用于微流控芯片的激光刻蚀机制造技术

用于微流控芯片的激光刻蚀机，包括封闭式机柜、烟雾净化器，所述封闭式机柜包括固定底板，所述固定底板固结在封闭式机柜的上表面另一侧边缘内，所述固定底板的一侧边缘内固定安装有夹具，所述固定底板的另一侧边缘固定安装有升降台，所述升降台上固接有二氧化碳激光器，所述二氧化碳激光器的一侧端面上配合安装有光具座，所述光具座置于夹具的正上方。本实用新型专利技术通过二氧化碳激光器和光具座可以在动态移动范围内进行全三维空间加工，对微结构设计、微图案设计都有较大的柔性，能直接刻蚀、切割高分子微流控芯片，可以大幅度节约时间，简化制作步骤，提高生产效率。

Laser etching machine for microfluidic chip

Laser etching machine for microfluidic chip, including closed cabinet, smoke purifier, the enclosed cabinet includes a fixed plate, the fixed plate on the surface of the consolidation in the closed cabinet in the edge of the other side, one side edge of the fixed plate is fixed in the clamp, the other side edge of the fixed plate the fixed lifting platform, the lifting platform is fixedly connected with a carbon dioxide laser, one side face of the carbon dioxide laser with a light installation seat, just above the optical seat is arranged in the fixture. The utility model by CO2 laser and optical bench can be full three-dimensional processing in the dynamic range of movement, the micro structure design, micro pattern design has great flexibility, can direct etching, cutting polymer microfluidic chip, can greatly save time and simplify the manufacture procedure, improve production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
用于微流控芯片的激光刻蚀机
本技术涉及用于微流控芯片的激光刻蚀机。
技术介绍
目前制作高分子（PMMA）微流控芯片的方法是基于模具的模塑法，但其前期需结合LIGA技术、SU-8光刻技术以及硅的干法刻蚀等工艺进行微模具加工，对仪器的要求较高，前期制作费用较大，时间较长。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足，提供了解决上述问题的用于微流控芯片的激光刻蚀机。为了解决上述技术问题，本技术通过下述技术方案得以解决：用于微流控芯片的激光刻蚀机，包括封闭式机柜、烟雾净化器，所述烟雾净化器安装在封闭式机柜的上表面一侧内，且构成激光刻蚀机的整体，所述封闭式机柜包括固定底板，所述固定底板固结在封闭式机柜的上表面另一侧边缘内，所述固定底板的一侧边缘内固定安装有夹具，所述固定底板的另一侧边缘固定安装有升降台，所述升降台上固接有二氧化碳激光器，所述二氧化碳激光器的一侧端面上配合安装有光具座，所述光具座置于夹具的正上方。所述封闭式机柜还包括激光防护罩，所述激光防护罩包裹住封闭式机柜的上表面另一侧，且形成一个密闭空间，所述激光防护罩与烟雾净化器接通且固接为一体。所述夹具包括连接板和真空吸附板，所述连接板和真空吸附本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于微流控芯片的激光刻蚀机，包括封闭式机柜（1）、烟雾净化器（2），所述烟雾净化器（2）安装在封闭式机柜（1）的上表面一侧内，且构成激光刻蚀机的整体，其特征在于，所述封闭式机柜（1）包括固定底板（11），所述固定底板（11）固结在封闭式机柜（1）的上表面另一侧边缘内，所述固定底板（11）的一侧边缘内固定安装有夹具（3），所述固定底板（11）的另一侧边缘固定安装有升降台（4），所述升降台（4）上固接有二氧化碳激光器（5），所述二氧化碳激光器（5）的一侧端面上配合安装有光具座（6），所述光具座（6）置于夹具（3）的正上方。

【技术特征摘要】
1.用于微流控芯片的激光刻蚀机，包括封闭式机柜（1）、烟雾净化器（2），所述烟雾净化器（2）安装在封闭式机柜（1）的上表面一侧内，且构成激光刻蚀机的整体，其特征在于，所述封闭式机柜（1）包括固定底板（11），所述固定底板（11）固结在封闭式机柜（1）的上表面另一侧边缘内，所述固定底板（11）的一侧边缘内固定安装有夹具（3），所述固定底板（11）的另一侧边缘固定安装有升降台（4），所述升降台（4）上固接有二氧化碳激光器（5），所述二氧化碳激光器（5）的一侧端面上配合安装有光具座（6），所述光具座（6）置于夹具（3）的正上方。2.根据权利要求1所述的用于微流控芯片的激光刻蚀机，其特征在于，所述封闭式机柜（1）还包括激光防护罩（12），所述激光防护罩（12）包裹住封闭式机柜（1）的上表面另一侧，且形成一个密闭空间，所述激光防护罩（12）与烟雾净化器（2）接通且固接为一体。3.根据权利要求1所述的用于微流控芯片的激光刻蚀机，其特征在于，所述夹具（3）包括连接板（31）和真空吸附板（32），所述连接板（31）和真空吸附板（32）的四周分别开有定位孔，所述连接板（31）通过定位孔固接在固定底板（11）上，所述真空吸附板（32）通过定位孔固接在连接板（31）上，所述真空吸附板（32）的上表面内形成有定位基准面（321）和负压吸附面（322），所述负压吸附面（322）的高度低于定位基准面（321）的高度且两者之间形成有一圈回转凹槽，所述负压吸附面（322）和定位基准面（321）上开有...

【专利技术属性】
技术研发人员：余承祥，张林，
申请(专利权)人：苏州富润泽激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32