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本发明提供照明装置及曝光装置。照明装置对被处理物照射沿第1方向延伸的狭缝状的照明光，具备：多个固体光源部，在将狭缝状的照明光所照射的狭缝状的照明区域分成第1方向长且第2方向短的多个局部照明区域时，该多个固体光源部以对多个局部照明区域各自分别...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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