一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置。该装置包括：等离子体发生单元、加热单元和供气单元。所述加热单元包括电热件、高温绝缘套管、绝缘隔热组件、接线端子和电源；热电子发射阴极、阳极筒、高压电源和高压接线端子；供气单元包含高压气罐和气管。该装置可在常压环境下提供高密度等离子体。该装置具有如下有优点：结构简单、体积小、造价成本低，产生等离子体密度大和无臭氧等副产物产生。本实用新型专利技术还具有成本相对较低、结构简单，可便携移动，灵活度高等优点。

A plasma generator based on a hot electron emission cathode

The utility model provides a plasma generating device based on a hot electron emission cathode. The device consists of a plasma generating unit, a heating unit and a gas supply unit. The heating unit comprises an electric heating part, a high-temperature insulating sleeve, an insulating heat insulation component, a wiring terminal and a power supply, a thermionic emission cathode, an anode tube, a high voltage power supply and a high voltage connection terminal, and a gas supply unit comprises a high-pressure gas tank and an air pipe. The device can provide high density plasma in ambient pressure. The device has the following advantages: simple structure, small volume, low cost, large plasma density and ozone - free by-products. The utility model has the advantages of relatively low cost, simple structure, portable mobile and high flexibility.

【技术实现步骤摘要】
一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置
本技术属于一种等离子体发生装置，具体涉及一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置。
技术介绍
目前，对于现有低温等离子体发生装置主要基于电子束辐射、辉光放电、电晕放电、介质阻挡放电、射频放电、滑动电弧放电和射流放电等几种原理。其中电子束辐射设备结构复杂，成本高；辉光放电受低气压的限制，工业应用难于连续化生产且成本高昂；电晕放电和介质阻挡放电装置对电压等级要求较高，等离子体产生过程中，有较高浓度的副产物臭氧和氧化氮等生成，此外电晕放电装置难以产生某单一带电等离子体；射频放电装置在放电过程中同样有副产物产生等问题，而滑动电弧和射流放电都是靠击穿电极中较少的空气产生等离子体，作用范围较小。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提出一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置，用于产生高密度等离体射流，克服现有技术存在的结构复杂、效率低、存在臭氧副产物问题。本技术提出的一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置，包括加热单元、等离子体发生单元和供气单元组成，其中：所述加热单元包括电热件、高温绝缘套管、绝缘隔热组件、接线端子和电源；所述电热件安装在高温绝缘套管内，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置，包括加热单元、等离子体发生单元和供气单元组成，其特征在于：所述加热单元包括电热件(10)、高温绝缘套管(11)、绝缘隔热组件(12)、接线端子(13)和电源(14)；所述电热件(10)安装在高温绝缘套管(11)内，两端通过绝缘隔热组件(12)的两根接线端子(13)接电源(14)输出端；所述高温绝缘套管(11)为筒状结构，其一侧封闭，另一侧与绝缘隔热组件(12)固定连接，将电热件(10)包含在内，构成一个密封加热空间；通过调节所述电源(14)输出电压，能改变电热件(10)发热功率，控制高温绝缘套管(11)表面温度；所述等离子体发生单元包括热电子发射阴极(...

【技术特征摘要】
1.一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置，包括加热单元、等离子体发生单元和供气单元组成，其特征在于：所述加热单元包括电热件(10)、高温绝缘套管(11)、绝缘隔热组件(12)、接线端子(13)和电源(14)；所述电热件(10)安装在高温绝缘套管(11)内，两端通过绝缘隔热组件(12)的两根接线端子(13)接电源(14)输出端；所述高温绝缘套管(11)为筒状结构，其一侧封闭，另一侧与绝缘隔热组件(12)固定连接，将电热件(10)包含在内，构成一个密封加热空间；通过调节所述电源(14)输出电压，能改变电热件(10)发热功率，控制高温绝缘套管(11)表面温度；所述等离子体发生单元包括热电子发射阴极(20)、阳极筒(21)、高压电源(22)和高压接线端子(23)；所述阳极筒(21)为整体接地的圆筒状结构，同轴设在电子发射阴极(20)外部；阳极筒(21)一端开设有喷嘴(25)，用于喷射等离子体，另一端固定在绝缘隔热组件(12)上；所述热电子发射阴极(20)为筒状结构，贴附安装在高温绝缘套管(11)外表面，以接受其发出的热量；热电子发射阴极(20)开口一端固定在所述绝缘隔热组件(12)上；所述热电子发射阴极(20)与所述高温绝缘套管(11)同轴设置，用于发射电子；所述高压电源(22)输出高压端作高压极通过高压接线端子(23)与所述热电子发射阴极(20)相连，高压电源(22)输出另一端作为地极接地；所述高压电源(22)输出电压可调节，用于改变热电子发射阴极(20)工作电压，控制等离子体发生密度；所述供气单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明，王鹏宇，李传，杨勇，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：新型
国别省市：湖北,42