一种全自动外观缺陷检查装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种全自动外观缺陷检查装置及方法，该装置包括载台支架、设于所述载台支架上方的框架式载台和设于所述框架式载台上方的灯源，所述框架式载台上设有至少一组缺陷检查机构，所述缺陷检查机构包括设于所述框架式载台边缘的滑轨、垂直设于所述滑轨上的伸缩杆，以及水平设于所述伸缩杆上的摄像头组、多孔吹气管和灯管组，所述摄像头组中摄像头的角度可调。本发明专利技术无需依靠人工操作和判断，提高了生产效率，节约了人工成本，提高了产线的自动化程度和产品质量。

An automatic appearance defect inspection device and method

The invention discloses an automatic defect inspection device and method, the device comprises an upper frame type carrier bracket, which is arranged on the table above the bracket loading station and arranged on the frame of the stage light source, the frame table is provided with at least one set of defects inspection agencies, the the defect inspection mechanism comprises a telescopic rod, which is arranged on the slide frame table is arranged on the edge of the vertical slide rail, and the level of which is arranged on the telescopic rod camera group, porous blow pipe and tube group, the camera angle adjustable camera group. The invention has no need to rely on manual operation and judgment, improves production efficiency, saves labor cost, and improves the automation and product quality of line production.

【技术实现步骤摘要】
一种全自动外观缺陷检查装置及方法
本专利技术涉及平板显示领域的外观缺陷检查，具体涉及一种全自动外观缺陷检查装置及方法。
技术介绍
在平板显示领域的TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)或CF(ColourFilter，彩色滤光片)制造过程中，针对每一层的工艺制作都需要进行缺陷检查。其中缺陷分为微观缺陷和外观缺陷，对于微观缺陷，产线上已采用AOI(Automaticopticinspection，自动光学检测)进行自动检查，而外观缺陷包括Mura(色不均)、裂纹以及缺角崩边等，至今仍然采用人工检查的方式。现有的外观缺陷检查设备如图1所示，主要包括：载台支架1’、框架式载台2’、固定检查灯3’和手持检查灯4’，玻璃基板(Glass)进入设备后，载台支架1’带动框架式载台2’旋转使玻璃基板倾斜一定的角度，接着人工手动开启固定检查灯，通过人眼进行基板整面性色不均的检查，然后进行手持灯具照射的检查，分别用白光和绿光对基板的边缘和正反面进行检查，当检查到异物时，用人工持气枪对其进行吹扫，当检查到缺陷时采用人工进行记录，检查完毕后人工对玻璃基板进行判定，玻璃按照判定结果被送至系统规定的卡夹，进行下一制程。然而采用这种检查设备需依赖人工检查和判定，而人的主观检查能力、判定能力和速度将直接影响产品质量和产率。目前在平板显示领域的成盒和模组段已开始使用全自动检查设备来替代人对显示屏幕的检查，从而减少了因人的主观差异对产品质量的影响，同时降低了人的管理成本。同时在全自动设备中采用高分辨率摄像头对其外观缺陷进行检查的可行性得到了实际验证。但由于成盒和模组段是对显示屏幕进行检查，而TFT或CF的检查是针对玻璃大基板的检查，所以设备的结构不同，并且检查原理也因所检查产品的特征差异而有所不同，因此不能适用。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术中存在的上述问题，提供了一种可有效降低人工成本，提高自动化程度和产品质量的全自动外观缺陷检查装置及方法。为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：一种全自动外观缺陷检查装置，包括载台支架、设于所述载台支架上方的框架式载台和设于所述框架式载台上方的灯源，所述框架式载台上设有至少一组缺陷检查机构，所述缺陷检查机构包括设于所述框架式载台边缘的滑轨、垂直设于所述滑轨上的伸缩杆，以及水平设于所述伸缩杆上的摄像头组、多孔吹气管和灯管组，所述摄像头组中摄像头的角度可调。进一步的，所述框架式载台设有两个，分别与两个所述载台支架对应，两个所述框架式载台之间还设有一旋转载台和与所述旋转载台对应的传送机构。进一步的，所述缺陷检查机构中的滑轨设有两条，分设于所述框架式载台相对的两条边上，所述摄像头组和多孔吹气管设于其中一条滑轨对应的伸缩杆上，所述灯管组设于另一条滑轨对应的伸缩杆上。进一步的，所述摄像头组和多孔吹气管设于同一根伸缩杆上。进一步的，设置所述摄像头组和多孔吹气管的伸缩杆设有两个，分别位于设置所述灯管组的伸缩杆的两侧。。进一步的，所述缺陷检查机构中的滑轨设有一条，设于所述框架式载台的其中一条边上。进一步的，所述滑轨上设有两根伸缩杆，所述摄像头组和多孔吹气管设于其中一根伸缩杆上，所述灯管组设于另一根伸缩杆上。进一步的，所述滑轨上设有三根伸缩杆，所述灯管组设于中间一根所述伸缩杆上，两侧的伸缩杆上均设有所述摄像头组和多孔吹气管。进一步的，所述传送机构为机械手，设于所述旋转载台的一侧。进一步的，所述载台支架和框架式载台分别设有一个，所述框架式载台上设有两组缺陷检查机构，分别设于所述框架式载台的两条相互垂直的边上。进一步的，所述缺陷检查机构中的滑轨设有一条，所述滑轨上设有两根伸缩杆，所述摄像头组和多孔吹气管设于其中一根伸缩杆上，所述灯管组设于另一根伸缩杆上。进一步的，所述滑轨上设有三根伸缩杆，所述灯管组设于中间一根所述伸缩杆上，两侧的伸缩杆上均设有所述摄像头组和多孔吹气管。进一步的，与所述摄像头组和多孔吹气管对应的伸缩杆上还设有横杆，所述摄像头组和多孔吹气管分别设于所述横杆长度方向的两侧，所述摄像头组中的若干摄像头沿所述横杆的长度方向水平设置。进一步的，所述灯管组包括至少两种颜色不同的灯管。本专利技术还提供一种全自动外观缺陷检查装置的检查方法，包括以下步骤：S1：将玻璃基板置于其中一个框架式载台上，打开框架式载台上方的灯源，载台支架带动框架式载台旋转至设定角度，开始检查工作；S2:调整摄像头组中与玻璃基板边缘对应的摄像头的角度至与玻璃基板的边缘垂直，拍摄玻璃基板边缘的照片，对玻璃基板进行边缘的缺陷检查；S3：调整摄像头组中摄像头的角度，按设定顺序变换灯源的灯光颜色，与此同时拍摄玻璃基板侧面不同位置处的照片，进行侧面色差检查，之后关闭灯源；S4：打开灯管组中的其中一个灯管，调整摄像头组中摄像头的角度，使伸缩杆带动所述灯管组和摄像头组沿对应的滑轨同步运动，同时摄像头组中的摄像头连续拍摄图像对玻璃基板进行全面检查，接着关闭该灯管，打开其他灯管，调整摄像头组中摄像头的角度，重复该全面检查步骤；S5：根据摄像头拍摄的图像判定检查结果，若结果不合格则移出检查装置，反之通过传送装置运送至旋转载台，通过旋转载台将其水平旋转90度，接着通过传动装置传送至另一个框架式载台上，并重复步骤S1～S4，以获得玻璃基板的最终检查结果。进一步的，所述步骤S2/S3/S4中，还包括当摄像头拍摄到异物时，打开多孔吹气管进行吹扫。进一步的，所述步骤S4中，还包括，通过所述伸缩杆调节灯管组和摄像头组的高度，同时调节摄像头的角度，直至拍摄到清晰的缺陷图像。进一步的，所述步骤S4中，调整所述摄像头组中摄像头的角度具体为：使摄像头对准所述灯管的照明位置。进一步的，所述步骤S4中，所述灯管和摄像头沿对应的滑轨同步运动具体为：所述摄像头组中摄像头的焦点跟随灯管发出的光线边缘进行移动。进一步的，所述步骤S5中，判定检查结果具体为：通过对不同图像的灰度进行对比得出检查结果。本专利技术还提供一种全自动外观缺陷检查装置的检查方法，包括以下步骤：S1：将玻璃基板置于框架式载台上，打开框架式载台上方的灯源，载台支架带动框架式载台旋转至设定角度，开始检查工作；S2:调整所述框架式载台其中一条边上的摄像头组中与玻璃基板边缘对应的摄像头的角度至与玻璃基板的边缘垂直，通过该摄像头拍摄玻璃基板边缘的照片，对玻璃基板进行边缘的缺陷检查；S3：调整该条边上摄像头组中摄像头的角度，按设定顺序变换灯源的灯光颜色，与此同时拍摄玻璃基板侧面不同位置处的照片，进行侧面色差检查，之后关闭灯源；S4：打开该条边上灯管组中的其中一个灯管，伸缩杆带动所述灯管组和摄像头组沿对应的滑轨同步运动，同时摄像头组中的摄像头连续拍摄图像对玻璃基板进行全面检查，接着关闭该灯管，打开其他灯管，调整摄像头组中摄像头的角度，重复该全面检查步骤；S5：根据该条边上摄像头拍摄的图像判定检查结果，若结果不合格则移出检查装置，反之打开另一条垂直边上灯管组中的其中一个灯管，并重复步骤S4的操作，以获得玻璃基板的最终检查结果。进一步的，所述步骤S2/S3/S4中，还包括当摄像头拍摄到异物时，打开多孔吹气管进行吹扫。进一步的，所述步骤S4中，还包括，通过所述伸缩杆调节灯管和摄像头的高度，同时调节所述摄像头的高度，直至拍摄到的缺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种全自动外观缺陷检查装置，包括载台支架、设于所述载台支架上方的框架式载台和设于所述框架式载台上方的灯源，其特征在于，所述框架式载台上设有至少一组缺陷检查机构，所述缺陷检查机构包括设于所述框架式载台边缘的滑轨、垂直设于所述滑轨上的伸缩杆，以及水平设于所述伸缩杆上的摄像头组、多孔吹气管和灯管组，所述摄像头组中摄像头的角度可调。

【技术特征摘要】
1.一种全自动外观缺陷检查装置，包括载台支架、设于所述载台支架上方的框架式载台和设于所述框架式载台上方的灯源，其特征在于，所述框架式载台上设有至少一组缺陷检查机构，所述缺陷检查机构包括设于所述框架式载台边缘的滑轨、垂直设于所述滑轨上的伸缩杆，以及水平设于所述伸缩杆上的摄像头组、多孔吹气管和灯管组，所述摄像头组中摄像头的角度可调。2.根据权利要求1所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述框架式载台设有两个，分别与两个所述载台支架对应，两个所述框架式载台之间还设有一旋转载台和与所述旋转载台对应的传送机构。3.根据权利要求2所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述缺陷检查机构中的滑轨设有两条，分设于所述框架式载台相对的两条边上，所述摄像头组和多孔吹气管设于其中一条滑轨对应的伸缩杆上，所述灯管组设于另一条滑轨对应的伸缩杆上。4.根据权利要求3述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述摄像头组和多孔吹气管设于同一根伸缩杆上。5.根据权利要求3述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，设置所述摄像头组和多孔吹气管的伸缩杆设有两个，分别位于设置所述灯管组的伸缩杆的两侧。6.根据权利要求2所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述缺陷检查机构中的滑轨设有一条，设于所述框架式载台的其中一条边上。7.根据权利要求6所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述滑轨上设有两根伸缩杆，所述摄像头组和多孔吹气管设于其中一根伸缩杆上，所述灯管组设于另一根伸缩杆上。8.根据权利要求6所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述滑轨上设有三根伸缩杆，所述灯管组设于中间一根所述伸缩杆上，两侧的伸缩杆上均设有所述摄像头组和多孔吹气管。9.根据权利要求2所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述传送机构为机械手，设于所述旋转载台的一侧。10.根据权利要求1所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述载台支架和框架式载台分别设有一个，所述框架式载台上设有两组缺陷检查机构，分别设于所述框架式载台的两条相互垂直的边上。11.根据权利要求10所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述缺陷检查机构中的滑轨设有一条，所述滑轨上设有两根伸缩杆，所述摄像头组和多孔吹气管设于其中一根伸缩杆上，所述灯管组设于另一根伸缩杆上。12.根据权利要求10所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述滑轨上设有三根伸缩杆，所述灯管组设于中间一根所述伸缩杆上，两侧的伸缩杆上均设有所述摄像头组和多孔吹气管。13.根据权利要求4或5或7或8或11或12所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，与所述摄像头组和多孔吹气管对应的伸缩杆上还设有横杆，所述摄像头组和多孔吹气管分别设于所述横杆长度方向的两侧，所述摄像头组中的若干摄像头沿所述横杆的长度方向水平设置。14.根据权利要求1所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述灯管组包括至少两种颜色不同的灯管。15.一种全自动外观缺陷检查方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将玻璃基板置于其中一个框架式载台上，打开框架式载台上方的灯源，载台支架带动框架式载台旋转至设定角度，开始检查工作；S2:调整摄像头组中与玻璃基板边缘对应的摄像头的角度至与玻璃基板的边缘垂直，拍摄玻璃基板边缘的照片，对玻璃基板进行边缘的缺陷检查；S3：调整摄像头组中摄像头的角度，按设定顺序变换灯源的灯光颜色，与此同时拍摄玻璃基板侧面不同位置处的照片...

【专利技术属性】
技术研发人员：李会丽，李志丹，唐世弋，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31