电容式感湿元件制造技术

本发明专利技术提供一种电容式感湿元件，包含一基板、一第一电极、一第二电极以及一感测层，其中该第一电极设置于该基板上，该感测层设置于该第一电极上，该第二电极设置于该感测层上。该第二电极为一多孔电极，该感测层为一多孔隙介电材料，且该感测层厚度介于50nm至5mm之间。当汗液由该第二电极扩散至该感测层，吸收汗液后该感测层其介电常数产生改变，致使该电容式感湿元件的电容量产生改变，因此可应用于穿戴式装置，并通过扩散面积与介电常数换算汗量，以了解人体排汗程度。另外，持续施加偏压会产生热能干燥该感测层，水份蒸散后即可重复使用。

Capacitive humidity sensing element

The invention provides a capacitive humidity sensing element, which comprises a substrate, a first electrode, a second electrode and a sensing layer, wherein the first electrode is arranged on the substrate, and the sensing layer is arranged on the first electrode, and the second electrode is arranged on the sensing layer. The second electrode is a porous electrode, and the sensing layer is a porous dielectric material, and the thickness of the sensing layer is between 50nm and 5mm. When the sweat by the second electrode diffusion to the sensing layer, absorb sweat after the sensing layer of the dielectric constant changes, resulting in the capacitive sense capacitance wet element changes, it can be used in a wearable device, and through the diffusion area and dielectric constant conversion of the amount of sweat, to understand human perspiration degree. In addition, the continuous bias pressure will generate heat to dry the sensing layer, and the water can be reused after the evapotranspiration.

【技术实现步骤摘要】
电容式感湿元件
本专利技术是关于一种电容式感测元件，尤指一种使用多孔电极与多孔隙介电材料，并以持续施加偏压产生热能方式干燥感测层，即可重复使用的电容式感湿元件。
技术介绍
台湾处于湿热的亚热带，湿度很重，因此湿度检测广泛用于工业、医疗、科技与生活等领域，渐渐成为生活品质的重要指标。在早期用干湿球湿度计或毛发湿度计来测量湿度的方法，已经无法满足现在的需求，所以依据现代科技发展的需要，使得测量湿度要比测量温度复杂的多，温度可以被独立的测量，然而湿度却会受其他因素如大气、温度，影响灵敏度及响应速度。习知湿敏元件主要分为电阻式、电容式两大类，电阻式的特点是在基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜，当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时，元件的电阻率和电阻值都发生变化，即可测量湿度，虽然灵敏度高，但是线性度和产品的互换性差；而电容式一般是用高分子薄膜电容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、酷酸醋酸纤维等，当环境湿度发生改变时，介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正比，不仅灵敏度高、产品互换性好、响应速度快、湿度的滞后量小、便于制造、容易实现小型化和集成化。但习知介电层本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电容式感湿元件，其特征在于，包含：一基板；一第一电极，设置于该基板上；一感测层，设置于该第一电极上，其中该感测层为一多孔隙介电材料，且该感测层厚度介于50nm至5mm之间；以及一第二电极，设置于该感测层上，其中该第二电极为一多孔电极。

【技术特征摘要】
2016.09.09 TW 1051293161.一种电容式感湿元件，其特征在于，包含：一基板；一第一电极，设置于该基板上；一感测层，设置于该第一电极上，其中该感测层为一多孔隙介电材料，且该感测层厚度介于50nm至5mm之间；以及一第二电极，设置于该感测层上，其中该第二电极为一多孔电极。2.如权利要求1所述的的电容式感湿元件，其特征在于，其中该第一电极与该第二电极的材料是选自由金、银、氧化铟锡及其组合所组成的群。3.如权利要求2所述的电容式感湿元件，其特征在于，其中该第一电极与该第二电极的材料为金。4.如权利要求1所述的电容式感湿元件，其特征在于，其中该多孔隙介电材料包括二氧化硅。5.如权利要求4所述的电容式感湿元件，其特征在于，其中该多孔隙介电材料为硅藻土、旋涂式玻璃或中孔洞二氧化硅。6.如权利要求1所述的电容式感湿元件，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖朝松，杨家铭，彭馨颍，曾玮尹，陈军晖，
申请(专利权)人：长庚大学，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71