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本实用新型公开了用于离子束抛光机的多层式格栅板结构，包括若干层上下排布的板体，所述板体上设置若干上下连通的通孔，板体顶面固定连接若干陶瓷球，所述板体底面设置若干凹槽，所述凹槽的表面为与所述陶瓷球半径相等的球面、且所述凹槽的纵截面呈劣弧状；所...
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