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本发明属于干泵技术领域，具体地说是一种涡旋干泵。包括定子、转子、固定盘、弹性调整机构及主轴，所述转子与主轴沿周向固定，沿轴向具有自由度，所述转子与定子摩擦配合，所述固定盘套设于主轴上、并且位于转子的背面，所述弹性调整机构设置于固定盘与转子之...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司授权不得商用。

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