The utility model discloses a polysilicon reduction furnace electrode, comprising a conical head with graphite cone seat, and the center is provided with a water-cooled electrode, around the electrode body is sheathed with an insulating sleeve and the electrode body is fixed with a conical head connected to one electrode body is connected with a conical head for docking the connecting section; the connection section and the outer surface of the cone is provided with thick layer, the connection section and the cone head armoring layer respectively coated with a bonding layer, with the outer surface of the layer is arranged on the outer coating. The utility model in the development of the electrode body and the cone head is connected, and the electrode body and the cone head connected to a connecting section, the connection section and the cone outer surface after sandblasting or shot blasting forming armoring layer, and the coarse layer connection section and the cone head is coated with the bonding layer. The combination layer is arranged on the outer coating. The utility model has the advantages of high surface hardness, no easy damage to the high finish coating, and so on, so that the electrode can not be easily damaged, and so on.
【技术实现步骤摘要】
多晶硅还原炉电极
本技术涉及一种多晶硅还原炉电极,按国际专利分类表(IPC)划分属于电极制造及加工
技术介绍
目前,多晶硅生产主要采用改良西门子法工艺,其原理就是在还原炉中采用高压击穿方式使硅芯成为导体,提升电流使硅芯温度快速上升,于1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上,生成多晶硅棒。而制备多晶硅的电机棒外表面一般不采用任何镀层,或者仅仅采用化学电镀的方式在电极棒的端处电镀金属银,如公开专利文献CN201320543114.1所公开的一种用于西门子法生产多晶硅的还原电机棒,其利用于电机棒本体表面增加氧化镀层的方式,以防止还原生产中电极棒接触表面的铜氧化。使用电镀工艺中,外表面电镀的银层厚度不能低于0.08mm,该厚度在实际实用过程中会出现脱落及破损的情况,进而导致电极棒导电率的降低,从而在多晶硅的还原生产过程中出现拉弧现象,影响生产。拉弧显现使得电机棒发黑,需经打磨其表面后才能继续使用,但长此以往导致电极棒铜壁变薄,直径变小,甚至在使用中出现打穿漏水的显现,同时直径变小会使其与石墨卡座的接触不良,从而提高生产中拉弧及硅棒倒伏出现的概率,而拉弧出现后电极棒的表面会出现局部灼烧损伤,造成电极棒中铜离子由于电弧发生产生气化并直接影响生产的多晶硅质量,且长期在强酸环境下裸露的筒棒极易被腐蚀,造成成品多晶硅的污染。另,现有的还原电极与还原炉筒之间存在导电现象,导致电极裸铜部分与三氯氢硅、四氯化硅的直接接触,影响产品纯度。因此在现有多晶硅还原炉电极上,如何进一步完善、升级多晶硅还原炉上电极不易被镀层易脱落导致极易腐蚀的同 ...
【技术保护点】
多晶硅还原炉电极,其特征在于:其包括能与石墨座锥孔配合的锥头,及中心设置有水冷空腔的电极体,所述电极体周围穿套有绝缘套筒且其与锥头固定相连,其中电极体与锥头对接相连的一段为连接段;该连接段与锥头外表面均设置有粗化层,所述连接段与锥头粗化层上分别喷涂有结合层,结合层的外表面设置有外涂层,所述外涂层包括第一外涂层及第二外涂层;其中,所述第一外涂层为锥头外围设置导体层,第二外涂层为连接段外围设置由纯陶瓷粉末制成的绝缘层。
【技术特征摘要】
1.多晶硅还原炉电极,其特征在于:其包括能与石墨座锥孔配合的锥头,及中心设置有水冷空腔的电极体,所述电极体周围穿套有绝缘套筒且其与锥头固定相连,其中电极体与锥头对接相连的一段为连接段;该连接段与锥头外表面均设置有粗化层,所述连接段与锥头粗化层上分别喷涂有结合层,结合层的外表面设置有外涂层,所述外涂层包括第一外涂层及第二外涂层;其中,所述第一外涂层为锥头外围设置导体层,第二外涂层为连接段外围设置由纯陶瓷粉末制成的绝缘层。2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉电极,其特征在于:所述结合...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗文富,黄国良,罗传熙,
申请(专利权)人:厦门佰事兴新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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