混酸系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种混酸系统，其用于一洗涤腔，该混液系统包含有：一第一混液槽，其具有一第一液控手段；一第二混液槽，其具有一第二液控手段；一浓度控制手段；以及一切换手段；其中，该第一混液槽具有一第一药液，该第二混液槽具有一第二药液，该第一液控手段侦测该第一药液于该第一混液槽中的液面位置，以判断是否进行一补液的动作，该第二液控手段侦测该第二药液于该第二混液槽的液面位置，以判断是否进行一补液的动作；该浓度控制手段侦测该第一药液或该第二药液的浓度，以判断是否进行改变该第一药液或该第二药液的浓度的动作；该切换手段切换该第一混液槽或该第二混液槽，以使该第一药液或该第二药液提供给该洗涤腔。

【技术实现步骤摘要】
混酸系统
本技术涉及一种混酸系统，特别是关于一种提供洗涤药液的混酸系统。
技术介绍
于半导体制造过程中，半导体需要经过多次洗涤，以洗去位于板导体表面的残余物，或是于制造过程中所留于半导体表面的化学物。于每次洗涤时，所使用的洗涤剂(或称为药剂)可能具有不同的浓度、温度或酸碱值，以实际配合制造过程需求。但是，现有的洗涤装置于面对上述的多次洗涤情况时，仅停止洗涤作业，然后更换适合该洗涤程序的洗涤剂。但对讲求时效的半导体制造商而言，每次更换洗涤剂的程序随之带来成本提升与工时增加，故现有的洗涤程序或洗涤装置仍有可以改善的空间。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种混酸系统，以解决上述成本提升与工时增加的问题。为了达到上述目的，本技术提供的混酸系统用于一洗涤腔，该混液系统包含有：一第一混液槽，其具有一第一液控手段；一第二混液槽，其具有一第二液控手段；一浓度控制手段；以及一切换手段；其中，该第一混液槽具有一第一药液，该第二混液槽具有一第二药液，该第一液控手段侦测该第一药液于该第一混液槽中的液面位置，以判断是否进行一补液的动作，该第二液控手段侦测该第二药液于该第二混液槽的液面位置，以判断是否进行一补液的动作；该浓度控制手段侦测该第一药液或该第二药液的浓度，以判断是否进行改变该第一药液或该第二药液的浓度的动作；该切换手段切换该第一混液槽或该第二混液槽，以使该第一药液或该第二药液提供给该洗涤腔。本技术提供的混酸系统应用于一洗涤腔，该混酸系统包含有：一混液槽；一液位计，其设于该混液槽；以及一浓度计，其耦接该混液槽与该洗涤腔之间的连通管线；其中，该混液槽容置一药液，该液位计侦测该药液的液面高度，该浓度计侦测该药液的浓度。于一实施例，该第一混液槽还具有一第一温控手段，该第二混液槽还具有一第二温控手段，该第一温控制手段控制该第一药液的温度，该第二温控控制该第二药液的温度。于一实施例，该浓度控制手段具有至少一浓度计、至少一泵浦与至少一药液槽与一补液槽，该浓度计耦接该泵浦与该洗涤腔，该泵浦耦接该第一混液槽，另一浓度计耦接另一泵浦与该洗涤腔，该另一泵浦耦接该第二混液槽，该药液槽耦接该第一混液槽与该第二混液槽，该补液槽耦接该第一混液槽与该第二混液槽。于一实施例，该切换手段具有一第一阀体，该第一阀体设于该洗涤腔、该第一混液槽与该第二混液槽之间的连通管线；该切换手段还具有一第二阀体与一第三阀体，该第二阀体设于该洗涤腔、该第一混液槽与该第二混液槽之间的连通管线，该第三阀体设于该补液槽、该第一混液槽与该第二混液槽之间的连通管线。于一实施例，一温控手段控制该药液的温度，该温控手段设于该混液槽或设于该洗涤腔与该混液槽之间的连通管线。该温控手段还具有一温度计、一冷却器与一加热器，该温度计、该冷却器与该加热器设于该混液槽或设于该洗涤腔与该混液槽之间的连通管线，并且该浓度计还耦接一泵浦，该泵浦耦接该混液槽，该混液槽耦接一补液槽与一药液槽。综合上述，本技术提供的混酸系统于不同洗涤程序时无须更换药液，仅使用切换手段，即可切换药液，进而可降低成本与工时。附图说明图1为本技术提供的一种混酸系统的第一实施例的示意图；图2为本技术提供的一种混酸系统的第二实施例的局部示意图。附图标记说明：1-清洗端；10-洗涤腔；11-喷洒头；20-第一混液槽；21-第二混液槽；22-浓度控制手段；220-药液槽；221-药液槽；222-补液槽；223-浓度计；224-浓度计；225-泵浦；226-泵浦；23-切换手段；230-第一阀体；231-第二阀体；232-第三阀体；233-第四阀体；234-第五阀体；235-第六阀体；24-第一温控手段；240-第一加热器；241-第一冷却器；242-第一温度计；25-第二温控手段；250-第二加热器；251-第二冷却器；252-第二温度计；26-第一控液手段；27-第二控液手段；3-厂务端；40-混液槽；41-控液手段；410-液位计；42-温控手段；420-温度计；421-冷却器；422-加热器；43-浓度控制手段；430-泵浦；431-浓度计；44-第一阀体；45-第二阀体；46-第三阀体；50-清洗端；51-厂务端。具体实施方式如图1所示为本技术提供的一种混酸系统的第一实施例，其用于一清洗端1，该混酸系统包含有一第一混液槽20、一第二混液槽21、一浓度控制手段22与一切换手段23。清洗端1具有一洗涤腔10与多个喷洒头11。该多个喷洒头11设于洗条腔10的内部。第一混液槽20具有一第一温控手段24与一第一控液手段26。第一温控手段24用于控制位于第一混液槽20的第一药液的温度。该第一温控手段24可设于该第一混液槽20或设于该洗涤腔10与该第一混液槽20之间的连通管线(或者如图2所示的本技术的第二实施例)。第一温控手段24具有一第一温度计242、一第一加热器240与一第一冷却器241。第一温度计242、第一加热器240与第一冷却器241设于第一混液槽20。第一控液手段26侦测第一药液于第一混液槽20中的液面位置。第一控液手段26为一液位计。该液位计可为气压式液位计或点位式液位计。第一混液槽20以连通管线耦接洗涤槽10。第二混液槽21具有一第二温控手段25与一第二控液手段27。该第二温控手段25可设于该第二混液槽21或设于该洗涤腔10与该第二混液槽21之间的连通管线(或者如图2所示的本技术的第二实施例)。第二温控手段25具有一第二温度计252、一第二加热器250与一第二冷却器251。第二温度计252、第二加热器250与第二冷却器251设于第二混液槽21。第二温控手段25用于控制位于第二混液槽21的第二药液的温度。第二控液手段27侦测第二药液于第二混液槽21中的液面位置。第二控液手段27为一液位计。该液位计可为气压式液位计或点位式液位计。第二混液槽21以管线耦接洗涤槽10。浓度控制手段22侦测第一药液或第二药液的浓度，以判断是否要改变第一药液或第二药液的浓度。浓度控制手段22具有至少一浓度计223、224、至少一泵浦225、226、至少一药液槽220、221与一补液槽222。于本实施例中，浓度计223、224、泵浦225、226与药液槽220、221的数量分别为两个。如图1所示，药液槽220以连通管线耦接第一混液槽20。药液槽220提供药液给第一混液槽20，以改变第一混液槽20槽内的第一药液的浓度。泵浦225以管线耦接第一混液槽20与浓度计223。浓度计223以连通管线耦接洗涤腔10。药液槽221以连通管线耦接第二混液槽21。药液槽221提供药液给第二混液槽21，以改变第二混液槽21槽内的第二药液的浓度。泵浦226以连通管线耦接第二混液槽21与浓度计224。浓度计224以连通管线耦接洗涤腔10。补液槽222以连通管线耦接第一混液槽20与第二混液槽21。又，在另一实施例中，该补液槽222亦可为两个，以分别对应该第一混液槽20及该第二混液槽21。在对该洗涤腔10进行供液时，切换手段23切换第一混液槽20或第二混液槽21，以使第一药液或第二药液提供给洗涤腔10。或者当第一药液或第二药液由洗涤腔10回流时，切换手段23切换第一药液或第二药液的流道，以使第一药液流入第一混液槽20或第二药液流入本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种混酸系统，其用于一洗涤腔，其特征在于，该混酸系统包含有：一第一混液槽，其具有一第一液控手段；一第二混液槽，其具有一第二液控手段；一浓度控制手段；以及一切换手段；其中，该第一混液槽具有一第一药液，该第二混液槽具有一第二药液，该第一液控手段侦测该第一药液于该第一混液槽中的液面位置，以判断是否进行一补液的动作，该第二液控手段侦测该第二药液于该第二混液槽的液面位置，以判断是否进行一补液的动作；该浓度控制手段侦测该第一药液或该第二药液的浓度，以判断是否进行改变该第一药液或该第二药液的浓度的动作；该切换手段切换该第一混液槽或该第二混液槽，以使该第一药液或该第二药液提供给该洗涤腔。

【技术特征摘要】
1.一种混酸系统，其用于一洗涤腔，其特征在于，该混酸系统包含有：一第一混液槽，其具有一第一液控手段；一第二混液槽，其具有一第二液控手段；一浓度控制手段；以及一切换手段；其中，该第一混液槽具有一第一药液，该第二混液槽具有一第二药液，该第一液控手段侦测该第一药液于该第一混液槽中的液面位置，以判断是否进行一补液的动作，该第二液控手段侦测该第二药液于该第二混液槽的液面位置，以判断是否进行一补液的动作；该浓度控制手段侦测该第一药液或该第二药液的浓度，以判断是否进行改变该第一药液或该第二药液的浓度的动作；该切换手段切换该第一混液槽或该第二混液槽，以使该第一药液或该第二药液提供给该洗涤腔。2.如权利要求1所述的混酸系统，其特征在于，该第一混液槽还具有一第一温控手段，该第二混液槽还具有一第二温控手段；该第一温控制手段控制该第一药液的温度，该第一温控手段设于该第一混液槽或设于该洗涤腔与该第一混液槽之间的连通管线；该第二温控控制该第二药液的温度，该第二温控手段设于该第二混液槽或设于该洗涤腔与该第二混液槽之间的连通管线。3.如权利要求2所述的混酸系统，其特征在于，该第一温控手段具有一第一温度计、一第一加热器与一第一冷却器，该第一温度计、该第一加热器与该第一冷却器设于该第一混液槽或设于该洗涤腔与该第一混液槽之间的连通管线；该第二温控手段具有一第二温度计、一第二加热器与一第二冷却器，该第二温度计、该第二加热器与该第二冷却器设于该第二混液槽或该洗涤腔与该第二混液槽之间的连通管线。4.如权利要求1所述的混酸系统，其特征在于，该第一液控手段为一液位计，该液位计设于该第一混液槽，该第二液控手段为一液位计，该液位计设于该第二混液槽，一补液槽耦接该第二混液槽与该第一混液槽，该液位计为气压式液位计或点位式液位计。5.如权利要求1所述的混酸系统，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡嘉雄，刘仕伟，
申请(专利权)人：均豪精密工业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71