一种光刻机专用基片定位装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
一种光刻机专用基片定位装置
本技术涉及一种光刻领域，尤其涉及一种光刻机专用基片定位装置。
技术介绍
EXFOOmniCureS1000紫外点光固化系统对准系统，以其经济、高效的优点，在实验室中得到广泛应用。该系统为人工设置参数和放置基片，操作简便。但在紫外光刻或固化材料时，样品位置需相对精确摆放。由于视觉影响，手动放置样品时，需较长时间调节样品位置，且很难将样品放于光源正下方，从而导致加工失败。因此为保证光刻质量，需要一种操作简单的对准装置来实现基片位置的定位。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种光刻机专用基片定位装置，可以快速进行基片定位，使得基片位于光源正下方，有效减少基片的对准误差，缩短对准时间，提高光刻机的对准性能，提高光刻质量。为实现上述目的，本技术提出如下技术方案：一种光刻机专用基片定位装置，包括光刻机以及安装在光刻机底座上的定位装置，其特征在于：所述定位装置包括基座，支撑杆，光源定位杆及基片定位杆，其中：基座通过螺栓固定在底座上，而支撑杆固定在基座上表面，所述光源定位杆固定在支撑杆顶端，其自由端具有半圆环卡在光刻机的光源上，所述基片定位杆固定在基座侧面，其自由端具有基片定位环，且基片定位杆与光源定位杆平行，同时基片定位环圆心与半圆环圆心及光源中心在同一垂直线上。作为优选，所述基片定位杆两端均具有外螺纹，且表面具有尺寸刻度，基片定位环螺纹固定在基片定位杆端部，且可根据基片尺寸大小进行基片定位环更换，同时基片定位杆螺纹固定在基座侧面，且根据基片定位环的尺寸结合尺寸刻度进行拧入尺寸调节，确保基片定位环圆心与半圆环圆心同一垂直线。与现...
【技术保护点】
一种光刻机专用基片定位装置，包括光刻机以及安装在光刻机底座上的定位装置，其特征在于：所述定位装置包括基座，支撑杆，光源定位杆及基片定位杆，其中：基座通过螺栓固定在底座上，而支撑杆固定在基座上表面，所述光源定位杆固定在支撑杆顶端，其自由端具有半圆环卡在光刻机的光源上，所述基片定位杆固定在基座侧面，其自由端具有基片定位环，且基片定位杆与光源定位杆平行，同时基片定位环圆心与半圆环圆心及光源中心在同一垂直线上。
【技术特征摘要】
1.一种光刻机专用基片定位装置，包括光刻机以及安装在光刻机底座上的定位装置，其特征在于：所述定位装置包括基座，支撑杆，光源定位杆及基片定位杆，其中：基座通过螺栓固定在底座上，而支撑杆固定在基座上表面，所述光源定位杆固定在支撑杆顶端，其自由端具有半圆环卡在光刻机的光源上，所述基片定位杆固定在基座侧面，其自由端具有基片定位环，且基片定位杆与光源定位杆平行，同时基片...
【专利技术属性】
技术研发人员：张华丽，陈科，冒卫星，黄明宇，
申请(专利权)人：南通大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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