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电容式感湿元件制造技术
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文档序号:17484737
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本发明提供一种电容式感湿元件,包含一基板、一第一电极、一第二电极以及一感测层,其中该第一电极设置于该基板上,该感测层设置于该第一电极上,该第二电极设置于该感测层上。该第二电极为一多孔电极,该感测层为一多孔隙介电材料,且该感测层厚度介于50n...
该专利属于长庚大学所有,仅供学习研究参考,未经过长庚大学授权不得商用。
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