下载一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置的技术资料

文档序号:17435740

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本实用新型提供了一种基于热电子发射阴极的等离子体发生装置。该装置包括:等离子体发生单元、加热单元和供气单元。所述加热单元包括电热件、高温绝缘套管、绝缘隔热组件、接线端子和电源;热电子发射阴极、阳极筒、高压电源和高压接线端子;供气单元包含高压...
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