离子束抛光设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种离子束抛光设备。该离子束抛光设备包括：工件台、离子束发生器和运动控制系统。其中，工件放置于工件台上，离子束发生器发出形状和大小实时可控的离子束束斑；运动控制系统驱动工件台和/或离子束发生器运动，离子束束斑在工件表面移动，实现对工件的抛光。本实用新型专利技术中，离子束束斑的形状和大小均可控，从而提高了离子束抛光设备的可控性和控制精度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种离子束抛光设备，其特征在于，包括：工件台、离子束发生器和运动控制系统(20)；其中，工件放置于工件台上，离子束发生器发出形状和大小实时可控的离子束束斑(2)；运动控制系统(20)驱动工件台和/或离子束发生器运动，所述离子束束斑(2)在工件表面移动，实现对工件的抛光。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴丽翔，邱克强，曾思为，付绍军，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：新型
国别省市：安徽;34