一种双等离子体离子源放电电源制造技术

本实用新型专利技术为一种双等离子体离子源放电电源。包括：移相PWM控制电路是电源的控制端，通过接收到输出电压与输出电流的反馈信号，通过移相的方式调节输出信号波形的占空比；通过整流滤波电路，将220V，50HZ交流电转换成300V直流电；全桥逆变电路，根据所述移相PWM控制电路的输出信号转换成300V交流电；升压变压器，将全桥逆变电路输出的300V交流电升高到5000V左右交流电；电源输出电流与电压，反馈至移相PWM控制电路。本实用新型专利技术解决恒压恒流电源,其输出电压、输出电流调节范围小，功率小，电源工作方式等原因,不能满足双等离子体离子源的需要。采用本电源应用于双等离子体离子源，使二次离子质谱的实验更高效。

【技术实现步骤摘要】
一种双等离子体离子源放电电源
本专利技术涉及等离子体电源领域，具体地来讲为一种双等离子体离子源放电电源。
技术介绍
二次离子质谱仪是一种检测样品成分及其含量的科学仪器，具有超高的灵敏度和质量分辨率，被广泛应用于分析化学、环境科学、生命科学、地质科学等领域。其原理是经过聚焦的一次离子束轰击样品表面溅射出二次离子，产生二次离子进入质量分析器，根据不同离子质荷比的不同实现质谱分离，从而可以得知样品表面一定深度的元素分布和组成。双等离子体离子源是二次离子质谱最常用的一种离子源，能够提供O-、O2+、Ar+和Xe+等气体离子，具有电离效率高、离子能量分散小、离子流稳定的特点。在离子源的阴极和阳极之间需要提供一种电源，能够让腔体内的气体放电，产生大量的气体离子，通过提取加速电极就得到所需要的一次离子束。二次离子质谱分析中，被检测的离子是通过一次离子束轰击样品表面溅射产生的二次离子，所以一次离子束的性能影响二次离子质谱分析的结果。放电电源是气体放电产生一次离子束并保持持续稳定的能量来源，电源的稳定性和放电电流大小能够改变一次离子束的状态，所以放电电源的品质影响一次离子束的性能。CN10551534本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双等离子体离子源放电电源，其特征在于，该电源包括：移相PWM控制电路，为电源的控制端，通过接收到输出电压与输出电流的反馈信号，通过移相的方式调节输出信号波形的占空比；整流滤波电路，将220V，50HZ交流电转换成300V直流电；全桥逆变电路，将所述整流滤波电路输出的300V直流电，根据所述移相PWM控制电路的输出信号转换成300V交流电；升压变压器，将全桥逆变电路输出的300V交流电升高到5000V左右交流电；高频整流滤波电路，将升压变压器输出5000V左右高频交流电经过整流滤波输出为直流电；电压释放电路，连接在高频整流滤波的输出端，断电后将存留在电源高频整流滤波电路电容内高压快速释放掉；...

【技术特征摘要】
1.一种双等离子体离子源放电电源，其特征在于，该电源包括：移相PWM控制电路，为电源的控制端，通过接收到输出电压与输出电流的反馈信号，通过移相的方式调节输出信号波形的占空比；整流滤波电路，将220V，50HZ交流电转换成300V直流电；全桥逆变电路，将所述整流滤波电路输出的300V直流电，根据所述移相PWM控制电路的输出信号转换成300V交流电；升压变压器，将全桥逆变电路输出的300V交流电升高到5000V左右交流电；高频整流滤波电路，将升压变压器输出5000V左右高频交流电经过整流滤波输出为直流电；电压释放电路，连接在高频整流滤波的输出端，断电后将存留在电源高频整流滤波电路电容内高压快速释放掉；电压采样电路，电源输出电压经过分压电路得到的电压值，反馈至移相PWM控制电路；电流采样电路，电源输出电流经过采样电阻之后得到电压值，反馈至移相PWM控制电路。2.按照权利要求1所述的电源，其特征在于，在所述移相PWM控制电路与所述全桥逆变电路之间设置耦合隔离电路，通过耦合隔离电路的耦合变压器将移相PWM控制电路的输出信号传输至全桥逆变电路。3.按照权利要求1所述的电源，其特征在于，所述全桥逆变电路的输出端设置有过流监测电路，所述过流监测电路将检测的电流的情况，传输给移相PWM控制电路，当电路发生短路或者过流时，移相PWM控制电路瞬间停止电源工作。4.按照权利要求1所述的电源，其特征在于，所述电流采样电路将得到的...

【专利技术属性】
技术研发人员：田地，李腾飞，龙涛，包泽民，邱春玲，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：新型
国别省市：吉林,22