尾气过滤装置及单晶炉真空系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开的尾气过滤装置，其罐体上分别设有进气口和出气口，罐体内设有浸入过滤油内的第一过滤部和第二过滤部，第二过滤部环绕设置于第一过滤部的周围且位于第一过滤部靠近过滤油液面的一侧。本发明专利技术公开的单晶炉真空系统，包括单晶炉、真空泵以及尾气过滤装置，尾气过滤装置连接于单晶炉和真空泵之间。本发明专利技术的尾气过滤装置利用两个过滤部对进入的尾气进行分流，使带有杂质的尾气与过滤油充分地接触使得杂质润湿后进入过滤油中，并沉入罐体底部。本发明专利技术的单晶炉真空系统在单晶炉与真空泵之间设置尾气过滤装置，该尾气过滤装置可过滤吸收尾气中的大部分杂质，使得进入真空泵的气体的杂质含量减少，从而不必频繁更换真空泵油。

Tail gas filter and the vacuum system of single crystal furnace

Exhaust gas filtering device disclosed by the invention, the tank body is provided with an air inlet and outlet respectively, the tank body is provided with a filter oil immersed in the first filter portion and the second filter part, around the second filter part is positioned around the first filter part and is located on the first filter part near the surface side of the oil filter. The vacuum system of a single crystal furnace includes a single crystal furnace, a vacuum pump and an exhaust gas filter device, and a tail gas filtering device is connected between a single crystal furnace and a vacuum pump. The exhaust filter device of the invention utilizes two filtering parts to divert the incoming tail gas, so that the tail gas with impurities is fully contacted with the filter oil, so that the impurities enter the filter oil after wetting and sink into the bottom of the tank. The monocrystalline furnace vacuum system of the invention sets tail gas filtration device between the single crystal furnace and the vacuum pump, which can filter and absorb most impurities in the tail gas, so that the impurity content of the gas entering the vacuum pump is reduced, so that the vacuum pump oil need not be changed frequently.

【技术实现步骤摘要】
尾气过滤装置及单晶炉真空系统
本专利技术属于单晶制造设备
，具体涉及一种尾气过滤装置，还涉及一种具有该尾气过滤装置的单晶炉真空系统。
技术介绍
直拉法是一种常见的单晶生长方法，其生长过程是在单晶炉中，将籽晶浸入熔体，依次实施引晶、放肩、转肩、等径及收尾过程，最后获得单晶棒。在拉晶的同时，往炉内引入保护气体、并设置真空泵进行抽吸，利用保护气体对晶体生长环境的吹扫作用，带走挥发物及氧化物等杂质，确保拉晶过程稳定及成品品质。携带杂质的保护气体，即为拉晶尾气，一般先经过滤装置再进入真空泵，如此，能缓解杂质的进入对泵油粘稠度乃至真空泵效率的影响。然而，现有的过滤装置仅利用单层滤网对拉晶尾气中的杂质进行拦截，过滤能力有限。为了维持炉压、确保拉晶过程稳定，仍需频繁地更换泵油，难以适应单炉长时间运行的拉晶工艺需求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种尾气过滤装置，解决了由于现有的过滤装置效果差导致单晶炉真空泵需要频繁更换泵油、难适应单炉长时间运行的拉晶工艺需求的问题。本专利技术的目的还在于提供一种具有该尾气过滤装置的单晶炉真空系统，解决了现有的真空泵需频繁更换泵油、影响拉晶工艺需求的问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】
尾气过滤装置，其特征在于，包括容置有过滤油的罐体(1)，所述罐体(1)上分别设有高于所述过滤油液面的进气口(14)和出气口(15)，所述罐体(1)内设有浸入过滤油内的第一过滤部(21)和第二过滤部(22)，所述第二过滤部(22)环绕设置于所述第一过滤部(21)的周围，且所述第二过滤部(22)位于所述第一过滤部(21)靠近所述过滤油液面的一侧。

【技术特征摘要】
1.尾气过滤装置，其特征在于，包括容置有过滤油的罐体(1)，所述罐体(1)上分别设有高于所述过滤油液面的进气口(14)和出气口(15)，所述罐体(1)内设有浸入过滤油内的第一过滤部(21)和第二过滤部(22)，所述第二过滤部(22)环绕设置于所述第一过滤部(21)的周围，且所述第二过滤部(22)位于所述第一过滤部(21)靠近所述过滤油液面的一侧。2.如权利要求1所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述第一过滤部(21)开设有多个第一过滤孔(23)，所述第二过滤部(22)开设有多个第二过滤孔(24)，所述第二过滤孔(24)的孔径小于所述第一过滤孔(22)的孔径。3.如权利要求1或2所述的尾气过滤装置，其特征在于，还包括连通于所述进气口(14)的过滤引导件(3)，所述过滤引导件(3)具有远离所述进气口(14)的过滤出口部(32)，所述过滤出口部(32)浸入所述过滤油中。4.如权利要求3所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述第一过滤部(21)设置于所述过滤出口部(32)的内侧，所述第二过滤部(22)设置于所述过滤出口部(32)的外侧。5.如权利要求3所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述过滤引导件(3)还具有连接所述进气口(14)的引入部(31)，引入部(31)通过扩径...

【专利技术属性】
技术研发人员：周锐，文勇，张永辉，付泽华，王宁军，王林，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61