The embodiment of the utility model provides a glass micro groove processing device includes a laser, workpiece, nozzle; one side of the laser is arranged on the workpiece, for transmitting laser to the workpiece; the other side of the nozzle is arranged on the workpiece, for the injection of micro jet to the workpiece. The utility model rapidly and efficiently roughs the outlet channel and the micro abrasive water jet for finishing. It can not only play the role of cooling, but also carry away chips, prevent adhesion to the surface of the workpiece, and greatly improve the quality of the machined surface. It can reduce the heat effect of laser processing; it can process deeper quality and better grooves.
【技术实现步骤摘要】
一种玻璃微沟槽加工装置
本技术涉及玻璃加工领域,尤其涉及一种玻璃微沟槽加工装置。
技术介绍
玻璃具有一系列优异的物理化学性能,广泛地应用在航空、国防、科研等领域中。但因为其典型的高硬脆性特性,使其结构件的加工制造一直存在难题,其微沟槽的加工是其中一个难题,而这种玻璃微沟槽在微电子封装、MEMS器件封装,生物和医疗等领域具有巨大的应用需求。玻璃属于硬脆材料,加工玻璃的方法有很多,主要是激光加工。激光加工是利用光的能量经过透镜聚焦后在焦点上达到很高的能量密度,靠光热效应来加工的。然而这种激光加工的方法刻蚀出来的沟槽的质量较差。而湿法刻蚀是使用HF腐蚀玻璃,HF有剧毒对操作人员与环境都很不友好;激光刻蚀出来的沟槽的质量较差;等离子刻蚀对设备和环境要求高;微磨料水射流加工效率较低。因此,激光加工的方法刻蚀出来的沟槽的质量较差是本领域技术人员需要解决的技术问题。
技术实现思路
本技术实施例公开了一种玻璃微沟槽加工装置,用于解决激光加工的方法刻蚀出来的沟槽的质量较差的技术问题。本技术实施例提供了一种玻璃微沟槽加工装置,包括:激光器、工件、喷嘴;所述激光器设置于所述工件的一侧,用于发送激光至所述工件;所述喷嘴设置于所述工件的另一侧,用于喷射微细射流至所述工件。优选地,所述激光器的透镜距离所述工件的另一侧表面的距离为所述透镜的焦距,使得所述激光器发出的激光能够聚焦到所述工件的另一侧表面。优选地,本专利技术实施例还包括两条加工轨道;所述两条加工轨道分别设置于所述工件的两侧;所述激光器具体设置于所述工件的一侧的加工轨道上;所述喷嘴具体设置于所述工件的另一侧的加工轨道上;所述两条加工轨 ...
【技术保护点】
一种玻璃微沟槽加工装置,其特征在于,包括:激光器、工件、喷嘴;所述激光器设置于所述工件的一侧,用于发送激光至所述工件;所述喷嘴设置于所述工件的另一侧,用于喷射微细射流至所述工件。
【技术特征摘要】
1.一种玻璃微沟槽加工装置,其特征在于,包括:激光器、工件、喷嘴;所述激光器设置于所述工件的一侧,用于发送激光至所述工件;所述喷嘴设置于所述工件的另一侧,用于喷射微细射流至所述工件。2.根据权利要求1所述的一种玻璃微沟槽加工装置,其特征在于,所述激光器的透镜距离所述工件的另一侧表面的距离为所述透镜的焦距,使得所述激光器发出的激光能够聚焦到所述工件的另一侧表面。3.根据权利要求1所述的一种玻璃微沟槽加工装置,其特征在于,还包括两条加工轨道;所述两条加工轨道分别设置于所述工件的两侧;所述激光器具体设置于所述工件的一侧...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭钟宁,张文斌,周兵高,刘莉,吴玲海,陈玲玉,
申请(专利权)人:广东工业大学,佛山市铬维科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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