一种硅片花篮固定机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种硅片花篮固定机构，所述花篮固定机构包括竖直设置的硅片花篮固定架以及与所述硅片花篮固定架配套使用的硅片花篮，其特征在于：所述硅片花篮固定架包括：花篮支撑座，所述花篮支撑座为水平设置的平板，所述花篮支撑座上设置有限位突出杆；竖直支撑杆，所述竖直支撑杆设置于所述花篮支撑座的一侧，与所述花篮支撑座垂直设置；以及顶部限位板，所述顶部限位板上设置有限位爪以及花篮夹持装置。本实用新型专利技术具有的优点和积极效果是：本实用新型专利技术的硅片花篮固定机构，能够对硅片花篮实现精确的定位以及固定，使得硅片花篮在插片的过程中保持不动。

A silicon chip basket fixed mechanism

The utility model provides a wafer basket fixing mechanism, wherein the fixing mechanism comprises a wafer basket basket rack is vertically arranged and the silicon wafer basket basket frame supporting the use, which is characterized in that the silicon wafer basket frame comprises a supporting seat fixed basket, the basket support seat is arranged horizontally flat the basket on the supporting seat, a protruding rod; the vertical support bar, the vertical support rod is arranged on one side of the basket of the supporting seat, and the basket support seat is vertically arranged; and the top limit plate, the top of the limiting plate is provided with a limiting claw and basket holding device. The utility model has the advantages and the positive effect: the silicon flower basket fixing mechanism of the utility model can accurately locate and fix the silicon flower basket, and keep the silicon flower basket in the process of inserting the film.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片花篮固定机构
本技术涉及硅片加工
，具体涉及一种硅片花篮固定机构。
技术介绍
硅片自动插片机包括硅片传送机构、在线检测机构、坏片剔除机构以及花篮提升机构，所述硅片传送机构用于单个硅片的传送，将硅片传送至在线检测机构处，在线检测机构对硅片进行检测，检测出的坏片经过坏片剔除机构剔除，好片继续经硅片传送机构传送至硅片花篮处，硅片花篮安装于硅片花篮提升机构上，经过花篮提成机构一点一点向上提升，每当有一篇硅片每插进硅片花篮中，所述花篮提升机构携带硅片花篮向上移动一格。在将硅片花篮安装于花篮提升机构上时，经常出现硅片花篮与花篮提升机构之间配合不紧密，花篮倾斜等问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种硅片花篮固定机构，能够实现对硅片花篮的精确定位。本技术提供一种硅片花篮固定机构，所述花篮固定机构包括竖直设置的硅片花篮固定架以及与所述硅片花篮固定架配套使用的硅片花篮，其特征在于：所述硅片花篮固定架包括：花篮支撑座，所述花篮支撑座为水平设置的平板，所述花篮支撑座上设置有限位突出杆；竖直支撑杆，所述竖直支撑杆设置于所述花篮支撑座的一侧，与所述花篮支撑座垂直设置；以及顶部限位板，所述顶部限位板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片花篮固定机构，所述花篮固定机构包括竖直设置的硅片花篮固定架以及与所述硅片花篮固定架配套使用的硅片花篮，其特征在于：所述硅片花篮固定架包括：花篮支撑座，所述花篮支撑座为水平设置的平板，所述花篮支撑座上设置有限位突出杆；竖直支撑杆，所述竖直支撑杆设置于所述花篮支撑座的一侧，与所述花篮支撑座垂直设置；以及顶部限位板，所述顶部限位板上设置有限位爪以及花篮夹持装置。

【技术特征摘要】
1.一种硅片花篮固定机构，所述花篮固定机构包括竖直设置的硅片花篮固定架以及与所述硅片花篮固定架配套使用的硅片花篮，其特征在于：所述硅片花篮固定架包括：花篮支撑座，所述花篮支撑座为水平设置的平板，所述花篮支撑座上设置有限位突出杆；竖直支撑杆，所述竖直支撑杆设置于所述花篮支撑座的一侧，与所述花篮支撑座垂直设置；以及顶部限位板，所述顶部限位板上设置有限位爪以及花篮夹持装置。2.根据权利要求1所述的硅片花篮固定机构，其特征在于：所述硅片花篮包括平行设置的上端板和下端板，所述上端板和下端板之间设置有定位杆和加强杆；所述上端板和下端板为U型板，所述U型板包括横置的主板以及与所述主板分别垂直的两个支脚，所述两个支脚之间形成第一凹槽；所述加强杆分别设置于所述主板的中部以及两个支脚上，所述定位杆设置于所述主板的两个顶角处，所述上端板和下端板上与所述定位杆对应的位置上分别设置有多个挂耳轴。3.根据权利要求2所述的硅片花篮固定机构，其特征在于：所述花篮支撑座远离所述竖直支撑杆的一端设置有第二凹槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：信广志，孙榕，
申请(专利权)人：天津创昱达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12