一种滴胶纳米压印设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种滴胶纳米压印设备，涉及一种纳米设备。所述滴胶纳米压印设备包括：加压装置、机架、基板、托盘、加热盘、伺服升降台、检测单元、滴胶装置以及控制单元，同时所述控制单元与所述检测单元、所述伺服升降台、所述滴胶装置、所述加热盘、及所述紫外灯连接，所述控制单元首先通过所述伺服升降台使所述基板降下，然后通过所述滴胶装置在所述基板顶面滴胶，所述控制单元再次通过所述伺服升降台使所述基板与所述模板贴合，并通过所述检测单元使所述基板对所述模板的压力达到设定压力，接着，所述控制单元使所述紫外灯对所述基板上滴胶曝光固化或使加热盘对滴胶加热固化，控制单元最后通过所述伺服升降台使所述基板与所述模板分离。

【技术实现步骤摘要】
一种滴胶纳米压印设备
本技术涉及一种纳米设备，特别是涉及一种滴胶纳米压印设备。
技术介绍
目前，纳米压印设备主要由加压装置、曝光装置、工作台、加热装置和真空装置，伺服升降装置，控制系统等组成。其流程简单包含如下：将附有压印胶的基片放入压印腔工作台中，与模板进行贴合，并压印、固化；或者将贴合好的模板和基片放置于压印腔工作台中进行纳米压印、固化，将图形转移到压印胶上。现有的纳米压印设备在执行上述纳米压印的操作过程中，很多步骤仍需要人工去辅助，由于纳米压印及其微小，为保证质量，其操作流程繁琐，以保证其精密性，这就导致压印效率不高，人为操作费时费力。并且纳米设备专业性非常强，这就需要事先对相关操作人员进行相应的培训。使得纳米压印设备的使用成本非常高。
技术实现思路
本技术的一个目的是要提供一种滴胶纳米压印设备，以实现纳米压印过程的全自动化。特别地，本技术提供了一种滴胶纳米压印设备，包括：加压装置，其位于所述设备的顶部，所述加压装置的底面安装有模板，所述加压装置内安装有用于照射所述基板上滴胶的紫外灯；机架，安装于所述加压装置的底部，所述机架用于支撑所述加压装置，所述机架内具有位于所述模板下方的压印腔；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滴胶纳米压印设备，其特征在于，包括：加压装置，其位于所述设备的顶部，所述加压装置的底面安装有模板，所述加压装置内安装有用于照射的紫外灯；机架，安装于所述加压装置的底部，所述机架用于支撑所述加压装置，所述机架内具有位于所述模板下方的压印腔；基板，位于所述压印腔内，并能够与所述模板的底面相贴合；托盘，位于所述基板下方并与所述基板贴合，所述托盘顶面开设有多个环形真空槽，所述环形真空槽内开设的多个与相应的真空泵或抽气泵相接通的微孔，通过多个所述微孔以抽真空的方式实现所述托盘对所述基板的吸附固定；加热盘，安装于所述托盘的底部，用于对所述托盘上的基板进行加热；伺服升降台，安装于所述加热盘底部，通过使所...

【技术特征摘要】
1.一种滴胶纳米压印设备，其特征在于，包括：加压装置，其位于所述设备的顶部，所述加压装置的底面安装有模板，所述加压装置内安装有用于照射的紫外灯；机架，安装于所述加压装置的底部，所述机架用于支撑所述加压装置，所述机架内具有位于所述模板下方的压印腔；基板，位于所述压印腔内，并能够与所述模板的底面相贴合；托盘，位于所述基板下方并与所述基板贴合，所述托盘顶面开设有多个环形真空槽，所述环形真空槽内开设的多个与相应的真空泵或抽气泵相接通的微孔，通过多个所述微孔以抽真空的方式实现所述托盘对所述基板的吸附固定；加热盘，安装于所述托盘的底部，用于对所述托盘上的基板进行加热；伺服升降台，安装于所述加热盘底部，通过使所述托盘上升或下降，以将所述基板与所述模板相贴合或相分离；检测单元，通过与所述伺服升降台对接，以检测所述基板对所述模板的压力，或所述检测单元与所述加热盘对接，检测所述加热盘的温度；滴胶装置，通过其具有的机械臂旋转和气动驱动的方式使所述滴胶装置能够在所述基板顶面按设定量滴胶；以及控制单元，同时与所述检测单元、所述伺服升降台、所述滴胶装置、所述加热盘、及所述紫外灯连接，所述控制单元首先通过所述伺服升降台使所述基板降下，然后通过所述滴胶装置在所述基板顶面滴胶，所述控制单元再次通过所述伺服升降台使所述基板与所述模板贴合，并通过所述检测单元使所述基板对所述模板的压力达到设定压力，接着，所述控制单元使所述紫外灯对所述基板上的滴胶曝光固化或者使所述加热盘对所述基板上的滴胶进行加热固化，所述控制单元最后通过所述伺服升降台使所述基板与所述模板分离。2.根据权利要求1所述的压印设备，其特征在于，所述托盘顶面开...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山东,37