静电吸盘及修理方法技术

本发明专利技术一个实施例的静电吸盘可包括：下部板，以从上部面向垂直方向贯通上述上部面的方式在指定的位置形成有多个销孔，在外周形成有距离上述上部面有指定深度的高度差部；以及上部板，与上述下部板的上述上部面紧固结合，包括平板部、侧面部及销孔保护部，上述平板部与上述下部板的上述上部面相结合，上述侧面部与上述高度差部相结合，上述销孔保护部紧固结合于上述销孔内，电极以围住的结构形成在上述上部板。

【技术实现步骤摘要】
静电吸盘及修理方法
本专利技术涉及半导体制造装置，更详细地，涉及静电吸盘及修理方法。
技术介绍
为了制造半导体元件或平板显示装置，在使真空腔室内的基板支撑台吸附支撑基板的状态下执行多种工序。作为一例，基板支撑台可以为静电吸盘(ESC，ElectrostaticChuck)。静电吸盘为利用静电力来在腔室内的下部电极支撑基板的装置。通常，静电吸盘可包括基座、与基座固定结合的板及形成于板内部的电极(下部电极)。在板的上部面可放置基板。在下部电极产生静电来一定地维持基板和下部电极之间的间隔，使基板固定为水平状态来执行所需要的工序。板可分为上部板及下部板。在上部板上安放处理对象物、即、基板，随着对于处理对象物的工序的反复进行，例如，上部板因持续施加有如高频等离子等的外力而可被损伤。此外，因多种原因，上部板上可产生凹陷或裂痕。由此，被损伤的上部板可通过研磨成规定厚度等的方式进行修理。但是，下部电极至上部板表面的厚度需要确保规格上规定的厚度，从而，修理次数受限。如上所述，随着静电吸盘的使用次数增加，可产生如裂痕等的缺陷，这种缺陷主要产生在对等离子的露出严重的上部板侧。同时，通过在上部板侧产生的裂痕，等离子可向下部电极渗透。在这种状态下，若进行工序，则可发生严重的问题，只能废弃处理产生缺陷的静电吸盘。静电吸盘的制作成本极高，但因如上所述的缺陷发生等而有静电吸盘的寿命短至3-6个月左右的问题。另一方面，在静电吸盘存在供升降销升降的升降销孔，上述升降销用于使处理对象物在上部板上升降。随着反复进行对处理对象物的工序，升降销孔也会被蚀刻损伤。进而，通过升降销孔内部漏出的下部板和上部板之间的粘结剂受到等离子的损伤而形成粒子(particle)，这种粒子对处理对象物进行污染来减少处理对象物的制造产率。
技术实现思路
本专利技术一个实施例的静电吸盘包括：下部板，以从上部面向垂直方向贯通上述上部面的方式在指定的位置形成有多个销孔，在外周形成有距离上述上部面有指定深度的高度差部；以及上部板，紧固结合于上述下部板的上述上部面，包括平板部、侧面部及销孔保护部，上述平板部结合于上述下部板的上述上部面，上述侧面部结合于上述高度差部，上述销孔保护部紧固结合于上述销孔内，电极以围住的结构形成在上述上部板。本专利技术另一实施例的静电吸盘包括：下部板，以从上部面向垂直方向贯通上述上部面的方式在指定的位置形成有多个销孔；以及上部板，包括平板部、侧面部及销孔保护部，上述平板部紧固结合于上述下部板的上述上部面，与上述下部板的上述上部面相对应，上述侧面部结合于上述下部板的外周，上述销孔保护部紧固结合于上述销孔内合，电极以围住的结构形成于上述上部板。本专利技术一个实施例的静电吸盘修理方法可包括：提供修理对象静电吸盘的步骤，上述修理对象静电吸盘包括下部板、上部板及在上述下部板和上部板之间形成的第一电极，以贯通上述下部板、上述第一电极及上述上部板的方式形成有多个销孔；去除上述上部板及上述第一电极来形成修理用下部板的步骤；通过扩大形成于上述修理用下部板的上述销孔的口径来形成扩大的销孔的步骤；制造修理用上部板的步骤，上述修理用上部板包括用于紧固结合于上述下部板上部面的平板部和用于紧固结合于上述扩大的销孔内的销孔保护部，形成有第二电极；以及以使上述销孔保护部紧固结合于上述扩大的销孔内的方式使上述修理用下部板和上述修理用上部板相结合的步骤。本专利技术一个实施例的静电吸盘可包括：下部板，在指定的位置形成有多个销孔，在外周形成有指定高度的高度差部；以及上部板，包括平板部、侧面部及销孔保护部，上述平板部紧固结合于上述下部板的上部面，与上述下部板的上部面相对应，上述侧面部结合于上述高度差部，上述销孔保护部紧固结合于上述销孔内。例如，上述第二电极形成为围住的结构，或者可位于上部板底部。附图说明图1为根据本专利技术一个实施例的静电吸盘的分解剖视图。图2为根据本专利技术一个实施例的静电吸盘的结合剖视图。图3为根据本专利技术一个实施例的静电吸盘的上部俯视图。图4为根据本专利技术一个实施例的静电吸盘的底部仰视图。图5为根据本专利技术另一实施例的静电吸盘的分解剖视图。图6为根据本专利技术另一实施例的静电吸盘的结合剖视图。图7至图10为用于说明根据本专利技术一个实施例的静电吸盘修理方法的剖视图。图11为根据本专利技术另一实施例的静电吸盘的分解剖视图。图12为根据本专利技术另一实施例的静电吸盘的结合剖视图。具体实施方式以下，参照附图，具体说明本专利技术的实施例。图1为本专利技术一个实施例的静电吸盘的分解剖视图。图2为本专利技术一个实施例的静电吸盘的结合剖视图。参照图1及图2，根据一个实施例的静电吸盘10可包括下部板110、上部板120及电极140。板组装体可通过结合下部板110及内置有电极140的上部板120来构成。此外，板组装体可结合于基座(未图示)上。例如，基座可由金属材料形成。在下部板110的指定位置，以向下部板110的设置方向、即、对下部板110的平板面垂直的方向贯通下部板110的方式可形成多个销孔130。销孔130构成为可使升降销(未图示)进行升降移动。升降销可利用额外的驱动部件升降。若向设置有静电吸盘10的腔室内引入处理对象物，则通过销孔130，升降销上升并接收处理对象物。此外，经升降销下降，处理对象物放置于上部板120的上部面。例如，下部板110可由陶瓷材料形成。同时，在内部可形成温度调节部150，温度调节部150可以为加热器或冷却装置。另一方面，本实施例的下部板110可在外周部分以离上部面具有指定深度的方式形成高度差部112。上部板120固定结合于下部板110上，并可呈平板形状。在一个实施例中，上部板120可由陶瓷材料、优选地由包含无机材料的陶瓷材料形成。在一个实施例中，上部板120可由Al2O3形成，但并不局限于此。在一个实施例中，上部板120可包括平板部122、侧面部124及销孔保护部126。平板部122实际上呈与下部板110的上部面相同的形状。销孔保护部126在销孔130对应部位从平板部122朝向形成有销孔130的侧向垂直方向延伸。即，销孔保护部126形成为包围销孔130的外周。销孔保护部126可具有能够覆盖上部板120和下部板110的界面的长度。销孔保护部126的外径实际上与销孔130的直径相同，从而当下部板110与上部板120紧固结合时，可使销孔130的内周面、尤其、上部板120和下部板110之间的界面由销孔保护部126遮蔽。通过销孔130，升降销可进行升降，为此，销孔保护部126的上部面及底部面处于开放状态，因此，销孔保护部126可以是内部为空心的气缸(cylinder)形状。侧面部124从平板部122的外周向与销孔保护部126的延伸方向相同的垂直方向延伸。当结合下部板110和上部板120时，侧面部124可以结合于下部板110的高度差部112。因此，侧面部124及高度差部112可设计成具有对应的长度及宽度以能够相互紧固结合。本实施例的静电吸盘10中，上部板120具有包括平板部122及侧面部124的盖(cap)形状。因此，如图2所示，当将上部板120结合于下部板110上时，可由侧面部124遮蔽下部板110和上部板120之间的连接部位。因此，可防止在对处理对象物的工序中产生的等离子(plasma)等向静电吸盘内部渗透的现象。进而本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电吸盘，包括：下部板，以从上部面向垂直方向贯通上述上部面的方式在指定的位置形成有多个销孔，在外周形成有距离上述上部面有指定深度的高度差部；以及上部板，紧固结合于上述下部板的上述上部面，包括平板部、侧面部及销孔保护部，上述平板部结合于上述下部板的上述上部面，上述侧面部结合于上述高度差部，上述销孔保护部紧固结合于上述销孔内，电极以围住的结构形成在上述上部板。

【技术特征摘要】
2016.08.01 KR 10-2016-00979981.一种静电吸盘，包括：下部板，以从上部面向垂直方向贯通上述上部面的方式在指定的位置形成有多个销孔，在外周形成有距离上述上部面有指定深度的高度差部；以及上部板，紧固结合于上述下部板的上述上部面，包括平板部、侧面部及销孔保护部，上述平板部结合于上述下部板的上述上部面，上述侧面部结合于上述高度差部，上述销孔保护部紧固结合于上述销孔内，电极以围住的结构形成在上述上部板。2.根据权利要求1所述的静电吸盘，其中，上述侧面部从上述平板部的外周向垂直方向延伸而成，具有与上述高度差部的深度相对应的长度。3.根据权利要求1所述的静电吸盘，其中，上述销孔保护部在与上述销孔形成对应部位从上述平板部向垂直方向延伸，形成为能够覆盖上述下部板与上述上部板之间的边界面的长度。4.一种静电吸盘，包括：下部板，以从上部面向垂直方向贯通上述上部面的方式在指定的位置形成有多个销孔；以及上部板，包括平板部、侧面部及销孔保护部，上述平板部紧固结合于上述下部板的上述上部面，与上述下部板的上述上部面相对应，上述侧面部结合于上述下部板的外周，上述销孔保护部紧固结合于上述销孔内，电极形成于上述上部板。5.根据权利要求4所述的静电吸盘，其中，上述侧面部在上述平板部的外周向垂直方向延伸而成，具有与上述下部板的深度相对应的长度。6.根据权利要求4所述的静电吸盘，其中，上述销孔保护部在上述销孔形成对应部位从上述平板部向垂直方向延伸，形成为能够覆盖上述下部板与上述上部板之间的边界面的长度。7.根据权利要求1或4所述的静电吸盘，其中，上述上部板由包括无机材料的陶瓷材料形成。8.根据权利要求1或4所述的静电吸盘，其中，上述电极通过选自热压法、格林片法、压缩成型法、烧结法中的方式来以围住的结构形成在上述上部板内。9.一种静电吸盘的修理方法，包括：提供修...

【专利技术属性】
技术研发人员：李濬豪，金南出，刘载硕，
申请(专利权)人：韩国艾科科技有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR