曝光照明装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种曝光照明装置，所述曝光照明装置1将从具有按规定间隔离散配置的多个LED组件11的光源10射出的光束照射到曝光面80，在多个LED组件11中的每一个的出射侧有多个锥形第1导光体20，沿LED组件11射出的光束的光轴方向70，该多个锥形第1导光体20的尺寸逐渐扩大，并且出射端面22的面积设定为大于光束的入射端面21的面积，从第1导光体20的入射端面21处的LED组件11射出的光束的大小设定为大于第1导光体20的入射端面21。所述曝光照明装置能够确保从按规定间隔离散配置有多个LED组件的光源射出的光束的亮度分布的均匀性和充分的照度，并进行稳定的基板曝光。

【技术实现步骤摘要】
曝光照明装置
本专利技术涉及一种曝光照明装置，尤其是涉及一种将从间隔地离散配置的多个LED组件射出的光束照射到曝光面的曝光照明装置。
技术介绍
已知以往进行基板曝光的各种曝光照明装置。曝光照明装置将从光源射出的光束通过透镜系统等光学设备照射到曝光面，并进行基板曝光。对于这种曝光照明装置的光源，选择亮度高的光源。如专利文献1和专利文献2所示，以往使用例如紫外灯或卤素灯。然而，用于曝光照明装置的紫外灯或卤素灯虽然可以获得高的亮度，但通常寿命短。因此，更换频率增加，成本增高等成为提高基板制造成本的一个因素。出于这个原因，近年来，探讨了使用长寿命的LED组件。也就是说，近年来，开发了可以获得高亮度的大容量LED组件，并对于将其用于曝光照明装置进行了积极的探讨。对于使用这种LED组件的曝光照明装置，例如，参考专利文献3中公开的技术。也就是说，在文献3的曝光照明装置中，使用多个LED组件(芯片LED)作为光源，并将从该多个LED组件射出的光束通过锥形棒透镜(锥形导光体)或棒透镜(导光体)照射到曝光面。LED组件设置于锥形棒透镜的入射端面，并且LED组件的尺寸设定为小于锥形棒透镜的入射端面的尺寸。现有技术文献专利文献[专利文献1]日本特开2007-017897号公报[专利文献2]日本特开2012-238673号公报[专利文献3]日本特开2003-330109号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题可是，在如上述曝光照明装置使用LED组件作为光源的情况下，如图8所示，因配线和发热问题而将多个LED组件按规定间隔离散配置。然而，如此将多个LED组件离散配置，并且如上所述LED组件的尺寸设定为小于锥形棒透镜的入射端面的尺寸时，在锥形棒透镜或棒透镜的出射端面处光束也变得离散，而得不到面光源。结果相邻的LED组件射出的光束间能量密度降低等，不能从得自光源的光束获得最大限度的照度，而有可能阻碍稳定的基板曝光。因此，强烈期待开发即便使用多个LED组件，也能够确保光束的亮度分布的均匀性，并且能够以最大照度进行稳定的基板曝光的曝光照明装置。本专利技术是鉴于这种情况而做出的，目的在提供一种照明装置，其能够确保从按间隔离散配置有多个LED组件的光源射出的光束的均匀性和充分的照度，并能够进行稳定的基板曝光。解决问题的手段为了达成上述目的，涉及曝光照明装置的权利要求1的专利技术为一种将从光源射出的光束照射到曝光面的曝光照明装置，该光源具有按间隔离散配置的多个LED组件，其中，在多个LED组件中的每一个的出射侧，曝光照明装置具有相邻的多个锥形第1导光体，沿从LED组件射出的光束的光轴方向，该多个锥形第1导光体的尺寸逐渐扩大，且出射端面的尺寸设定为大于光束的入射端面的尺寸，从第1导光体的入射端面处的LED组件射出的光束的大小设定为大于第1导光体的入射端面。根据本专利技术，在多个LED组件中的每一个的出射侧具有相邻的多个锥形第1导光体，沿LED组件射出的光束的光轴方向，该锥形第1导光体的尺寸逐渐扩大，并且出射端面的尺寸设定为大于光束的入射端面的尺寸，第1导光体的入射端面处的LED组件射出的光束的大小设定为大于第1导光体的入射端面。因此，可以在从第1导光体的入射端面使与该入射端面的大小同等大小的光束入射的同时，在锥形第1导光体内，使从LED组件射出的光束重复反射的同时逐渐增大其尺寸，即使在具有按间隔配置的多个LED组件的光源中，也能够防止光束在第1导光体的出射端面变得离散，从而使光束从一个大的面光源射出等，能够防止从相邻的LED组件射出的光束之间发生能量密度降低。如此，能够确保从光源射出的光束的均匀性和充分的照度，并进行稳定的基板曝光。此外，在锥形第1导光体内，从LED组件射出的光束在反射角度减小的同时重复反射，能够容易地产生平行相近的光束，结果能够实现提高基板的制造效率。如果将LED组件设置于第1导光体的入射端面，且将LED组件的大小设定为大于入射端面，则能够确保将第1导光体的入射端面处的LED组件射出的光束的大小设定为大于第1导光体的入射端面。如果通过在多个LED组件中的每一个与第1导光体之间设置光学构件以使LED组件的发光面再成像，而将第1导光体的入射端面处的LED组件射出的光束的大小设定为大于第1导光体的入射端面，则即使在LED组件的尺寸小于第1导光体的入射端面的情况下，也能够容易地使LED组件射出的光的大小大于第1导光体的入射端面的大小等，能够确保LED组件的尺寸选择的自由度。如果通过使出射端面的端部相互稠密地接合，将多个第1导光体在与光束的光轴方向垂直的方向上相互并列地相邻设置，则能够进一步防止光束在第1导光体的出射端面变得离散，从而使光束从一个大的面光源射出等，能够更可靠地防止在从相邻LED组件射出的光束之间发生能量密度降低。多个第1导光体在光束的出射侧具有与光轴方向平行的平行部，如果该平行部之间相互接合，则能够使相邻第1导光体之间面接合，因此能够确保稳定的接合状态(权利要求5)。第1导光体可以为锥形棒。如果具有设置于第1导光体的出射侧、沿光束的光轴方向平行地延伸、使第1导光体射出的光束入射的入射端面的大小和使入射的光束出射的出射端面的大小设定为大体相等、并且将从第1导光体出射的光束均匀化的第2导光体，则能够更进一步地防止光束在导光体的出射端面变得离散，从而使光束从大的面光源射出等，能够更可靠地将第1导光体射出的光束均匀化。对于第2导光体，能够将该第2导光体的入射端面的端部与第1导光体的出射端面的端部接合。如果在第1导光体与第2导光体之间设置光学构件，并且第2导光体通过光学构件使从第1导光体出射的光束会聚并入射，则能够将第2导光体的尺寸设为与会聚的光束的大小对应的尺寸等，可以实现第2导光体的紧凑化。第2导光体可以为棒状积分器或复眼积分器。专利技术效果根据本专利技术，能够确保从按间隔离散配置有多个LED组件的光源射出的光束的均匀性和充分的照度，并进行稳定的基板曝光。附图说明图1是示出显示本专利技术第1实施方式的曝光照明装置的整体构成的构成图。图2是显示同一曝光照明装置的光源的整体构成的构成图。图3是用于说明同一第1实施方式的技术效果的图。图4是用于说明同一第1实施方式的技术效果的另一图。图5是示出显示本专利技术第2实施方式的曝光照明装置的整体构成的构成图。图6是示出显示本专利技术第3实施方式的曝光照明装置的整体构成的构成图。图7是示出显示本专利技术第4实施方式的曝光照明装置的整体构成的构成图。图8是用于说明采用LED组件的传统曝光照明装置的课题的图。附图标记说明1：曝光照明装置2：曝光照明装置3：曝光照明装置4：曝光照明装置10：光源11：LED组件(芯片LED)12：基板20：第1导光体21：入射端面22：出射端面23：平行部24：接合面30：第2导光体31：入射端面32：出射端面40：光学构件50：第1中继透镜60：第2中继透镜70：光轴方向80：曝光面81：基板82：掩模110：光学构件111：第1中继透镜112：第2中继透镜200：第2导光体201：入射端面202：出射端面300：第2导光体301：入射端面301a：第1复眼301b：透镜302：出射端面302a：第2复眼302b：透镜400：光学构件400a：光学构件401：第1中继透镜401a：中继透镜4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光照明装置，所述曝光照明装置将从光源射出的光束照射到曝光面，所述光源具有按间隔离散配置的多个LED组件，在所述多个LED组件中的每一个的出射侧，所述曝光照明装置具有相邻的多个锥形第1导光体，沿从所述LED组件射出的光束的光轴方向，所述多个锥形第1导光体的尺寸逐渐扩大，并且出射端面的尺寸设定为大于所述光束的入射端面的尺寸，从所述第1导光体的入射端面处的所述LED组件射出的光束的大小，设定为大于所述第1导光体的入射端面。

【技术特征摘要】
2016.08.10 JP 2016-1574501.一种曝光照明装置，所述曝光照明装置将从光源射出的光束照射到曝光面，所述光源具有按间隔离散配置的多个LED组件，在所述多个LED组件中的每一个的出射侧，所述曝光照明装置具有相邻的多个锥形第1导光体，沿从所述LED组件射出的光束的光轴方向，所述多个锥形第1导光体的尺寸逐渐扩大，并且出射端面的尺寸设定为大于所述光束的入射端面的尺寸，从所述第1导光体的入射端面处的所述LED组件射出的光束的大小，设定为大于所述第1导光体的入射端面。2.根据权利要求1所述的曝光照明装置，其中，所述LED组件设置于所述第1导光体的入射端面，所述LED组件的大小设定为大于所述入射端面。3.根据权利要求1所述的曝光照明装置，其中，通过在所述多个LED组件中的每一个与所述第1导光体之间设置光学构件使所述LED组件的发光面再成像，将从所述第1导光体的入射端面处的所述LED组件射出的光束的大小设定为大于所述第1导光体的入射端面。4.根据权利要求2或3所述的曝光照明装置，其中，通过使所...

【专利技术属性】
技术研发人员：末永丰，
申请(专利权)人：横滨领先设计合资会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP