一种涡旋干泵制造技术
A kind of vortex dry pump
The invention belongs to the technical field of dry pump, in particular a kind of vortex dry pump. Including the stator, rotor, fixed plate, elastic adjustment mechanism and the spindle, the spindle rotor and fixed along the axial direction along the circumferential direction, with degrees of freedom, the rotor and the stator with friction, on the back of the fixed plate is sleeved on the main shaft, and is located in the rotor, the elastic adjusting mechanism is arranged on the fixed plate and the between the rotor, to prevent the fit between the rotor and the stator loose. The contact between the force control line and the bottom surface generated by the top wave spring is relatively stable in a period of time, and effectively improves the pumping efficiency of the scroll dry pump and prolongs the service life of the pump.
【技术实现步骤摘要】
一种涡旋干泵
本专利技术属于干泵
，具体地说是一种涡旋干泵。
技术介绍
随着半导体、LED等行业迅速发展，涡旋干泵作为一种无油真空泵，其应用也越来越广泛。现有技术中，没有一种方法是稳定涡旋干泵定子与转子配合程度的，密封条磨损后定子与转子的配合变松，影响涡旋干泵的真空度。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的目的在于专利技术一种涡旋干泵。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种涡旋干泵，包括定子、转子、固定盘、弹性调整机构及主轴，所述转子与主轴沿周向固定，沿轴向具有自由度，所述转子与定子摩擦配合，所述固定盘套设于主轴上、并且位于转子的背面，所述弹性调整机构设置于固定盘与转子之间，用于防止转子与定子之间的配合变松。所述弹性调整机构包括多个弹簧，各弹簧的两端分别与固定盘与转子抵接。所述转子的背面沿周向设有多个凸起，多个弹簧分别套设于多个凸起上、并且端部与固定盘抵接。进一步地，所述固定盘与转子相对应的端面上沿周向设有环槽，该环槽与所述转子背面上的多个凸起相对应，套设于各凸起上的弹簧与所述环槽的底部抵接。进一步地，所述转子背面上的各凸起上均套设有垫圈，所述固定...
【技术保护点】
一种涡旋干泵，包括定子(1)、转子(2)、固定盘(3)、弹性调整机构及主轴(8)，其特征在于，所述转子(2)与主轴(8)沿周向固定，沿轴向具有自由度，所述转子(2)与定子(1)摩擦配合，所述固定盘(3)套设于主轴(8)上、并且位于转子(2)的背面，所述弹性调整机构设置于固定盘(3)与转子(2)之间，用于防止转子(2)与定子(1)之间的配合变松。
【技术特征摘要】
1.一种涡旋干泵，包括定子(1)、转子(2)、固定盘(3)、弹性调整机构及主轴(8)，其特征在于，所述转子(2)与主轴(8)沿周向固定，沿轴向具有自由度，所述转子(2)与定子(1)摩擦配合，所述固定盘(3)套设于主轴(8)上、并且位于转子(2)的背面，所述弹性调整机构设置于固定盘(3)与转子(2)之间，用于防止转子(2)与定子(1)之间的配合变松。2.根据权利要求1所述的涡旋干泵，其特征在于，所述弹性调整机构包括多个弹簧(6)，各弹簧(6)的两端分别与固定盘(3)与转子(2)抵接。3.根据权利要求2所述的涡旋干泵，其特征在于，所述转子(2)的背面沿周向设有多个凸起(2...
【专利技术属性】
技术研发人员：王光玉，刘在行，韩晶雪，雷震霖，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21
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