扩散炉用废气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及低压扩散炉设计领域，尤其涉及一种扩散炉用废气处理装置，内筒体的后端延伸到外筒体的内部，内筒体的前端布置在外筒体的外部，内筒体的外表面和外筒体的内表面之间形成封闭的水流腔室，内筒体内部设置冷却水管，冷却水管的进水口通过第一水管和水流腔室的出水口连通，冷却水管的出水口通过第二水管实现和外界的管路的连接，外筒体的筒壁上连接用于向水流腔室内供水的第三水管，内筒体的前端设置进气管、后端设置排气管且排气管自外筒体的筒壁穿过，内筒体的底部筒壁上设置废液的出液管，废气自进气管通入内筒体内，废气中的偏磷酸等腐蚀性的酸性物质预冷冷凝成液体并自出液管排出，有效的将偏磷酸等腐蚀性的酸性物质分离出来。

Waste gas treatment device for diffusion furnace

The present invention relates to the design field of the low-voltage diffusion furnace, in particular to a diffusion furnace exhaust gas treatment device, cylinder end extends to the internal cylinder, the inner cylinder body is arranged at the front end of the outer cylinder of the external flow, closed chamber is formed between the inner surface of the outer surface of the outer cylinder and inner cylinder the cooling water pipe inner cylinder body, the water inlet of the cooling water pipe is communicated with a water outlet pipe and flow through the first chamber, the cooling water outlet of the water pipe through the second water pipe and external pipe connections, tube wall of the outer barrel body is connected to the water chamber for third water supply pipe, front end of the inner cylinder body is provided with an air inlet the tube is arranged at the rear end of the exhaust pipe, the exhaust pipe and cylinder wall from the outer cylinder through the bottom of the cylinder wall, cylinder on the liquid outlet pipe provided with a waste liquid, waste gas from the inlet pipe into the inner tube, exhaust gas in partial Acid pre cold liquid phosphoric acid and other corrosive and from the liquid discharge pipe, the metaphosphoric acid and other corrosive acid separation.

【技术实现步骤摘要】
扩散炉用废气处理装置
本专利技术涉及低压扩散炉设计领域，尤其涉及一种扩散炉用废气处理装置。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。在电阳能电池的加工过程中，扩散炉主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的掺杂形成PN结，扩散炉在加工太阳能电池的过程中产生的废气中含有偏磷酸等腐蚀性的酸性物质，时间一长，这些酸性物质容易堆积，造成真空管路的堵塞和腐蚀，影响扩散炉内元器件的使用寿命，造成扩散炉的损坏。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种扩散炉用废气处理装置，能有效处理生产过程中产生的酸性物质，延长扩散炉的使用寿命。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扩散炉用废气处理装置，包括内筒体和外筒体，内筒体的后端延伸到外筒体的内部，内筒体的前端布置在外筒体的外部，内筒体的外表面和外筒体的内表面之间形成封闭的水流腔室，内筒体内部设置冷却水管，冷却水管的进水口通过第一水管和水流腔室的出水口连通，冷却水管的出水口通过第二水管实现和外界的管路的连接，外筒体的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扩散炉用废气处理装置，其特征在于：包括内筒体(10)和外筒体(20)，内筒体(10)的后端延伸到外筒体(20)的内部，内筒体(10)的前端布置在外筒体(20)的外部，内筒体(10)的外表面和外筒体(10)的内表面之间形成封闭的水流腔室(30)，内筒体(10)内部设置冷却水管(40)，冷却水管(40)的进水口通过第一水管(50)和水流腔室(30)的出水口连通，冷却水管(40)的出水口通过第二水管(60)实现和外界的管路的连接，外筒体(20)的筒壁上连接用于向水流腔室(30)内供水的第三水管(70)，内筒体(10)的前端设置进气管(11)，内筒体(10)的后端设置排气管(12)且排气管(12)...

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉用废气处理装置，其特征在于：包括内筒体(10)和外筒体(20)，内筒体(10)的后端延伸到外筒体(20)的内部，内筒体(10)的前端布置在外筒体(20)的外部，内筒体(10)的外表面和外筒体(10)的内表面之间形成封闭的水流腔室(30)，内筒体(10)内部设置冷却水管(40)，冷却水管(40)的进水口通过第一水管(50)和水流腔室(30)的出水口连通，冷却水管(40)的出水口通过第二水管(60)实现和外界的管路的连接，外筒体(20)的筒壁上连接用于向水流腔室(30)内供水的第三水管(70)，内筒体(10)的前端设置进气管(11)，内筒体(10)的后端设置排气管(12)且排气管(12)自外筒体(20)的筒壁穿过，内筒体(10)的底部筒壁上设置废液的出液管(80)。2.根据权利要求1所述的扩散炉用废气处理装置，其特征在于：所述冷却水管(40)呈螺旋转且螺旋中心线的长度方向和内筒体(...

【专利技术属性】
技术研发人员：李丙科，陈庆民，陈加朋，
申请(专利权)人：无锡正隆星源电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32