A solar grade silicon slice cleaning agent and preparation method thereof, wherein the cleaning agent composition and weight percentage are as follows: 1 surfactant 15%; organic base 5 15%; 2 complexing agent 10%; solvent 3 10%; 0.01 2% inorganic alkali PH regulator; balance of deionized water; the and the organic base selected from the group consisting of triethanolamine, four methyl ammonium hydroxide or a combination thereof. The invention is made by the cleaning agent composition and the weight percentage of choice, has obtained a short cleaning time, simple operation, low cost, solar grade silicon slice cleaning effect is ideal, and after cleaning the surface without impurities, only mild corrosion; high degree of concentration, one can replace the commercially available double component and reduce the cost, speed up the cleaning process, shorten the cleaning time.
【技术实现步骤摘要】
太阳能级硅切片清洗剂及其制备方法
本专利技术涉及电子工业清洗剂
,尤其是一种太阳能级硅切片清洗剂及其制备方法。
技术介绍
在光伏和半导体硅片生产过程中,尤其是在用于制造太阳能电池的太阳能硅片生产过程中,往往有一些杂质附着在硅片表面上,需要对硅片进行清洗,才能得到合格的产品。太阳能硅片是制造太阳能电池的基础,它的表面状态会影响到电池的可靠性和成品率,因此对太阳能硅片的表面清洗要求较高。常规的硅片清洗剂由于配方的原因而具有如下缺点:清洗时间较长,一般需要5-20分钟,清洗效果不理想,会出现花片,即清洗后的太阳能级硅切片表面会出现残留物斑迹,对太阳能级硅切片表面腐蚀较严重等。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足,提供一种太阳能级硅切片清洗剂及其制备方法,具有清洗时间短、操作简单、成本低、清洗效果理想、且清洗后的太阳能级硅切片无杂质,表面仅轻度腐蚀。本专利技术解决其技术问题是采用以下技术方案实现的:一种太阳能级硅切片清洗剂,所述清洗剂的组份和重量百分比如下:表面活性剂1-15%;有机碱5-15%;络合剂2-10%;助溶剂3-10%;无机碱PH调节剂0.01-2%;余量为去离子水;其中,所述表面活性剂选自十二烷基苯磺酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚或其组合;所述有机碱选自三乙醇胺、四甲基氢氧化铵或其组合;所述络合剂选自以下的一种或多种:乙二胺四乙酸二钠、柠檬酸钠和乙二胺四乙酸;所述助溶剂选自丙三醇、乙醇、异丙醇或其混合物。优选的,所述的无机碱PH调节剂为浓度为40%的氢氧化钾溶液。太阳能级硅切片清洗剂的制备方法,包括以下步骤:(1)取一定 ...
【技术保护点】
一种太阳能级硅切片清洗剂,其特征在于,所述清洗剂的组份和重量百分比如下:表面活性剂1‑15%;有机碱5‑15%;络合剂2‑10%;助溶剂3‑10%;无机碱PH调节剂0.01‑2%;余量为去离子水;其中,所述表面活性剂选自十二烷基苯磺酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚或其组合;所述有机碱选自三乙醇胺、四甲基氢氧化铵或其组合;所述络合剂选自以下的一种或多种:乙二胺四乙酸二钠、柠檬酸钠和乙二胺四乙酸;所述助溶剂选自丙三醇、乙醇、异丙醇或其混合物。
【技术特征摘要】
1.一种太阳能级硅切片清洗剂,其特征在于,所述清洗剂的组份和重量百分比如下:表面活性剂1-15%;有机碱5-15%;络合剂2-10%;助溶剂3-10%;无机碱PH调节剂0.01-2%;余量为去离子水;其中,所述表面活性剂选自十二烷基苯磺酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚或其组合;所述有机碱选自三乙醇胺、四甲基氢氧化铵或其组合;所述络合剂选自以下的一种或多种:乙二胺四乙酸二钠、柠檬酸钠和乙二胺四乙酸;所述助溶剂选自丙三醇、乙醇、异丙醇或其混合物。2.根据权利要求1所述的一种太阳能级硅切片清洗剂,...
【专利技术属性】
技术研发人员:石建伟,
申请(专利权)人:天津鑫泰士特电子有限公司,
类型:发明
国别省市:天津,12
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