A semiconductor manufacturing equipment storage / backup device comprises a shell, a control module, a hard disk, a backup disk and a display unit, the control module is arranged in the shell and is connected to the semiconductor manufacturing equipment, the hard disk SSD, the backup disk for traditional hard disk, and can be inserted in the case of electrically connected with the control module, the display unit is arranged in the shell and is electrically connected with the control module, and can send a warning message, the control module can make the parameter data of the semiconductor manufacturing equipment to read the work of the hard disk, and the stored data to the hard work of new parameters. And the parameter data of the work in the hard disk mirroring technology to storage to the backup of the hard disk, the control module can detect the hard disk and the hard disk backup health status, and the display unit It sends out the corresponding warning message, by which the structure can effectively improve the efficiency of the work and reduce the risk of data loss.
【技术实现步骤摘要】
半导体制造设备的储存/备份装置
本技术涉及半导体制造设备的储存/备份装置方面的
,尤指一种具有可有效提升工作效能及降低数据遗失风险等功效的半导体制造设备的储存/备份装置。
技术介绍
一般半导体制造过程(例如晶圆制造过程)中,牵涉到非常多的材料的物理、化学变化及相关精密机械设备,因此在导入新的制程或更精密细微的制程时,不良率通常都会非常高而使成本高居不下,通常需要非常多的时间一直进行改良,才可能将不良率下降到一定的比率,而其制造过程中所使用及产生的数据称为“制程参数与设备参数”。通常每一个晶圆代工厂,制造设备在运转时,会先读取一工作硬盘中的参数数据进行作业,然后同时将作业时所产生的新参数记录储存到该工作硬盘中,其中良率高的参数系作为同种机台参考,甚至可以复制到同种机台直接改良不良率,良率低的参数则可以作为修正及追踪不良率产生源的数据。而为避免工作硬盘损坏造成数据遗失,则同时又会将该工作硬盘中参数记录同步储存到一备份硬盘中进行备份,所以前述用于供读取及储存参数的工作硬盘及备份硬盘便具有很高的重要性。然而,目前晶圆代工厂中半导体制造设备用来供读取及储存参数数据的工作硬盘及备份硬盘大皆为传统硬盘(HardDiskDrive,HDD),所以其存在读写速度慢的问题,然而,现今工业对于半导体芯片的需求与日俱增,生产速度愈来越快,在快速生产的过程中不良率也随之增加,半导体制造设备中有非常多的侦测器来提供制造时的环境参数,这些侦测器提供的实时参数是提升半导体芯片良率的最佳数据,当大量的侦测器提供及时的大量参数时,储存速度就变得非常重要。因此该传统硬盘便成为半导体制造设 ...
【技术保护点】
一种半导体制造设备的储存/备份装置,其特征在于,该装置包括:一壳体,内部具有一容室,该壳体的前侧面具有贯通到该容室的一硬盘插口;一控制模块,设于该容室中,且可供连接到一半导体制造设备;一工作硬盘,为固态硬盘,且储存有该半导体制造设备作业所需的参数数据,该工作硬盘可由该硬盘插口插入到该容室之中而与该控制模块电性连接;一备份硬盘,可由该硬盘插口插入到该容室之中而与该控制模块电性连接;以及一显示单元,设于该壳体的前侧面且与该控制模块电性连接,可供发出警示讯息。
【技术特征摘要】
1.一种半导体制造设备的储存/备份装置,其特征在于,该装置包括:一壳体,内部具有一容室,该壳体的前侧面具有贯通到该容室的一硬盘插口;一控制模块,设于该容室中,且可供连接到一半导体制造设备;一工作硬盘,为固态硬盘,且储存有该半导体制造设备作业所需的参数数据,该工作硬盘可由该硬盘插口插入到该容室之中而与该控制模块电性连接;一备份硬盘,可由该硬盘插口插入到该容室之中而与该控制模块电性连接;以及一显示单元,设于该壳体的前侧面且与该控制模块电性连接,可供发出警示讯息。2.如权利要求1所述的半导体制造设备的储存/备份装置,其特征在于,所述壳体的后侧面具有一界面插口,该容室的两侧边具有相对应的数个导轨;该控制模块包含一电路板、一第一界面插座、一第二界面插座及一第三界面插座;该电路板设于该容室的后侧,该第一界面插座及该第二界面插座设于该电路板的正面,该第三界面插座设于该电路板的背面且显露于该界面插口之中以供连接到一半导体制造设备;该工作硬盘具有一第一界面接头,且该工作硬盘可顺着两相对侧的两导轨插入到该容室之中,使该第一界面接头与该第一界面插座电性插接;该备...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄裕鸿,
申请(专利权)人:天虹科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾,71
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