则其隔离与束化效果有限，若使用多层的，又都是由螺栓进行连接，多层格栅板之间会电导通。在工作过程中，由于作为阴极的钨丝温度极高，钨丝会逐渐处于熔融状态，甚至会端部下坠搭靠在格栅板上，再由格栅板上连接的螺栓进行导电，使得格栅板整个成为一个完整的导体，与搭靠在格栅板上的钨丝构成一个完整的回路，导致钨丝被短路，无法正常电离出阳离子，导致离子束抛光机无法在较长时间内保持正常工作，需要间隔工作时间对钨丝进行处理。
技术实现思路
本技术的目的在于提供用于离子束抛光机的多层式格栅板结构，以解决现有技术中格栅板会影响钨丝正常电离的问题，实现杜绝格栅板内部导电、同时确保多层格栅板稳固的目的。本技术通过下述技术方案实现：用于离子束抛光机的多层式格栅板结构，包括若干层上下排布的板体，所述板体上设置若干上下连通的通孔，板体顶面固定连接若干陶瓷球，所述板体底面设置若干凹槽，所述凹槽的表面为与所述陶瓷球半径相等的球面、且所述凹槽的纵截面呈劣弧状；所述板体顶面的陶瓷球、和板体底面的凹槽一一正对；相邻两块板体之间，下层板体的陶瓷球均放置在上层板体的凹槽内。针对现有技术中格栅板会影响钨丝正常电离的问题，本技术提出用于离子束抛光机的多层式格栅板结构，本结构中的格栅板由多层上下排布的板体构成，每块板体上都设置用于离子束化的通孔，每块板体都在顶面设置若干陶瓷球、在底面设置若干凹槽，凹槽的表面为与所述陶瓷球半径相等的球面，且凹槽的纵截面呈劣弧状，因此下层板体的陶瓷球能够一一对应的放置在上层板体的凹槽中，由相匹配的凹槽与陶瓷小球，实现上下相邻的两块板体之间的稳固，摒弃了传统技术中由螺栓连接多层板体，导致格栅板整体容易导电，影响钨丝正常电离的问题。陶瓷球与凹槽的数量越多，则板体之间的连接越稳定。同时本技术使用时用户可以根据需要不断重叠更多层的板体，实现格栅板厚度的灵活可调。优选的，所述陶瓷球均为中空球体。中空的球体具有良好的承载能力，同时能够有效降低自重，降低对承载本技术的其他部件如放电腔的压力。优选的，每块板体顶面的陶瓷球均匀分布。使得相邻两个板体之间的作用力与反作用力均匀分布，提高板体的受力稳定性与均匀性，减少板体的脆弱点。优选的，相邻两个陶瓷球之间的间距为1～1.2cm。陶瓷球之间间距小于1cm，可能会影响通孔的排布，而间距大于1.2，其承载能力又开始变弱，因此取1～1.2cm之间的间距具有最佳的使用效果。优选的，相邻两块板体之间的距离为0.3～0.8cm。相邻两块板体之间的距离大于0.8cm后，会导致离子束轨迹在板体中传播时有偏移风险，而小于0.3cm，会导致距离过近，离子束可能在两块板体之间发生不断的折射，影响传播效率。优选的，相邻两块板体上的通孔一一正对。提高离子束的传播效率。本技术与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：本技术用于离子束抛光机的多层式格栅板结构，摒弃了传统技术中由螺栓连接多层板体，导致格栅板整体容易导电，影响钨丝正常电离的问题，实现了杜绝格栅板内部导电、同时确保多层格栅板稳固的目的。同时本技术使用时用户可以根据需要不断重叠更多层的板体，实现格栅板厚度的灵活可调。附图说明此处所说明的附图用来提供对本技术实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本技术实施例的限定。在附图中：图1为本技术具体实施例的结构示意图。附图中标记及对应的零部件名称：1-板体，2-陶瓷球，3-凹槽，4-通孔。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本技术作进一步的详细说明，本技术的示意性实施方式及其说明仅用于解释本技术，并不作为对本技术的限定。实施例1：如图1所示的用于离子束抛光机的多层式格栅板结构，包括若干层上下排布的板体1，所述板体1上设置若干上下连通的通孔4，板体1顶面固定连接若干陶瓷球2，所述板体1底面设置若干凹槽3，所述凹槽3的表面为与所述陶瓷球2半径相等的球面、且所述凹槽3的纵截面呈劣弧状；所述板体1顶面的陶瓷球2、和板体1底面的凹槽3一一正对；相邻两块板体1之间，下层板体1的陶瓷球2均放置在上层板体1的凹槽3内。所述陶瓷球2均为中空球体。每块板体1顶面的陶瓷球2均匀分布。相邻两个陶瓷球2之间的间距为1cm。相邻两块板体1之间的距离为0.5cm。相邻两块板体1上的通孔4一一正对。以上所述的具体实施方式，对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术的具体实施方式而已，并不用于限定本技术的保护范围，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于离子束抛光机的多层式格栅板结构，包括若干层上下排布的板体(1)，其特征在于，所述板体(1)上设置若干上下连通的通孔(4)，板体(1)顶面固定连接若干陶瓷球(2)，所述板体(1)底面设置若干凹槽(3)，所述凹槽(3)的表面为与所述陶瓷球(2)半径相等的球面、且所述凹槽(3)的纵截面呈劣弧状；所述板体(1)顶面的陶瓷球(2)、和板体(1)底面的凹槽(3)一一正对；相邻两块板体(1)之间，下层板体(1)的陶瓷球(2)均放置在上层板体(1)的凹槽(3)内。

【技术特征摘要】
1.用于离子束抛光机的多层式格栅板结构，包括若干层上下排布的板体(1)，其特征在于，所述板体(1)上设置若干上下连通的通孔(4)，板体(1)顶面固定连接若干陶瓷球(2)，所述板体(1)底面设置若干凹槽(3)，所述凹槽(3)的表面为与所述陶瓷球(2)半径相等的球面、且所述凹槽(3)的纵截面呈劣弧状；所述板体(1)顶面的陶瓷球(2)、和板体(1)底面的凹槽(3)一一正对；相邻两块板体(1)之间，下层板体(1)的陶瓷球(2)均放置在上层板体(1)的凹槽(3)内。2.根据权利要求1所述的用于离子束抛光机的多层式格栅板结...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪磊，倪晋，
申请(专利权)人：成都睿坤科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51