照明装置及曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供照明装置及曝光装置。照明装置对被处理物照射沿第1方向延伸的狭缝状的照明光，具备：多个固体光源部，在将狭缝状的照明光所照射的狭缝状的照明区域分成第1方向长且第2方向短的多个局部照明区域时，该多个固体光源部以对多个局部照明区域各自分别照射照明光的方式配置；和光束合成部，其沿着狭缝状的照明区域配置，将第1方向设为长度方向且截面为三角形的2个棱镜的包含长度方向的斜面相互接合，以斜面上的沿着第1方向的部分中的、与多个局部照明区域的第奇数个和第偶数个中的某一方对应的部分相对于照明光成为通过部、且与另一方对应的部分相对于照明光成为反射部的方式，形成有反射膜。

Lighting device and exposure device

The invention provides a lighting device and an exposure device. Lighting device of slit treated materials irradiation extending along the first direction of the illumination light having a plurality of solid-state light source, in the lighting area of the slit slit shaped illumination light irradiation into first direction of multiple local lighting area and second short direction, the plurality of solid light source based on the multiple local lighting area respectively of illumination light configuration; and beam synthesis, along the slit shaped lighting area configuration, the first direction of a slope in the length direction and section 2 of the triangle prism contains the length of each joint, inclined to the direction along the first part in, with a number of local lighting area of the odd and even numbered one of a corresponding part relative to the lighting department, and be through with another party with respect to the corresponding part of the illumination light become a reflection There is a reflection film formed in the way of the part.

【技术实现步骤摘要】
照明装置及曝光装置本申请是中国专利申请号为201380037678.0、进入国家阶段日期为2015年1月14日，国际申请日为2013年5月22日、PCT国际申请号为PCT/JP2013/064228、专利技术名称为“照明装置、处理装置及器件制造方法”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及照明装置及曝光装置。本申请基于2012年5月29日的美国临时申请61/652，719号主张优先权，并在此援用其内容。
技术介绍
近年来，作为电视机等的显示装置，大多使用例如液晶显示面板等平板显示器。在平板显示器这样的各种器件的制造中，利用曝光装置等处理装置。例如，利用基于曝光装置而实现的光刻方法、蚀刻技术等，在玻璃板上形成透明薄膜电极等各种膜图案，由此来制造液晶显示面板。作为光刻方法，提出有取代玻璃板而在卷绕成卷状的片状基板上对掩膜图案的像进行投影曝光的方法(例如，参照下述的专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本国特开2007-114385号公报
技术实现思路
出于能够高效地制造器件等的观点而期待曝光装置等处理装置扩大处理范围，在用于这样的处理装置的照明装置中，期望扩大与被处理物的移动方向垂直的方向上的光的照射范围。本专利技术方案的目的在于，提供一种能够扩大处理范围的照明装置及曝光装置。根据本专利技术的第1方案，提供一种照明装置，对被处理物照射沿第1方向延伸的狭缝状的照明光，其特征在于，具备：多个固体光源部，在将所述狭缝状的照明光所照射的狭缝状的照明区域分成所述第1方向长且所述第2方向短的多个局部照明区域时，该多个固体光源部以对所述多个局部照明区域各自分别照射所述照明光的方式配置；和光束合成部，其沿着所述狭缝状的照明区域配置，将所述第1方向设为长度方向且截面为三角形的2个棱镜的包含长度方向的斜面相互接合，以所述斜面上的沿着所述第1方向的部分中的、与所述多个局部照明区域的第奇数个和第偶数个中的某一方对应的部分相对于所述照明光成为通过部、且与另一方对应的部分相对于所述照明光成为反射部的方式，形成有反射膜。根据本专利技术的第2方案，提供一种曝光装置，一边将沿第1方向延伸的狭缝状的照明光向掩膜图案的一部分照射、一边使所述狭缝状的照明光和所述掩膜图案沿着与所述第1方向交叉的第2方向相对地移动，利用从所述掩膜图案通过的所述照明光对基板的感光层进行曝光，所述曝光装置的特征在于，具备：第奇数个用的多个光源部，在将所述狭缝状的照明光所照射的狭缝状的照明区域分成所述第1方向长且所述第2方向短的多个局部照明区域时，所述第奇数个用的多个光源部以对所述多个局部照明区域中的沿着所述第1方向的第奇数个的所述局部照明区域各自分别照射所述照明光的方式，相对于所述狭缝状的照明区域的法线配置于所述第2方向的一侧；第偶数个用的多个光源部，其以对所述多个局部照明区域中的沿着所述第1方向的第偶数个的所述局部照明区域各自分别照射所述照明光的方式，相对于所述狭缝状的照明区域的法线配置于所述第2方向的另一侧；和偏转部件，其具有多个第奇数个用的反射镜和多个第偶数个用的反射镜，所述多个第奇数个用的反射镜使向所述第奇数个的局部照明区域各自照射的来自所述第奇数个用的多个光源部各自的所述照明光从所述一侧向所述法线的方向反射，所述多个第偶数个用的反射镜使向所述第偶数个的局部照明区域各自照射的来自所述第偶数个用的多个光源部各自的所述照明光从所述另一侧向所述法线的方向反射。根据本专利技术的第3方案，提供一种曝光装置，使沿着从中心线以规定半径弯曲成圆筒状的外周面保持有透射型的掩膜图案的旋转滚筒绕所述中心线旋转，从所述旋转滚筒的内部向所述掩膜图案照射与所述中心线平行地延伸的狭缝状的照明光，通过从所述掩膜图案透射的光对基板的感光层进行曝光，所述曝光装置的特征在于，具备多个照明模块，在将所述狭缝状的照明光所照射的狭缝状的照明区域在所述中心线所延伸的第1方向上分成多个局部照明区域时，该多个照明模块与所述多个局部照明区域各自对应地在所述旋转滚筒内沿着所述第1方向配置，并对所述局部照明区域各自照射照明光，使从所述多个照明模块各自朝向所述局部照明区域的所述照明光的扩散角在与所述第1方向正交的第2方向、及所述第1方向上为各向同性。专利技术效果根据本专利技术的方式，能够提供一种可扩大处理范围的照明装置及曝光装置。附图说明图1是表示器件制造系统的一例的图。图2是表示第1实施方式的处理装置(曝光装置)的侧视图。图3是表示第1实施方式的处理装置(曝光装置)的主视图。图4A是表示第1实施方式的照明模块的图。图4B是表示第1实施方式的照明模块的图。图5是表示第1实施方式的偏转部的立体图。图6是表示第1实施方式的偏转部的俯视图。图7是表示照度分布及滤光片的一例的图。图8是表示照度分布及滤光片的其他例子的图。图9是表示第2实施方式的处理装置(曝光装置)的侧视图。图10是表示第2实施方式的照明装置的立体图。图11是表示第2实施方式的照明装置的俯视图。图12是表示第2实施方式的照明装置的光源的俯视图。图13A是表示第2实施方式的照明装置的光学杆部件的图。图13B是表示第2实施方式的照明装置的光学杆部件的图。图14是表示第2实施方式的照明装置的中继透镜的俯视图。图15是表示第2实施方式的照明装置的偏转部的图。图16是表示第2实施方式的照明装置的光阑部件的图。图17是表示第3实施方式的处理装置(曝光装置)的侧视图。图18是表示第3实施方式的处理装置(曝光装置)的俯视图。图19是表示第4实施方式的处理装置(曝光装置)的侧视图。图20是表示第4实施方式的处理装置(曝光装置)的主视图。图21是表示第4实施方式的照明装置的偏转部的主视图。图22是表示器件制造方法的一例的流程图。附图标记说明10…移动装置，21…光源部，21a…第1光源部，21b…第2光源部，22…偏转部，23…光源，24…线段生成器，25…准直器，28…滤光片，35…旋转滚筒，36…光学杆部件，37、38…中继透镜，42…光阑部件，45…反射镜，46…通过部，47…反射部，48…中间部，EX…曝光装置，IU…照明装置，L…照明光，M…掩膜图案，P…基板，S…距离，U3…处理装置。具体实施方式[第1实施方式]图1是表示器件制造系统SYS(柔性显示器生产线)的结构例的图。在此，示出了从供给卷FR1引出的挠性基板P(片、膜等)依次经由n台处理装置U1、U2、U3、U4、U5、…Un而卷绕至回收卷FR2为止的例子。在图1中，将XYZ正交坐标系设为，基板P的表面(或背面)被设定为与XZ面垂直，与基板P的搬送方向(长度方向)正交的方向(宽度方向)被设定为Y轴方向。Z轴方向被设定为例如铅垂方向，X轴方向及Y轴方向被设定为水平方向。此外，为了便于说明，有时将从X轴方向(搬送方向的下游)观察到的图称为主视图，将从Y轴方向(旋转中心轴的方向)观察到的图称为侧视图，将从Z轴方向(铅垂方向的上方)观察到的图称为俯视图。卷绕在供给卷FR1上的基板P通过夹持的驱动辊DR1而被引出，通过边缘位置控制器EPC1而在Y方向上被定位并向处理装置U1输送。处理装置U1是以印刷方式将感光性功能液(感光胶、感光性耦合材料、UV固化树脂液等)沿基板P的搬送方向(长度方向)连续地或选择性地涂敷于基板P表面的涂敷装置。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种照明装置，对被处理物照射沿第1方向延伸的狭缝状的照明光，其特征在于，具备：多个固体光源部，在将所述狭缝状的照明光所照射的狭缝状的照明区域分成所述第1方向长且所述第2方向短的多个局部照明区域时，该多个固体光源部以对所述多个局部照明区域各自分别照射所述照明光的方式配置；和光束合成部，其沿着所述狭缝状的照明区域配置，将所述第1方向设为长度方向且截面为三角形的2个棱镜的包含长度方向的斜面相互接合，以所述斜面上的沿着所述第1方向的部分中的、与所述多个局部照明区域的第奇数个和第偶数个中的某一方对应的部分相对于所述照明光成为通过部、且与另一方对应的部分相对于所述照明光成为反射部的方式，形成有反射膜。

【技术特征摘要】
2012.05.29 US 61/652,7191.一种照明装置，对被处理物照射沿第1方向延伸的狭缝状的照明光，其特征在于，具备：多个固体光源部，在将所述狭缝状的照明光所照射的狭缝状的照明区域分成所述第1方向长且所述第2方向短的多个局部照明区域时，该多个固体光源部以对所述多个局部照明区域各自分别照射所述照明光的方式配置；和光束合成部，其沿着所述狭缝状的照明区域配置，将所述第1方向设为长度方向且截面为三角形的2个棱镜的包含长度方向的斜面相互接合，以所述斜面上的沿着所述第1方向的部分中的、与所述多个局部照明区域的第奇数个和第偶数个中的某一方对应的部分相对于所述照明光成为通过部、且与另一方对应的部分相对于所述照明光成为反射部的方式，形成有反射膜。2.如权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述光束合成部具有中间部，所述中间部配置在所述第1方向上的所述通过部与所述反射部之间，所述中间部相对于所述照明光的反射率设定为比所述通过部相对于所述照明光的反射率高、且比所述反射部相对于所述照明光的反射率低。3.如权利要求2所述的照明装置，其特征在于，来自所述多个固体光源部各自的所述照明光从所述光束合成部的包含所述通过部和所述中间部的区域、或者包含所述反射部和所述中间部的区域通过而向所述多个局部照明区域各自照射。4.如权利要求3所述的照明装置，其特征在于，在所述光束合成部的所述斜面上形成的反射膜设定为密度按照所述反射部、所述中间部、所述通过部的顺序相对地变低。5.如权利要求4所述的照明装置，其特征在于，所述光束合成部通过将在所述斜面上成膜的所述反射膜中的、与所述通过部或所述中间部对应的区域的所述反射膜局部地除去，而将反射膜的密度设定为按照所述反射部、所述中间部、所述通过部的顺序相对地变低。6.一种曝光装置，一边将沿第1方向延伸的狭缝状的照明光向掩膜图案的一部分照射、一边使所述狭缝状的照明光和所述掩膜图案沿着与所述第1方向交叉的第2方向相对地移动，利用从所述掩膜图案通过的所述照明光对基板的感光层进行曝光，所述曝光装置的特征在于，具备：第奇数个用的多个光源部，在将所述狭缝状的照明光所照射的狭缝状的照明区域分成所述第1方向长且所述第2方向短的多个局部照明区域时，所述第奇数个用的多个光源部以对所述多个局部照明区域中的沿着所述第1方向的第奇数个的所述局部...

【专利技术属性】
技术研发人员：根岸武利，福井达雄，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本,JP