下载一种双等离子体离子源放电电源的技术资料

文档序号:17201231

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本实用新型为一种双等离子体离子源放电电源。包括:移相PWM控制电路是电源的控制端,通过接收到输出电压与输出电流的反馈信号,通过移相的方式调节输出信号波形的占空比;通过整流滤波电路,将220V,50HZ交流电转换成300V直流电;全桥逆变电路...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。

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