用于微机械窗结构的制造方法和相应的微机械窗结构技术
The manufacturing method and the corresponding micromechanical window structure for the structure of the micromechanical window
The invention relates to a method for manufacturing a micro mechanical window structure, the manufacturing method has the following steps: providing a substrate (1), wherein the substrate (1) with positive (4) and back (5); on the front of the (4) is formed on the first concave part (6); in the positive (4) and the first concave part (6) on the structure of coatings (8; 8 ', 8'); and at the back of the (5) is formed on the second concave part (7), so that the coating layer (8) at least partially exposed by the the cladding region is formed with the window (F).
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于微机械窗结构的制造方法和相应的微机械窗结构
本专利技术涉及一种用于微机械窗结构的制造方法和一种相应的微机械窗结构。
技术介绍
为了保护具有微机电(MEMS)构件的晶片免受物理或化学损坏，例如将保护晶片安装到具有MEMS构件的晶片上，例如通过阳极键合。为了保护光学元件、例如微镜，为此设置具有窗的保护晶片。在此，窗覆盖有光学透明层。由DE102013211886A1已知用于装备有窗的装置的制造方法。如在图4中示出的那样，窗板12借助于密封和/或粘接剂接合到衬底1的缺口11中，其中，缺口11相对于衬底1的正面4和背面5具有倾斜的边缘11a。由EP1748029A2已知一种具有微镜装置的第一衬底，在该第一衬底上安装具有透光的窗元件的第二衬底。由DE102012206858A1已知一种用于制造光学窗装置的方法。为此，将透明层安装到具有凹部的衬底上并且随后使该透明层变形。超短脉冲激光(UKP激光)适用于，有针对性地结构化或去除表面，因此例如已经给UKP激光授予德国未来奖(消息可查阅网页http://www.vditz.de/meldung/deutscher-zukunf...
【技术保护点】
用于微机械窗结构的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：提供衬底(1)，其中，所述衬底(1)具有正面(4)和背面(5)；在所述正面(4)上形成第一凹部(6)；在所述正面(4)和所述第一凹部(6)上构造覆层(8；8‘、8“)；并且在所述背面(5)上形成第二凹部(7)，使得所述覆层(8)至少局部地露出，由此通过所述覆层的露出区域形成窗(F)。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.07.17 DE 102015213473.31.用于微机械窗结构的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：提供衬底(1)，其中，所述衬底(1)具有正面(4)和背面(5)；在所述正面(4)上形成第一凹部(6)；在所述正面(4)和所述第一凹部(6)上构造覆层(8；8‘、8“)；并且在所述背面(5)上形成第二凹部(7)，使得所述覆层(8)至少局部地露出，由此通过所述覆层的露出区域形成窗(F)。2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，这样实施所述第一凹部(6)的形成，使得所述第一凹部(6)的凹部面(3)具有相对于所述正面(4)倾斜的平面的形状。3.根据权利要求2所述的制造方法，其中，这样实施所述第二凹部(7)的形成，使得所述覆层(8)刚好在所述凹部面(3)上露出。4.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第一凹部(6)的形成通过超短脉冲激光(UKP激光)来实施。5.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第一凹部(6)的形成通过KOH蚀刻来实施。6.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述覆层(8)是氮化物覆层。7.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·施特劳布，S·平特，J·穆霍，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE
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